タングステンカーバイド - バインダーフリー保証

タングステンカーバイド（WC）はDLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングの製造に使用します。これは、特別に硬くて長持ちし、高い応力にさらされるエンジン部品などの自動車産業のコンポーネントを摩耗から保護します。DLCコーティングは、摩擦係数を低下させることにより、歯車、プレス型などの数多くのコンポーネントの寿命を延ばします。

プランゼーはこのスパッタリングターゲットの製造にバインダーフリーのタングステンカーバイドだけを使用しています。この材料には、ニッケル、コバルトのような物質が一切含まれていません。このターゲット材料はコーティング中に細かい粒子が飛散し、それを吸い込むと健康に害を及ぼすことがあります。しかし、プランゼーのバインダーフリーのタングステンカーバイドターゲットなら、大丈夫です。

プランゼーのタングステンカーバイドは、炭素と組み合わさってWC/a-C:H層を形成しています。これはマグネトロンスパッタリング法を用いて形成します。通常、この層の下には、DLC層の密着性を高めるためにクロムコーティングを施しておきます。

プランゼーはタングステンターゲットコーティング用にモリブデンまたは銅バックプレートを付けたディスクタイプ、矩形、ボンディング型ターゲットをお届けいたします。プランゼーのボンディング型ターゲットは安定性が高くて破損しにくく、それだけ取り扱いが容易です。はんだ材料には一般にインジウムを使用します。しかし、個々の用途に応じてその他の材料を使用することも可能です。

セラミック材料のタングステンカーバイドは1900～2200°Cの高温でプレスしなければなりません。だから、プランゼーではターゲットを製造し、理論上の密度の99%以上を達成するために熱間プレス技術を使用しています。その結果、スパッタリング中にターゲットからパウダーの粒子は放出されず、コーティングの密着は完璧に行われます。

プランゼーの材料は粒径最小のタングステンカーバイドパウダーでできているので、ターゲットの微細構造もきわめてきめ細かく、均質になります。その場合、いいところは、コーティング中にターゲットの材料が一様に侵食され、より均一なコーティングができる点です。プランゼーは、その微細構造をさらに最適化しているので、タングステンカーバイドのアークカソードを作ることができます。

コーティングプロセス中、ターゲットは高温にさらされます。スパッタリングが終わったら、材料はまた急速に冷却されます。そのとき、ターゲットに割れ目や裂け目が生じることがあります。プランゼーのターゲットは、特別な製法で製造しているので、熱衝撃に対して抜群の耐性を示し、数えきれないほどの加熱/冷却のサイクルにも難なく耐えることができます。

完璧なコーティングをお求めですか？　それならぜひ、プランゼーの長年にわたる経験と膨大な化学組成と生産プロセスのデータベースをご利用ください。プランゼーでは、とどまることなくスパッタリングターゲットやアークカソードの開発を行い、以下のような特性の向上に努めています。

一般的にアークシステムで設計通りに硬質膜を形成するには、ユーザー側で一定のトライアルを重ねていく必要がありますが、プランゼーでは、いくつかの異なるシステムで事前に検証を行うことで、お客様のスムーズな生産の立ち上げをサポートしています。

セールス マーケティングマネージャーのPaul J. Rudnikが脆性材料製アークカソードの固定方法について説明します。