プランゼーの真空蒸着用金属

蒸着用のボートを供給しています。タングステン、モリブデン、モリブデンランタン(ML)、モリブデンイットリウム酸化物(MY)、タンタルを原材料として使用しています。これらは電気伝導性に優れ、低い蒸気圧と高融点を兼ね備えています。通電させると、ボートは材料を過熱し蒸発させます。プランゼーの材料は蒸気圧が低いため、タングステン、タンタルやモリブデンの粒子が蒸気に混入することも、薄膜に入ってしまうこともありません。

お客様の蒸着材料に適切なボートは？

お客様の蒸着材料に最適な蒸着ボートをお探しですか？詳しい情報はこちらよりご覧ください。プランゼーの担当者は皆様からのご連絡をお待ちしております。

蒸着ボートはオンラインショップからご注文いただけます：
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製品群

蒸着コイルについてご興味がおありですか？以下の製品名の構成をご参照ください：

タングステン、モリブデン、タンタル製の蒸着ボートをご用意しております。

タングステンボート: ストレートタイプーフラットタブ

タングステンは多くの溶融金属、高融点金属に対して耐腐食性が非常に高く、また熱耐性も同じく高いです。プランゼーではカリウムケイ酸塩のような特別な添加剤を使用し腐食および歪みに対してもさらに耐性のある製品を作っています。

製品番号	製品名	幅 [mm]	全長[mm]	板厚 [mm]	タブ長 [mm]	タブ深 [mm]	タブ容量 [cc]
11620412	W boat SF06080-10-4012	6	80	0.10	40	1.2	0.15
11620378	W boat SF06100-10-4012	6	100	0.10	40	1.2	0.15
11620420	W boat SF06100-15-4012	6	100	0.15	40	1.2	0.14
11620393	W boat SF06100-20-4013	6	100	0.20	40	1.3	0.15
11620083	W boat SF06100-50-4015	6	100	0.50	40	1.5	0.14
11620090	W boat SF06100-10-4015	7	100	0.10	40	1.5	0.22
11620084	W boat SF06100-15-4016	7	100	0.15	40	1.6	0.22
11620087	W boat SF06100-20-4017	7	100	0.20	40	1.7	0.23
11620111	W boat SF06100-30-4015	7	100	0.30	40	1.5	0.18
11372202	W boat SF06100-50-4017	7	100	0.50	40	1.7	0.18
11704004	W boat SF08080-20-4016	8	80	0.20	40	1.6	0.25
11518629	W boat SF08080-20-4025	8	80	0.20	40	2.5	1.20
11491522	W boat SF08100-15-4015	8	100	0.15	40	1.5	0.24
11491527	W boat SF08100-20-4016	8	100	0.20	40	1.6	0.25
11490973	W boat SF08100-30-4017	8	100	0.30	40	1.7	0.25
11490983	W boat SF08100-50-4020	8	100	0.50	40	2.0	0.27
11530659	W boat SF10090-10-5020	10	90	0.10	50	2.0	0.58
11620319	W boat SF10100-10-5020	10	100	0.10	50	2.0	0.58
11620299	W boat SF10100-15-5021	10	100	0.15	50	2.1	0.60
11568929	W boat SF10100-20-5020	10	100	0.20	50	2.0	0.56
11372262	W boat SF10100-30-5021	10	100	0.30	50	2.1	0.54
11372206	W boat SF10100-50-5020	10	100	0.50	50	2.0	0.48
11372184	W boat SF10110-20-5020	10	100	0.20	50	2.0	0.56
11454842	W boat SF10110-50-5020	10	100	0.50	50	2.0	0.48
11488901	W boat SF15100-20-5025	15	100	0.20	50	2.5	1.11
11739334	W boat SF20080-10-5517	20	80	0.10	55	1.7	1.44
11390532	W boat SF20090-30-4026	20	90	0.30	40	2.6	1.20
11491743	W boat SF20100-20-4025	20	100	0.20	40	2.5	1.20
11526633	W boat SF20100-30-4026	20	100	0.30	40	2.6	1.20
11505281	W boat SF20100-50-4025	20	100	0.50	40	2.5	1.04

