アルミクロムスパッタリングターゲット

プランゼーのアルミクロム(AlCr)製ターゲット、カソードは、ドリル、フライス盤、刃先交換式切削インサートなど、ツールの窒化物コーティングの靱性や酸化耐性をさらに高めます。

アルミクロムスパッタリングターゲット

アルミクロムコーティングは熱安定性や酸化耐性が高いので、送り速度、切削性能、金属除去率を向上させることができます。1000分の1mmのコーティングで、高温下でも確実にツールを摩耗から保護し、その寿命を延ばすことができます。プランゼーの材料はマグネトロンスパッタリング法またはアーク蒸着法を用いて成膜します。

チューブ形状、ディスク形状、矩形など、ご使用用途に即したターゲットを製造いたします。

主な特性一覧
アルミ/クロム含有率[%] 70 / 30 50 / 50
純度[%] 99.7 99.7
保証密度[g/cm3] 3.68 4.50
粒径 標準/細粒[μm] 100 / 50 100 / 50

Rely on our quality.

Oerlikon Balzers(エリコンバルザース)社 も弊社のターゲット製品のユーザーです。同社は 工具・金型・機械部品用コーティングのリーディングカンパニーであり、その高性能なAlCrNコーティング製品でも有名ですが、弊社のターゲットが同社のコーティング製品の品質を下支えしています。

エリコンバルザースの汎用コーティングであるTiNやTiAlNは用途全般に渡り、良好な効果を発揮しますが、AlCrNは類似の汎用性を維持しながら更に優れたパフォーマンスを発揮します。また、PVDコーティングの固体蒸発源であるTiAlターゲットやAlCrターゲットに第三、第四の合金元素を加えることにより、特定の用途に対する最大限の効果を見込むことができます。

プランゼーのAlCrターゲットは、以下の点でも優れています。

  • 耐性が高い
  • 高い熱伝導性
  • 均質な微細構造
  • 高純度

高い延性、長い寿命

コーティングプロセス中、スパッタリングターゲットやアークカソードには、様々な負担がかかります。ターゲット材の角部には、最大1トンもの力がかかることがあります。脆性の高い材料の場合、割れてしまうこともありますが、TiAlはアルミ元素により延性が向上しています。AlCrターゲットの高い延性を保証するため、プランゼーはクロムとアルミのパウダーを混合し、成形工程を用いてプレスするときに、特別な注意を払っています。その結果、プランゼーの材料は溶解法で製造した材料より微細構造がはるかに均質で粒子が細かくなるため、破損耐性が高く、寿命が長いという利点を有します。

高熱伝導、均一な成膜

コーティングプロセス中、ターゲットやカソードは高温にさらされます。しかし、プランゼーの材料はその熱を受けません。アルミを含み、材料密度も高いので、カソードターゲット熱伝導性が高く、効率的に熱を背後の銅板へ放出します。仮に熱がたまると、ターゲット材料は不規則にえぐれ、コーティングするツールの表面にもドロップレットが形成されます。しかし、プランゼーのターゲットは高い熱伝導性により効率の良い冷却を可能にし、均一なコーティングを保証致します。

最適な微細構造、完璧なコーティング

粗い金属パウダーでも、細かい金属パウダーでも、鍛造、HIP、あるいはその他の軸方向成形法だろうと、プランゼーは臨機応変にさまざまな生産工程を組み合わせ、最終的に皆様が使用するコーティングがとりわけ均一できめ細かいものになるようにします。何をするときでも、つねに目的はひとつ、製造するターゲットやカソードの微細構造を最適にすることにあります。つまり、コーティング中、製品の表面に形成される液滴を大幅に少なくすることです。その結果、ずば抜けて均一な成膜ができるのです。

きめ細かい微細構造AlCr 70/30%
きめ細かい微細構造AlCr 70/30%

標準的微細構造AlCr 70/30%
標準的微細構造AlCr 70/30%

完璧なコーティングをお求めですか?それならぜひ、プランゼーの長年にわたる経験と膨大な化学組成と生産プロセスのデータベースをご利用ください。プランゼーのチームは絶えずスパッタリングターゲットとアークカソードの開発を続け、以下の材料特性の改良に努めています。

  • 延性
  • 材料硬度
  • 耐酸化性
  • 摩擦係数
  • 温度耐性

プランゼーは、皆様のニーズに合せたアルミクロム混合材料を提供いたします。お気軽にご相談ください。

チタンシリコンターゲット

コーティングプロセス向け材料と製品

ご要望によりヒートシンク一体型ターゲットの製造も可能です。これによりターゲットの先端でも熱伝導性がさらによくなり、安定するという特性を有します。(この製品では、アルミのヒートシンクがターゲット材料とじかにつながっています。)

また、チタンアルミクロムチタン、ジルコニウムチタンシリコンタングステカーバイドニホウ化チタン製のプランゼーのターゲット、カソードも一度ご覧ください。

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