ジルコニウム製スパッタリングターゲット、アークカソード

ドリル、フライス盤、刃先交換式切削インサートチタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)の窒化物、炭化物のコーティングは皆様のツールを経済的かつ確実に摩耗から保護します。さらに、ジルコニウムは色合いが真鍮に似ていて、たとえば家電製品や取付金具などの装飾コーティングにも適しています。

チタン、ジルコニウムのコーティングはマグネトロンスパッタリング法またはアーク蒸着法で行います。プランゼーはどちらの材料もサイズと形の共通したスパッタリングターゲット、アークカソードとしてお届けいたします。

ジルコニウム製スパッタリングターゲット、アークカソード

お急ぎですか? 大丈夫です。プランゼーには、短納期にも対応できるように、シート、チューブ、ロッドなどの材料製品のストックがございます。

主な特性一覧
材料 チタン ジルコニウム
純度[%]99.699.2
保証密度[g/cm3]4.56.5
粒径[μm]100100
熱伝導率[W/(m•K)]22.022.7
熱膨張率[1/K] 8.6 · 10-64.8 · 10-6

コーティングプロセス向け材料と製品

グラファイトフォイル、ネジ、ワッシャ、ボルトなどの、製造に欠かせない付属品も喜んでお届けいたします。

また、 チタンアルミアルミクロムクロムチタン、ジルコニウムタングステンカーバイドニホウ化チタン製のプランゼーのターゲット、カソードも一度ご覧ください。

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