最適に金属膜形成、アルミスパッタリングターゲット

アルミはきわめて高い電気伝導性を持っています。TFT-LCDモニター、テレビ画面、携帯電話のディスプレイ用の薄膜トランジスターでは、モリブデンと組み合わせて膜を形成します。

主な特性一覧
密度 [g/cm3] > 2,70
純度[%] > 99,999 (5N)
硬度[HV1]16
熱伝導率[W/(m•K)]238

高純度

純度5N(ファイブナイン)のプランゼーのアルミスパッタリングターゲットは、まさにベストです。どこがそんなにいいのでしょう?スパッタリングターゲット中に含まれている不純物は材料の導電性を阻害します。クロム、マンガン、マグネシウム、シリコン、鉄、スズの粒子は、とくに禁物です。しかし、心配はありません。残留不純物は最小限しか含まれていません。濃度は臨界閾値のはるかに下です。

純アルミ製スパッタリングターゲット
不純物の標準的な濃度

均質な結晶構造

プランゼーのアルミターゲットはひときわ粒子の細かい結晶構造になっています。このため、エロージョンが均一に進み、スパッタリングリング中のパーティクル形成の可能性も小さく抑えることができます。

素晴らしい表面品質

アルミはとりわけ軟らかい材料です。プランゼーでは、アルミターゲットの表面が最適な状態に保たれて皆様のもとへ届くように、製品の機械加工時と包装時に特別な配慮を払っております。

プランゼーのアルミ製ターゲット
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