一層ずつ積み重なる
エピタキシャルプロセスの構成要素

エピタキシャルプロセスのMOCVD(有機金属化学気相成膜法)とMBE(分子線エピタキシー)は、LEDチップやトランジスタの製造できわめて重要な役割を果たします。これらのプロセスは半導体層の成長に使用されます。

モリブデン合金TZM製マンドレル
モリブデン合金TZM製マンドレル
Carrier made
MOCVDリアクター

エピタキシャル反応チャンバー内の物質は最高2200°Cに耐えなければなりません。高融点金属が要求されるこの環境で、プランゼーは、お客様のシステムに合ったモリブデン製、タングステン製、タンタル製および合金製の耐熱部品を製造することができます。

  • 高い融点:モリブデン(融点2620°C)、タンタル(融点3017°C)、タングステン(融点3420°C)は、融点が高いためにMOCVDやMBEなどの高温処理での使用に最適な高融点金属です。
  • 耐食性:モリブデン、タンタル、タングステンは、超高温下でも、さまざまな雰囲気中で耐食性を示します。

モリブデン

タングステン

アンモニアガス

1000°C(1273K)まで反応なし 1000°C(1273K)超で表面窒化の可能性あり1000°C(1273K)まで反応なし 1000°C(1273K)超で表面窒化の可能性あり

希ガス

超高温まで反応なし超高温まで反応なし

二酸化炭素

1200°C(1473K)超で酸化1200°C(1473K)超で酸化
一酸化炭素1400°C(1673K)超で酸化1400°C(1673K)超で酸化
炭化水素1100°C(1373K)超で炭化1100°C(1373K)超で炭化
空気及び酸素400°C(673K)超で酸化 600°C(873K)超で昇華500°C(773K)超で酸化 850°C(1123K)超で昇華
窒素超高温まで反応なし (純モリブデンの場合も同様)超高温まで反応なし (純モリブデンの場合も同様)
水蒸気700°C(973K)超で酸700°C(973K)超で酸
水素超高温まで反応なし (露点に注意)超高温まで反応なし (露点に注意)
  • 高純度:反応器の部品に含まれている不純物が、処理中に半導体を汚染することがあります。半導体の品質およびLEDやトランジスタの効率を保証するには、材料に不純物が含まれていてはなりません。プランゼーは99.97%の純度を保証します。
  • 低い蒸気圧:プランゼーの材料は高真空中および超高真空中での使用に最適です。
モリブデンとタングステンの蒸気圧

形状安定性

モリブデンとタングステンは、高温下でも、頻繁な冷却加熱サイクルにさらされても、元の形状を保ちます。またプランゼーでは、TZM、WVM、ML、WLなどの特殊合金を使用して、材料の寿命をさらに延ばすことに成功しました。これらの合金は、ユーザーにとって重要な、クリープ強度と材料強度を向上させています。

プランゼーオンラインショップ

さあ、どうぞ。プランゼーの高融点金属製リボン、シート、ロッド、ワイヤーは、いますぐオンラインでご注文いただけます。どうぞwww.shop.plansee.comへお立ち寄りください。

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