タングステンカーバイド - バインダーフリー保証
タングステンカーバイド(WC)はDLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングの製造に使用します。これは、特別に硬くて長持ちし、高い応力にさらされるエンジン部品などの自動車産業のコンポーネントを摩耗から保護します。DLCコーティングは、摩擦係数を低下させることにより、歯車、プレス型などの数多くのコンポーネントの寿命を延ばします。
プランゼーはこのスパッタリングターゲットの製造にバインダーフリーのタングステンカーバイドだけを使用しています。この材料には、ニッケル、コバルトのような物質が一切含まれていません。このターゲット材料はコーティング中に細かい粒子が飛散し、それを吸い込むと健康に害を及ぼすことがあります。しかし、プランゼーのバインダーフリーのタングステンカーバイドターゲットなら、大丈夫です。
プランゼーのタングステンカーバイドは、炭素と組み合わさってWC/a-C:H層を形成しています。これはマグネトロンスパッタリング法を用いて形成します。通常、この層の下には、DLC層の密着性を高めるためにクロムコーティングを施しておきます。
プランゼーはタングステンターゲットコーティング用にモリブデンまたは銅バックプレートを付けたディスクタイプ、矩形、ボンディング型ターゲットをお届けいたします。プランゼーのボンディング型ターゲットは安定性が高くて破損しにくく、それだけ取り扱いが容易です。はんだ材料には一般にインジウムを使用します。しかし、個々の用途に応じてその他の材料を使用することも可能です。
主な特性一覧 | ||
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純度[%] | 99.9 | |
保証密度[g/cm3] | 15.50 | |
粒径[μm] | 2 | |
熱伝導率[W/(m•K)] | 120 | |
熱膨張率[1/K] | 4,3 · 10-6 |
高い密度、均一な成膜
セラミック材料のタングステンカーバイドは1900~2200°Cの高温でプレスしなければなりません。だから、プランゼーではターゲットを製造し、理論上の密度の99%以上を達成するために熱間プレス技術を使用しています。その結果、スパッタリング中にターゲットからパウダーの粒子は放出されず、コーティングの密着は完璧に行われます。
最適な微細構造、完璧なコーティング
プランゼーの材料は粒径最小のタングステンカーバイドパウダーでできているので、ターゲットの微細構造もきわめてきめ細かく、均質になります。その場合、いいところは、コーティング中にターゲットの材料が一様に侵食され、より均一なコーティングができる点です。プランゼーは、その微細構造をさらに最適化しているので、タングステンカーバイドのアークカソードを作ることができます。
熱衝撃への最適な耐性、長い寿命
コーティングプロセス中、ターゲットは高温にさらされます。スパッタリングが終わったら、材料はまた急速に冷却されます。そのとき、ターゲットに割れ目や裂け目が生じることがあります。プランゼーのターゲットは、特別な製法で製造しているので、熱衝撃に対して抜群の耐性を示し、数えきれないほどの加熱/冷却のサイクルにも難なく耐えることができます。
純度

コーティング材料の純度が高ければ高いほど、硬質層の品質もよくなります。プランゼーでは最上質のパウダーだけを使用し、それを自社の設備で混合し、高い材料純度が得られるようにしています。プランゼーは、パウダーから最終製品まで、あらゆる段階を注視し、厳密に保証した密度と純度と均質な微細構造を持つターゲットだけが出荷されるよう管理しています。
一貫生産がもたらす最高品質

スパッタリングターゲットのトップメーカーとして、プランゼーは製造のあらゆる工程を自社内で行っています。金属パウダーの混合、成形、機械加工、ボンディングに至るまでの製造工程、また、新材料の開発やコーティングプロセスや薄膜の最適化も、社内で行われます。ターゲットの品質も最先端の測定方法を用いて検証しています。
最適なコーティングの追求

PVDプロセスでは、あらゆる要素が最適にかみ合わなければなりません。すべてのプロセスパラメーターが十分に調和したときに初めて、皆様のご希望に合ったコーティングが得られます。当社では、お客様はもとより、多くの開発機関とも幅広く協力していますので、新しいコーティング材料の開発も常に活発に行われています。
完璧なコーティングをお求めですか? それならぜひ、プランゼーの長年にわたる経験と膨大な化学組成と生産プロセスのデータベースをご利用ください。プランゼーでは、とどまることなくスパッタリングターゲットやアークカソードの開発を行い、以下のような特性の向上に努めています。
一般的にアークシステムで設計通りに硬質膜を形成するには、ユーザー側で一定のトライアルを重ねていく必要がありますが、プランゼーでは、いくつかの異なるシステムで事前に検証を行うことで、お客様のスムーズな生産の立ち上げをサポートしています。
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