チタンシリコンスパッタリングターゲット

チタンとシリコンはひとつ(TiSi)になると窒化物硬質材料コーティングで抜群の成果を発揮します。シリコンは優れた耐酸化性を保証し、チタンの存在はとりわけ硬質のコーティングを約束します。ひとつになると、これらのふたつの元素は極高温でも耐摩耗性を示します。

スパッタリングターゲット、チタンシリコン

TiSiNコーティングしたツールはきわめて耐摩耗性が高く、高速機械加工を可能にします。機械加工は冷却剤なしでも問題ありません。ニッケル系合金、チタン系材料などの硬い材料でも、チタンシリコン窒化物コーティングしたツールなら、容易に加工することができます。

窒化チタン結晶が非晶質Si3N4マトリックスに埋め込まれ、両方でセラミックナノ複合コーティングを形成します。TiSiN層はマグネトロンスパッタリング法 またはアーク蒸着法でツールにコーティングします。

プランゼーのターゲットとカソードは、以下の標準的な材料組成で、寸法は各種取り揃えております。

  • TiSi 85 / 15 %
  • TiSi 80 / 20 %
  • TiSi 75 / 25 %
主な特性一覧
チタン/シリコン含有率[%]85 / 1580 / 2075 / 25
純度[%]99.899.899.8
保証密度[g/cm3]4.404.374.35
粒径[μm]100100100

最適な微細構造、完璧なコーティング

チタンシリコンスパッタリングターゲット微細構造

プランゼーの材料は、パウダーを混合するときにとくに注意を払うので、溶解法で製造した材料より微細構造がはるかに均質で、粒子も細かくなります。つまり、製品の表面に形成されるドロップレットも大幅に少なくなります。その結果、ずば抜けて表面状態の良い成膜ができるのです。

高い延性、長い寿命

コーティングプロセス中、ターゲットやカソードには、いろいろと負担がかかります。ターゲットのエッジの材料には、最大1トンもの力がかかることがあります。脆性の高い材料を使用していると、この力でターゲットが破損する可能性もあります。プランゼーの材料では、純チタンのマトリックスにシリコンを含む金属間化合物が付与されるので、ターゲットの延性がとくに高くなります。さらに、プランゼーは粉末冶金法を採用しているので、ターゲットの密度が理論上の密度の98%にも達します。その結果、破損耐性が高く、長寿命のターゲットができるのです。

プランゼーのターゲットにはさらに強い味方が

プランゼーは、日本の日立金属株式会社とライセンス契約を締結しています。(登録番号JP-3765475の特許権)よってユーザー様には安心してTiSiNコーティング製造用ターゲットとしてお使い頂けます。

純度

高純度モリブデン鉱石

コーティング材料の純度が高ければ高いほど、硬質層の品質もよくなります。プランゼーでは最上質のパウダーだけを使用し、それを自社の設備で混合し、高い材料純度が得られるようにしています。プランゼーは、パウダーから最終製品まで、あらゆる段階を注視し、厳密に保証した密度と純度と均質な微細構造を持つターゲットだけが出荷されるよう管理しています。

一貫生産がもたらす最高品質

高品質のモリブデン、タングステン

スパッタリングターゲットのトップメーカーとして、プランゼーは製造のあらゆる工程を自社内で行っています。金属パウダーの混合、成形、機械加工、ボンディングに至るまでの製造工程、また、新材料の開発やコーティングプロセスや薄膜の最適化も、社内で行われます。ターゲットの品質も最先端の測定方法を用いて検証しています。

最適なコーティングの追求

スパッタリングターゲット研究ラボ

PVDプロセスでは、あらゆる要素が最適にかみ合わなければなりません。すべてのプロセスパラメーターが十分に調和したときに初めて、皆様のご希望に合ったコーティングが得られます。当社では、お客様はもとより、多くの開発機関とも幅広く協力していますので、新しいコーティング材料の開発も常に活発に行われています。

完璧なコーティングをお求めですか?それならぜひ、プランゼーの長年にわたる経験と膨大な化学組成と生産プロセスのデータベースをご利用ください。プランゼーでは、とどまることなくスパッタリングターゲットやアークカソードの開発を行い、以下のようなコーティング特性の向上に努めています。

  • 粒径と微細構造
  • 延性
  • 材料硬度
  • 耐酸化性
  • 摩擦係数
  • 温度耐性

プランゼーは追加の元素を加える事によりチタンアルミ材料をよりご所望の性質に近づけます。

チタンシリコンターゲット

コーティングプロセス向け材料と製品

グラファイトフォイル、ネジ、ワッシャ、ボルトなどの、製造に欠かせない付属品も喜んでお届けいたします。

また、 チタンアルミアルミクロムクロムチタン、ジルコニウムタングステンカーバイドニホウ化チタン製のプランゼーのターゲット、カソードも一度ご覧ください。

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