タングステンボート: ストレートタイプーブイ字タブ

製品番号	製品名	幅 [mm]	全長[mm]	板厚 [mm]	タブ長 [mm]	タブ深 [mm]	タブ容量 [cc]
11526927	W boat SV06080-10-4014	6	80	0.10	40	1.4	0.14
11526666	W boat SV06100-10-4014	6	100	0.10	40	1.4	0.14
11501907	W boat SV06100-15-4015	6	100	0.15	40	1.5	0.15
11488899	W boat SV06100-20-4016	6	100	0.10	40	1.6	0.15
11490474	W boat SV06100-50-4020	6	100	0.50	40	2.0	0.16
11620125	W boat SV07100-10-4015	7	100	0.10	40	1.5	0.16
11620144	W boat SV07100-15-4017	7	100	0.15	40	1.7	0.17
11372276	W boat SV07100-20-1015	7	100	0.20	40	1.5	0.27
11372220	W boat SV07100-20-4018	7	100	0.20	40	1.8	0.18
11620134	W boat SV07100-30-4020	7	100	0.30	40	2.0	0.18
11382612	W boat SV08100-15-4015	8	100	0.15	40	1.5	0.19
11372222	W boat SV08100-20-4015	8	100	0.20	40	1.5	0.19
11469805	W boat SV10050-30-3023	10	50	0.30	30	2.3	0.23
11568902	W boat SV10100-10-5020	10	100	0.10	50	2.0	0.38
11372216	W boat SV10100-15-5021	10	100	0.15	50	2.1	0.39
11372224	W boat SV10100-20-5020	10	100	0.20	50	2.0	0.36
11568906	W boat SV10100-30-5023	10	100	0.30	50	2.3	0.40
11372272	W boat SV10100-50-5027	10	100	0.50	50	2.7	0.44
11466226	W boat SV15100-20-5057	15	100	0.20	50	5.7	1.14
11620145	W boat SV15100-20-6025	15	100	0.20	50	2.5	0.37
11466242	W boat SV15100-30-5058	15	100	0.30	60	5.8	1.12
11372315	W boat SV15100-30-6025	15	100	0.30	60	2.5	0.35

