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酸化モリブデンスパッタターゲットによる反射防止のソリューション

酸化モリブデンターゲット

酸化モリブデンの薄膜は、サブピクセルの分離や周囲光からの不要な反射の防止など、現代のフラットスクリーンにおいて様々な可能性を秘めており、プランゼーでは各種の酸化モリブデンターゲットを提供しています。


またプランゼーでは、酸化モリブデンに別元素をドープすることで酸化モリブデン膜のエッチング率を調整し、お客様の生産プロセスに適合させています。

主な特性一覧
密度 [%] ≥ 95
純度[%] > 99,9
熱膨張係数 [ppm/K] 5
熱伝導率[W/(m•K)]4-6
電気伝導度 [S/cm]120-1100

ディスプレイ関連の酸化モリブデンの用途:

スリムベゼルディスプレイ

 

スリムベゼルディスプレイ

最新のデスクトップモニターやTVスクリーンは、プラスチックフレーム(ベゼル)なしのものが多くなっています。ベゼルがないと見た目がよくなるほか、複数のスクリーンを組み合わせて大型ディスプレイを構成することができます。反面、TFT上の高い反射率を持った金属配線がむき出しになり、パネルの見た目に影響を与えかねません。そこで酸化モリブデンを材料とする反射防止コーティングの採用が考えられます。厚さ550nmにて成膜を行えば入射光の反射が6%未満に抑えられる為、上記の問題を解消することができます。

スリムベゼルスクリーンにおいて、暗色の酸化モリブデン膜が導体膜上に成膜された構造を図示しています。

OLED

周囲光がOLEDディスプレイに入射するとTFTの金属配線がこの光を反射し、ディスプレイのコントラストを下げてしまいます。標準的な対策としては円偏光板の採用がありますが、ディスプレイ側の光の収率も下げてしまいます。酸化モリブデン膜は光の吸収率が高い上に導体の為、配線による反射を防止しながらディスプレイの効率も維持することができます。

金属モリブデン膜が入射光の約60%を反射するのに対して、酸化モリブデン膜の反射率は6%未満です。 酸化モリブデン膜を採用することでOLEDにおける偏光層の設計負荷を大きく軽減することができます。

タッチスクリーン内の反射防止コーティング

酸化モリブデン薄膜を採用することで、静電容量式タッチセンサー内の金属配線における不要な反射を防止します。

酸化モリブデンを成膜するによって、タッチスクリーン内のタッチセンサーは見えなくなります。

プランゼーにはPVDコーティングのエキスパートがいます。

コーティングラボでは、各種の酸化モリブデン薄膜の特性につき知見を重ねており、組成、厚み、パラメーターについてもアドバイスすることができます。

スパッタラボでは様々な薄膜の特性をチェックし、自社のターゲット開発に役立てています。