Let the sun shine!
ソーラー用スパッタリングターゲット

タングステンやモリブデンは、TFTディスプレイの薄膜には20年以上前から用いられて成果を上げてきました。プランゼーはソーラー業界へも、以下の技術用のスパッタリングターゲットをお届けしています。

  • CIGS(銅、インジウム、ガリウム、硫黄、セレン)
  • CdTe(テルル化カドミウム)
  • CSP(集光型太陽熱発電所)

プランゼーの材料は、薄膜太陽電池や太陽熱アプリケーションのコーティング材料として使用すると、性能の決め手になります。密着性がよく、酸化や腐食に対する耐性の高い材料です。プランゼーの材料をスパッタした薄膜は反射効率がよくてきわめて導電性が高いだけでなく、太陽電池の効率も大幅に改善することができます。

円筒型モリブデンターゲット
CIGS用スパッタターゲット
  • 長い寿命は最適化された薄膜の密着性から
  • 高い効率はきわめて純度の高い材料を用いることによって得られる優れた電気伝導性から
  • 速いスパッタ速度は最大限に高められた材料密度から
  • 均一なスパッタ率は最適化された微細構造から
  • 安定したスパッタリングプロセスは酸化や腐食に対する高い耐性から

さらにお望みの方には?

速度を上げたい:プランゼーの一体型ターゲットはバッキングチューブ不要です。30kW/mまでの出力密度でスパッタ可能です。その結果、スパッタ速度が上がり、薄膜特性が最適化されます。

材料使用効率を改善したい:たとえば、プランゼーのU型、ドッグボーン型という理にかなった形状のターゲットでは、材料利用率を75%以上まで引き上げ、ターゲット寿命を延ばすことができます。原理は単純です。プランゼーは多くのコーティング材料が求められるところへ多くの材料を配置しています。それによって、スパッタリングレートに差が出たり、多くの材料を無駄にしたりするしかなかった従来のデザインの問題点を克服しているのです。

エネルギー吸収効率を高めたい:プランゼーは新しい材料組成を用いているおかげで、光吸収層の効率を高めることができます。だから、光が差せば差すほど多くのエネルギーを取り出せるのです!

材料を最大限に利用できる
円筒型モリブデンターゲット

資源は無駄にせず、使えるだけ使いたいものです。プランゼーの円筒型ターゲットでは、ターゲット材料の75%以上を利用し、交換サイクルを長くすることができます。リサイクル可能な鋼またはチタンのバッキングチューブで長さ4mまでの円筒型ターゲットを製造可能です。

また、バッキングチューブを必要としない一体型の円筒型ターゲットもございます。これは温度に対してより許容性が優れ、30kW/mまでの高出力密度でもスパッタリングすることができます。

一体型円筒スパッタリングターゲット
一体型円筒スパッタリングターゲット
使用後の一体型円筒スパッタリングターゲット
使用後の一体型円筒スパッタリングターゲット

一体型ロータリーターゲットに内径コーティング

コスト削減をお考えですか?新しくご提案できるものがございます。一体型ロータリーターゲットにおいてポリマーベースの内径コーティングは如何でしょうか。詳しくはこちらからご覧ください。

品質へのこだわりに終わり無し

プランゼーは、生産工程のすべての段階を自社で行っている唯一のスパッタリングターゲットメーカーです。原料から最終製品まで、新しい材料の開発やコーティング方法、コーティングの最適化も含めて、すべて一元管理です。

焼結は粉末冶金生産工程の要となる、メタルパウダーを圧粉して金属インゴットにする工程です。プランゼーでは、世界最大の高融点金属用熱間圧延機を導入し、最高密度の平面ターゲットを生産しています。円筒型ターゲットの製造には、特殊な成形工程を用いています。

皆様と共に輝きましょう!

みんなでソーラー技術を前進させましょう。プランゼーはあらゆる有力システムメーカーや数多くの研究機関と協力しています。その結果、画期的な材料やコーティングが生まれ、現実の使用条件のもとでそれをスパッタし、仕様を定めています。もちろん、プランゼーの研究ラボは皆様にもご利用いただけます。

プランゼーは皆様の仕様に合わせてRF、DC、またはパルスDCスパッタリング法で試験用基板をコーティングします。微細構造、電気伝導性、密着状態、薄膜の厚さ、薄膜応力は、高解像度の走査型電子顕微鏡で確認することができます。蒸着した薄膜の結晶学的相、光学的特性、化学組成、膜の形態も確認します。

さらによく調べていただくために、真空パックした薄膜のサンプルも喜んでお送りいたします。