タングステンボートスペシャルシリーズ

Evaporation boat 11745347 — 11745347
W boat SO20100-20-3732
容量: 0.62 cc

Evaporation boat 11372400 — 11372400
W boat SS13100-10-1020
容量: 0.07 cc

Evaporation boat 11739470 — 11739470
W boat SS13100-20-1020
容量: 0.07 cc

Evaporation boat 11587458 — 11587458
W boat SS17100-15-1527
容量: 0.23 cc

Evaporation boat 11638516 — 11638516
W boat SS17100-20-1528
容量: 0.23 cc

Evaporation boat 11372327 — 11372327
W boat SS17100-30-1529
容量: 0.23 cc

Evaporation boat 11592622 — 11592622
W boat SS17100-30-4529
容量: 0.71 cc

Evaporation boat 11372282 — 11372282
W boat TF15100-20-4023
容量: 0.74 cc

Evaporation boat 11372311 — 11372311
W boat TF15100-30-4024
容量: 0.74 cc

Evaporation boat 11501152 — 11501152
W boat TF15102-20-4025
容量: 0.83 cc

Evaporation boat 11490698 — 11490698
W boat TF15102-30-4028
容量: 0.9 cc

Evaporation boat 11372325 — 11372325
W boat TF16100-30-5038
容量: 2.04 cc

Evaporation boat 11372299 — 11372299
W boat TF16102-20-5037
容量: 2.04 cc

Evaporation boat 11372303 — 11372303
W boat TF20112-20-4830
容量: 1.8 cc

Evaporation boat 11372328 — 11372328
W boat TF20112-30-4830
容量: 1.73 cc

Evaporation boat 11372307 — 11372307
W boat TF25112-20-8090
容量: 11.5 cc

Evaporation boat 11521953 — 11521953
W boat TF25112-30-8090
容量: 11.3 cc

Evaporation boat 11549481 — 11549481
W boat TF25112-40-8090
容量: 11.2 cc

Evaporation boat 11372295 — 11372295
W boat TO16100-20-3428
容量: 0.61 cc

Evaporation boat 11386682 — 11386682
W boat TO16100-30-3429
容量: 0.61 cc

Evaporation boat 11518049 — 11518049
W boat TS14090-10-1020
容量: 0.07 cc

Evaporation boat 11382613 — 11382613
W boat TS14090-20-1020
容量: 0.07 cc

Evaporation boat 11695261 — 11695261
W boat TS17080-20-1525
容量: 0.2 cc

Evaporation boat 11739522 — 11739522
W boat TS25075-30-2430
容量: 0.62 cc

Evaporation boat 11372305 — 11372305
W boat TS25076-20-2429
容量: 0.62 cc

Evaporation boat 11372406 — 11372406
W boat TS25100-20-2429
容量: 0.62 cc

Evaporation boat 11491742 — 11491742
W boat TV10100-30-4427
容量: 0.4 cc

Evaporation boat 11473891 — 11473891
W boat set NO09100-10-4015
容量: 0.24 cc

Evaporation boat 11645509 — 11645509
W boat set NO10080-10-4016
容量: 0.24 cc

Evaporation boat 11371790 — 11371790
W boat set NO10100-10-4016
容量: 0.24 cc

t = mm単位

モリブデン: ストレートタイプーフラットタブ

モリブデンは高温で使用するときでも安定性が特に良い金属です。酸化ランタンをモリブデン(ML)に添加すると、モリブデンはさらに延性が高まり、耐腐食性も良くなります。イットリウム酸化物(MY)の添加ですと、機械加工性が良くなります。

製品番号	製品名	幅 [mm]	長さ [mm]	板厚 [mm]	タブ長 [mm]	タブ深 [mm]	タブ容量 [cc]
11371074	Mo boat SF15100-30-4030	15	100	0.30	40	3.0	0.96
11620327	Mo boat SF10100-10-5020	10	100	0.10	50	2.0	0.58
11620303	Mo boat SF10100-15-5021	10	100	0.15	50	2.1	0.60
11371002	Mo boat SF10100-20-5020	10	100	0.20	50	2.0	0.56
11371010	Mo boat SF10100-30-5021	10	100	0.30	50	2.1	0.54
11564596	Mo boat SF10100-50-5020	10	100	0.50	50	2.0	0.48
11371004	Mo boat SF10150-20-5020	10	150	0.20	50	2.0	0.87
11517080	Mo boat SF15100-20-5025	15	100	0.20	50	2.5	1.11
11526899	Mo boat SF15100-30-5027	15	100	0.30	50	2.7	1.16
11371054	Mo boat SF20100-20-4025	20	100	0.20	40	2.5	1.20
11380544	Mo boat SF20100-30-4026	20	100	0.30	40	2.6	1.20
11451537	Mo boat SF06100-10-4012	6	100	0.10	40	1.2	0.15
11579723	Mo boat SF06100-15-4012	6	100	0.15	40	1.2	0.14
11620385	Mo boat SF06100-20-4013	6	100	0.20	40	1.3	0.15
11620082	Mo boat SF06100-50-4015	6	100	0.50	40	1.5	0.14
11371030	Mo boat SF06050-10-2016	6	50	0.10	20	1.6	0.09
11620403	Mo boat SF06080-10-4012	6	80	0.10	40	1.2	0.15
11370987	Mo boat SF07100-10-4015	7	100	0.10	40	1.5	0.22
11370993	Mo boat SF07100-15-4016	7	100	0.15	40	1.6	0.22
11370998	Mo boat SF07100-20-4017	7	100	0.20	40	1.7	0.23
11620113	Mo boat SF07100-30-4015	7	100	0.30	40	1.5	0.18
11642325	Mo boat SF07090-10-2015	7	90	0.10	20	1.5	0.09
11517065	Mo boat SF08100-15-4015	8	100	0.15	40	1.5	0.24
11508090	Mo boat SF08100-20-4016	8	100	0.20	40	1.6	0.25
11495881	Mo boat SF08100-30-4017	8	100	0.30	40	1.7	0.25
11416390	Mo boat SF08100-50-4020	8	100	0.50	40	2.0	0.27

