タングステンカーバイド - バインダーフリー保証

タングステンカーバイド(WC)はDLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングの製造に使用します。これは、特別に硬くて長持ちし、高い応力にさらされるエンジン部品などの自動車産業のコンポーネントを摩耗から保護します。DLCコーティングは、摩擦係数を低下させることにより、歯車、プレス型などの数多くのコンポーネントの寿命を延ばします。

タングステンカーバイトスパッタリングターゲット

プランゼーはこのスパッタリングターゲットの製造にバインダーフリーのタングステンカーバイドだけを使用しています。この材料には、ニッケル、コバルトのような物質が一切含まれていません。このターゲット材料はコーティング中に細かい粒子が飛散し、それを吸い込むと健康に害を及ぼすことがあります。しかし、プランゼーのバインダーフリーのタングステンカーバイドターゲットなら、大丈夫です。

タングステンカーバイト製カソード

プランゼーのタングステンカーバイドは、炭素と組み合わさってWC/a-C:H層を形成しています。これはマグネトロンスパッタリング法を用いて形成します。通常、この層の下には、DLC層の密着性を高めるためにクロムコーティングを施しておきます。

プランゼーはタングステンターゲットコーティング用にモリブデンまたは銅バックプレートを付けたディスクタイプ、矩形、ボンディング型ターゲットをお届けいたします。プランゼーのボンディング型ターゲットは安定性が高くて破損しにくく、それだけ取り扱いが容易です。はんだ材料には一般にインジウムを使用します。しかし、個々の用途に応じてその他の材料を使用することも可能です。

主な特性一覧
純度[%]99.9
保証密度[g/cm3]15.50
粒径[μm]2
熱伝導率[W/(m•K)]120
熱膨張率[1/K] 4,3 · 10-6

高い密度、均一な成膜

セラミック材料のタングステンカーバイドは1900~2200°Cの高温でプレスしなければなりません。だから、プランゼーではターゲットを製造し、理論上の密度の99%以上を達成するために熱間プレス技術を使用しています。その結果、スパッタリング中にターゲットからパウダーの粒子は放出されず、コーティングの密着は完璧に行われます。

最適な微細構造、完璧なコーティング

プランゼーの材料は粒径最小のタングステンカーバイドパウダーでできているので、ターゲットの微細構造もきわめてきめ細かく、均質になります。その場合、いいところは、コーティング中にターゲットの材料が一様に侵食され、より均一なコーティングができる点です。プランゼーは、その微細構造をさらに最適化しているので、タングステンカーバイドのアークカソードを作ることができます。

熱衝撃への最適な耐性、長い寿命

コーティングプロセス中、ターゲットは高温にさらされます。スパッタリングが終わったら、材料はまた急速に冷却されます。そのとき、ターゲットに割れ目や裂け目が生じることがあります。プランゼーのターゲットは、特別な製法で製造しているので、熱衝撃に対して抜群の耐性を示し、数えきれないほどの加熱/冷却のサイクルにも難なく耐えることができます。

純度

高純度モリブデン鉱石

コーティング材料の純度が高ければ高いほど、硬質層の品質もよくなります。プランゼーでは最上質のパウダーだけを使用し、それを自社の設備で混合し、高い材料純度が得られるようにしています。プランゼーは、パウダーから最終製品まで、あらゆる段階を注視し、厳密に保証した密度と純度と均質な微細構造を持つターゲットだけが出荷されるよう管理しています。

一貫生産がもたらす最高品質

高品質のモリブデン、タングステン

スパッタリングターゲットのトップメーカーとして、プランゼーは製造のあらゆる工程を自社内で行っています。金属パウダーの混合、成形、機械加工、ボンディングに至るまでの製造工程、また、新材料の開発やコーティングプロセスや薄膜の最適化も、社内で行われます。ターゲットの品質も最先端の測定方法を用いて検証しています。

最適なコーティングの追求

スパッタリングターゲット研究ラボ

PVDプロセスでは、あらゆる要素が最適にかみ合わなければなりません。すべてのプロセスパラメーターが十分に調和したときに初めて、皆様のご希望に合ったコーティングが得られます。当社では、お客様はもとより、多くの開発機関とも幅広く協力していますので、新しいコーティング材料の開発も常に活発に行われています。

完璧なコーティングをお求めですか? それならぜひ、プランゼーの長年にわたる経験と膨大な化学組成と生産プロセスのデータベースをご利用ください。プランゼーでは、とどまることなくスパッタリングターゲットやアークカソードの開発を行い、以下のような特性の向上に努めています。

一般的にアークシステムで設計通りに硬質膜を形成するには、ユーザー側で一定のトライアルを重ねていく必要がありますが、プランゼーでは、いくつかの異なるシステムで事前に検証を行うことで、お客様のスムーズな生産の立ち上げをサポートしています。

タングステンカーバイド安全にスパッタリングするには

セールス マーケティングマネージャーのPaul J. Rudnikが脆性材料製アークカソードの固定方法について説明します。

コーティングプロセス向け材料と製品

グラファイトフォイル、ネジ、ワッシャ、ボルトなどの、製造に欠かせない付属品も喜んでお届けいたします。

また、チタンアルミアルミクロムクロムチタンジルコニウムチタンシリコンニホウ化チタンのプランゼーのターゲット、カソードも一度ご覧ください。

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