エッチングが変わる、MoWターゲット

プランゼーのモリブデンタングステン合金(MoW)は、ITO、アルミ、または銅用エッチャントに対して安定性を高めます。 純モリブデンにタングステンを加えると、エッチングの速度を選択的に遅くすることができます。ターゲット中のタングステン濃度は、皆様の必要性や用途のニーズに応じて正確に調整することができます。粉末冶金法で生産しているプランゼーの材料では、一様なタングステン分布のよさをおわかりいただけること請け合いです。

モリブデンタングステン平面スパッタリングターゲット

一貫生産がもたらす最高品質

プランゼーは、製品の製造をすべて社内で行っています。
原料から最終製品まで、新しい材料の開発。

原料<br/>(酸化物)
還元
混合
混合
金属粉末と混合粉末を2 t/cm²の圧力をかけてプレスし、いわゆる圧粉体と呼ばれるものを作ります。何か特別な形のものが求められる場合はプレスの段階で、圧粉体がその仕様にあうように
プレス
焼結
成形
熱処理
処理
機械加工
接合
コーティング
品質
保証
リサイクル

焼結は粉末冶金生産工程の要となる、メタルパウダーを圧粉して金属インゴットにする工程です。プランゼーでは、世界最大の高融点金属用熱間圧延機を導入し、最高密度の平面ターゲットを生産しています。円筒型ターゲットの製造には、特殊な成形工程を用いています。

最適なコーティングの追求

PVDプロセスでは、あらゆる要素が最適にかみ合わなければなりません。すべてのプロセスパラメーターが十分に調和したときに初めて、皆様のご希望に合ったコーティングが得られます。プランゼーのPVD研究ラボでは、現実の環境に近い条件でスパッタリングリングを行います。ここではプランゼーの開発チームが皆様の仕様に基づいてコーティングを生成し、徹底的に分析を行います。当社では、お客様はもとより、多くの開発機関とも幅広く協力していますので、新しいコーティング材料の開発期間を最小限に短縮することができます。

当社のコーティング技術は、当社の他製品にも使われています。プランゼーではPVD、CVD、APS、VPSコーティングプロセスを用いて半導体基板、X線ターゲットなどの自社製品を社内でコーティングしています。

PVD研究ラボ
プランゼーのPVD研究ラボでは、現実の環境に近い条件でスパッタリングリングを行います。<br/>ここではプランゼーの開発チームが皆様の仕様に基づいてコーティングを生成し、徹底的に分析を行います。

高品質を安定供給

1921年より、プランゼーは独立した民間企業として、お客様のご信頼に応えてまいりました。今日でも、信頼と安定供給の継続、特に原料の調達に関しては何よりも大切だと考えます。プランゼーでは、タングステンの長期供給体制を、最高品質のパウダーを生産するグループ会社GTPで、モリブデンは南米のモリブデンパウダー生産会社MOLYMETへの資本参加により確保し、パウダー生産からそれに続く粉末冶金工程、そして半完成品やお客様固有のコンポーネントまでプランゼーグループでは全ての工程をグループ内で行っております。

モリブデン鉱石
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