モリブデンボート: ストレートタイプーブイ字タブ

製品番号	製品名	幅 [mm]	長さ [mm]	板厚 [mm]	タブ長 [mm]	タブ深 [mm]	タブ容量 [cc]
11371018	Mo boat SV10100-10-5020	10	100	0.10	50	2.0	0.38
11371028	Mo boat SV10100-30-5023	10	100	0.30	50	2.3	0.40
11526923	Mo boat SV06100-15-4015	6	100	0.15	40	1.5	0.15
11574464	Mo boat SV06100-20-4016	6	100	0.20	40	1.6	0.15
11378337	Mo boat SV06100-50-4020	6	100	0.50	40	2.0	0.16
11517089	Mo boat SV06080-10-4014	6	80	0.10	40	1.4	0.14
11371056	Mo boat SV07100-20-1015	7	100	0.20	10	1.5	0.27
11371016	Mo boat SV07100-10-4015	7	100	0.10	40	1.5	0.16
11608809	Mo boat SV07100-30-4020	7	100	0.30	40	2.0	0.18

モリブデンボートスペシャルシリーズ

Evaporation boat 11516038 — 11516038
Mo boat SS13100-10-1020
容量: 0.07 cc

Evaporation boat 11371078 — 11371078
Mo boat SS13100-20-1020
容量: 0.07 cc

Evaporation boat 11371047 — 11371047
Mo boat SS17100-20-1528
容量: 0.23 cc

Evaporation boat 11622425 — 11622425
Mo boat SS17100-30-1529
容量: 0.23 cc

Evaporation boat 11594150 — 11594150
Mo boat TF16102-20-5037
容量: 2.04 cc

Evaporation boat 11371050 — 11371050
Mo boat TF15100-20-4023
容量: 0.74cc

Evaporation boat 11371052 — 11371052
Mo boat TF15102-20-4025
容量: 0.83 cc

Evaporation boat 11491759 — 11491759
Mo boat TF15102-30-4028
容量: 0.9 cc

Evaporation boat 11371067 — 11371067
Mo boat TF20112-20-4830
容量: 1.8 cc

Evaporation boat 11371069 — 11371069
Mo boat TF20112-20-4865
容量: 4.11 cc

Evaporation boat 11371080 — 11371080
Mo boat TF20112-30-4830
容量: 1.73 cc

Evaporation boat 11491750 — 11491750
Mo boat TF20090-20-4024
容量: 1.16 cc

Evaporation boat 11371076 — 11371076
Mo boat TF25112-20-8090
容量: 11.5 cc

Evaporation boat 11380541 — 11380541
Mo boat TO10080-20-4128
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11382548 — 11382548
Mo boat TO16100-20-3428
容量: 0.42 cc

Evaporation boat 11417780 — 11417780
Mo boat TO16100-30-3429
容量: 0.61 cc

Evaporation boat 11384139 — 11384139
Mo boat TS14090-20-1020
容量: 0.07 cc

Evaporation boat 11739548 — 11739548
Mo boat TS17080-20-1538
容量: 0.34 cc

Evaporation boat 11371175 — 11371175
Mo boat cover NB14100-20-0000

Evaporation boat 11752102 — 11752102
Mo boat bottom NB17100-15-4010
容量: 5.79 cc

Evaporation boat 11371173 — 11371173
Mo boat bottom NB17100-15-4075
容量: 4.32 cc

Evaporation boat 11371238 — 11371238
Mo boat セット NB25100-15-4015
容量: 13.6 cc

Evaporation boat 11371141 — 11371141
Mo boat セット NF18100-10-4235
容量: 1.48 cc

Evaporation boat 11371227 — 11371227
Mo boat セット NO16100-20-3430
容量: 0.63 cc

Evaporation boat 11371108 — 11371108
Mo boat セット NO10100-10-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11371093 — 11371093
Mo boat セット NO10080-10-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11371133 — 11371133
Mo boat セット NO12100-10-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11371124 — 11371124
Mo boat セット No12080-10-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11371149 — 11371149
Mo boat セット NO16100-10-3430
容量: 0.64 cc

