クロム、 大切なコンポーネントの最適な保護に

クロム(Cr)、窒化クロム(CrN)の硬質材料コーティングは、ピストンリング、バケット、タペットなどのエンジン部品を早期摩耗から最適に保護し、結果的に大切なエンジン部品の耐用年数を延ばします。さらに、装飾コーティングに利用しても、プランゼーのクロムは時計、電子製品、家電製品の操作部など、幅広い製品に素敵な光沢を添えます。DLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングでは、ボンディング層として使用するか、直接加えて特殊なDLC層を形成させます。

さらに、装飾コーティングに利用しても、プランゼーのクロムは時計、電子製品、家電製品の操作部など、幅広い製品に素敵な光沢を添えます。

装飾クロムめっきはマグネトロンスパッタリング法を用いて行います。耐摩耗層や密着層はアーク蒸着法を用いて形成することができます。

クロムスパッタリングターゲット

プランゼーは高純度(HP)と超高純度(UHP)のディスク形状、矩形、チューブ形のクロム製スパッタリングターゲットとアークカソードをお届けいたします。

主な特性一覧
クロムUHPHP
金属純度[%] 99.95 99.8
金属不純物[μg/g]Fe
Si
その他
300
100
150
1 500
500
400
非金属不純物[μg/g]O
N
C
300
200
100
1 000
200
300
保証密度[g/cm3] 7.12 7.12
粒径[μm]100100
熱伝導率[W/(m•K)] max. 250 max. 150
熱膨張率[1/K] 7 · 10-6 7 · 10-6
微細構造クロムスパッタリングターゲット
プランゼーの微細構造のクロムターゲット

純度

高純度モリブデン鉱石

コーティング材料の純度が高ければ高いほど、硬質層の品質もよくなります。プランゼーでは最上質のパウダーだけを使用し、それを自社の設備で混合し、高い材料純度が得られるようにしています。プランゼーは、パウダーから最終製品まで、あらゆる段階を注視し、厳密に保証した密度と純度と均質な微細構造を持つターゲットだけが出荷されるよう管理しています。

一貫生産がもたらす最高品質

高品質のモリブデン、タングステン

スパッタリングターゲットのトップメーカーとして、プランゼーは製造のあらゆる工程を自社内で行っています。金属パウダーの混合、成形、機械加工、ボンディングに至るまでの製造工程、また、新材料の開発やコーティングプロセスや薄膜の最適化も、社内で行われます。ターゲットの品質も最先端の測定方法を用いて検証しています。

最適なコーティングの追求

スパッタリングターゲット研究ラボ

PVDプロセスでは、あらゆる要素が最適にかみ合わなければなりません。すべてのプロセスパラメーターが十分に調和したときに初めて、皆様のご希望に合ったコーティングが得られます。当社では、お客様はもとより、多くの開発機関とも幅広く協力していますので、新しいコーティング材料の開発も常に活発に行われています。

完璧なコーティングをお求めですか?それならぜひ、プランゼーの長年にわたる経験と膨大な化学組成と生産プロセスのデータベースをご利用ください。プランゼーでは、とどまることなくスパッタリングターゲットやアークカソードの開発を行い、以下のようなコーティング特性の向上に努めています。

  • 粒径と微細構造
  • 延性
  • 材料硬度
  • 耐酸化性
  • 摩擦係数
  • 温度耐性

プランゼーは追加の元素を加える事によりチタンアルミ材料をよりご所望の性質に近づけます。

コーティングプロセス向け材料と製品

グラファイトフォイル、ネジワッシャボルトなどの、製造に欠かせない部品も喜んでお届けいたします。また、ターゲットのモリブデンまたは銅製バックプレートへのボンディングも喜んでお引き受けいたします。これらは皆様のターゲットを安定させ、破損しないように保護する上で有効です。プランゼーでは通常、インジウムをはんだ材料として使用します。ただし、この材料は個々の用途に応じて変更することもできます。

また、チタンアルミアルミクロムチタン、ジルコニウムチタンシリコンニホウ化チタンタングステンカーバイド製のプランゼーのターゲット、カソードも一度ご覧ください。

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