MoTaスパッタリングターゲット、 優れた耐食性

モリブデンは、ガラスへの密着性がよく、適当な電気伝導性のため、薄膜トランジスタ(TFT-LCD)やタッチセンサー(タッチパネル)用途の材料として最適です。

生産ラインでも製品出荷後も、コーティング層は大気中やユーザーからくる湿気に触れます。腐食を少なくし、出荷後も高い品質を維持する製品づくりに、プランゼーのモリブデンタンタルが貢献します。

モリブデンタンタル スパッタリングターゲット

MoTaスパッタリングターゲット、 優れた耐食性

主な特性一覧
密度 [%] ≥ 99.5
純度[%] > 99.97
熱膨張係数 [ppm/K] 5.34
熱伝導率[W/(m•K)]97
電気伝導度 [MS/m]13
微細構造 細粒、均質
高品質のスパッタリングターゲット

高い密度

プランゼーは熱間成形によってMoTaスパッタリングターゲットを95%以上の密度まで成形します。それによって、形成する層の導電性がひときわ高くなり、また蒸着速度も速くなって高速スパッタリングリングが可能になります。

優れた純度

スパッタリングターゲットに金属や気体の不純物が含まれていると、それがほぼ1:1の確率でスパッタリングされた膜に再生され、PVDプロセス中のパーティクル形成につながります。プランゼーのMoTaターゲットは純度99.97%以上を保証いたします。

耐食性の向上

純モリブデンに耐食性の高い元素タンタルを少量ドープしますと。両金属の長所を組み合わせることができます。MoTaは数多くの試験でその耐食性の高さを実証しています。

モリブデンとMoTaのエッチングした薄膜(厚さ: 300nm)を60°C、相対湿度90%の環境に曝露すると、下図のようになります。

モリブデンタンタル
モリブデン
曝露時間: 0時間
モリブデンタンタル
モリブデン
曝露時間: 50時間
モリブデンタンタル
モリブデン
曝露時間: 100時間
モリブデンタンタル
MoTa (engl.)
曝露時間: 0時間
モリブデンタンタル
MoTa (engl.)
曝露時間: 50時間
モリブデンタンタル
MoTa:
曝露時間: 100時間

信頼できるエッチング結果

MoTaはとりわけ迅速かつ容易に扱える材料です。MoTaのテーパ角は45°です。それに対して、同程度の耐食性を示す他社の製品では、この角度が90°と、きわめて急勾配になっています。そのような急勾配では、あとで形成される膜が適切に積層されることができません。その結果、亀裂や短絡が生じる可能性が出てきます。

一貫生産がもたらす最高品質

プランゼーは、製品の製造をすべて社内で行っています。
原料から最終製品まで、新しい材料の開発。

原料<br/>(酸化物)
還元
混合
混合
金属粉末と混合粉末を2 t/cm²の圧力をかけてプレスし、いわゆる圧粉体と呼ばれるものを作ります。何か特別な形のものが求められる場合はプレスの段階で、圧粉体がその仕様にあうように
プレス
焼結
成形
熱処理
処理
機械加工
接合
コーティング
品質
保証
リサイクル

焼結は粉末冶金生産工程の要となる、メタルパウダーを圧粉して金属インゴットにする工程です。プランゼーでは、世界最大の高融点金属用熱間圧延機を導入し、最高密度の平面ターゲットを生産しています。円筒型ターゲットの製造には、特殊な成形工程を用いています。

最適なコーティングの追求

PVDプロセスでは、あらゆる要素が最適にかみ合わなければなりません。すべてのプロセスパラメーターが十分に調和したときに初めて、皆様のご希望に合ったコーティングが得られます。プランゼーのPVD研究ラボでは、現実の環境に近い条件でスパッタリングリングを行います。ここではプランゼーの開発チームが皆様の仕様に基づいてコーティングを生成し、徹底的に分析を行います。当社では、お客様はもとより、多くの開発機関とも幅広く協力していますので、新しいコーティング材料の開発期間を最小限に短縮することができます。

当社のコーティング技術は、当社の他製品にも使われています。プランゼーではPVD、CVD、APS、VPSコーティングプロセスを用いて半導体基板、X線ターゲットなどの自社製品を社内でコーティングしています。

PVD研究ラボ
プランゼーのPVD研究ラボでは、現実の環境に近い条件でスパッタリングリングを行います。<br/>ここではプランゼーの開発チームが皆様の仕様に基づいてコーティングを生成し、徹底的に分析を行います。
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