Evaporation boat 11371101 — 11371101
Mo boat セット NO09100-10-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11371085 — 11371085
Mo boat セット NO09080-10-4025
容量: 0.49 cc

t = mm単位

タンタル: ストレートタイプーフラットタブ

タンタルは蒸気圧が非常に低く、極めてゆっくりと蒸発します。また、タンタルは極めて高い耐腐食性を特徴とする金属です。

製品番号	製品名	幅 [mm]	長さ [mm]	板厚 [mm]	タブ長 [mm]	タブ深 [mm]	タブ容量 [cc]
11372948	Ta boat SF06080-10-4012	6	80	0.10	40	1.2	0.15
11372951	Ta boat SF06100-15-4012	6	100	0.15	40	1.2	0.14
11620388	Ta boat SF06100-20-4013	6	100	0.20	40	1.3	0.15
11443708	Ta boat SF07100-15-4016	7	100	0.15	40	1.6	0.22
11527119	Ta boat SF07100-20-4017	7	100	0.20	40	1.7	0.23
11372952	Ta boat SF10100-15-5021	10	100	0.15	50	2.1	0.60
11523086	Ta boat SF15100-30-4030	15	100	0.30	40	3	0.96

タンタル: ストレートタイプーブイ字タブ

製品番号	製品名	幅 [mm]	長さ [mm]	板厚 [mm]	タブ長 [mm]	タブ深 [mm]	タブ容量 [cc]
11566826	Ta boat SV06080-10-4014	6	80	0.10	40	1.4	0.14
11639516	Ta boat SV06100-15-4015	6	100	0.15	40	1.5	0.15
11372957	Ta boat SV10100-10-5020	10	100	0.10	50	2.0	0.38
11685060	Ta boat SV15065-10-4613	15	65	0.10	46	13	4.25

タンタルボートスペシャルシリーズ

Evaporation boat 11372994 — 11372994
Ta boat TF15100-20-4023
容量: 0.74cc

Evaporation boat 11548053 — 11548053
Ta boat TF25112-20-8090
容量: 11.5 cc

Evaporation boat 11492281 — 11492281
Ta boat cover NB14100-20-0000

Evaporation boat 11560617 — 11560617
Ta boat bottom NB17100-15-4075
容量: 4.32 cc

Evaporation boat 11382649 — 11382649
Ta boat cover NB20100-20-0000

Evaporation boat 11382648 — 11382648
Ta boat bottom NB20100-20-4075
容量: 10 cc

Evaporation boat 11605025 — 11605025
Ta boat セット NF18100-10-4235
容量: 1.48 cc

Evaporation boat 11737603 — 11737603
Ta boat セット NO09080-10-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11605022 — 11605022
Ta boat セット NO090100-10-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11733510 — 11733510
Ta boat セット NO10080-10-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11605023 — 11605023
Ta boat セット NO10100-10-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11721801 — 11721801
Ta boat セット NO10100-15-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11737602 — 11737602
Ta boat セット NO12100-10-4025
容量: 0.49 cc

Evaporation boat 11605026 — 11605026
Ta boat セット NO16100-10-3430
容量: 0.63 cc

t = mm単位

プランゼーのその他蒸着製品

プランゼーでは電子ビーム蒸着用のモリブデン、タングステン、タンタル製るつぼをご提供いたします。銅やグラファイト製とは異なり、蒸着材料を汚染することはありません。お客様の蒸着プロセスに最適な形状と材料組み合わせのるつぼをご提案いたします。

プランゼーのタングステンフィラメント、モリブデンフィラメントは電気抵抗蒸着で使用されます。

真空蒸着（抵抗蒸着）はPVDプロセス（物理蒸着）の一環として使用されるコーティング法です。薄膜を形成するため、材料が真空チャンバー内で蒸発するまで加熱されます。

真空蒸着によって薄膜は作られるわけですが、例えばアルミ、銀、クロム、窒化チタン、シリカなどがその材料になります。プランゼーの長寿命で寸法精度の高い製品は、装飾品、最高品質の電子部品などに使われています。長年の経験から、お客様の処理条件に合わせて蒸着ボートの材料と形状を最適化することができます。ぜひご相談ください。