プランゼーの真空蒸着用金属

蒸着用のボートを供給しています。タングステン、モリブデン、モリブデンランタン(ML)、モリブデンイットリウム酸化物(MY)、タンタルを原材料として使用しています。これらは電気伝導性に優れ、低い蒸気圧と高融点を兼ね備えています。通電させると、ボートは材料を過熱し蒸発させます。プランゼーの材料は蒸気圧が低いため、タングステン、タンタルやモリブデンの粒子が蒸気に混入することも、薄膜に入ってしまうこともありません。

お客様の蒸着材料に適切なボートは?

お客様の蒸着材料に最適な蒸着ボートをお探しですか?詳しい情報はこちらよりご覧ください。プランゼーの担当者は皆様からのご連絡をお待ちしております。

蒸着ボートはオンラインショップからご注文いただけます:

プランゼーオンラインショップ

製品群

モリブデン蒸着ボート
蒸着ボート
モリブデン製
タングステン蒸着ボート
蒸着ボート
タングステン製
タンタル蒸着ボート
蒸着ボート
タンタル製

蒸着コイルについてご興味がおありですか?以下の製品名の構成をご参照ください:

プランゼーの蒸着ボート

タングステン、モリブデン、タンタル製の蒸着ボートをご用意しております。

タングステンボート: ストレートタイプーフラットタブ

蒸着ボート

タングステンは多くの溶融金属、高融点金属に対して耐腐食性が非常に高く、また熱耐性も同じく高いです。 プランゼーではカリウムケイ酸塩のような特別な添加剤を使用し腐食および歪みに対してもさらに耐性のある製品を作っています。

製品番号製品名
[mm]
全長[mm]板厚
[mm]
タブ長 [mm]タブ深
[mm]
タブ容量
[cc]
11526927 W boat SV06080-10-40146800.10401.40.14
11526666 W boat SV06100-10-401461000.10401.40.14
11501907 W boat SV06100-15-401561000.15401.50.15
11488899 W boat SV06100-20-401661000.10401.60.15
11490474 W boat SV06100-50-402061000.50402.00.16
11620125 W boat SV07100-10-401571000.10401.50.16
11620144 W boat SV07100-15-401771000.15401.70.17
11372276 W boat SV07100-20-101571000.20401.50.27
11372220 W boat SV07100-20-401871000.20401.80.18
11620134 W boat SV07100-30-402071000.30402.00.18
11382612 W boat SV08100-15-401581000.15401.50.19
11372222 W boat SV08100-20-401581000.20401.50.19
11469805 W boat SV10050-30-302310500.30302.30.23
11568902 W boat SV10100-10-5020101000.10502.00.38
11372216 W boat SV10100-15-5021101000.15502.10.39
11372224 W boat SV10100-20-5020101000.20502.00.36
11568906 W boat SV10100-30-5023101000.30502.30.40
11372272 W boat SV10100-50-5027101000.50502.70.44
11466226 W boat SV15100-20-5057151000.20505.71.14
11620145 W boat SV15100-20-6025151000.20502.50.37
11466242 W boat SV15100-30-5058151000.30605.81.12
11372315 W boat SV15100-30-6025151000.30602.50.35

タングステンボート スペシャルシリーズ

Evaporation boat 11745347
11745347
W boat SO20100-20-3732
容量: 0.62 cc
Evaporation boat 11372400
11372400
W boat SS13100-10-1020
容量: 0.07 cc
Evaporation boat 11739470
11739470
W boat SS13100-20-1020
容量: 0.07 cc
Evaporation boat 11587458
11587458
W boat SS17100-15-1527
容量: 0.23 cc
Evaporation boat 11638516
11638516
W boat SS17100-20-1528
容量: 0.23 cc
Evaporation boat 11372327
11372327
W boat SS17100-30-1529
容量: 0.23 cc
Evaporation boat 11592622
11592622
W boat SS17100-30-4529
容量: 0.71 cc
Evaporation boat 11372282
11372282
W boat TF15100-20-4023
容量: 0.74 cc
Evaporation boat 11372311
11372311
W boat TF15100-30-4024
容量: 0.74 cc
Evaporation boat 11501152
11501152
W boat TF15102-20-4025
容量: 0.83 cc
Evaporation boat 11490698
11490698
W boat TF15102-30-4028
容量: 0.9 cc
Evaporation boat 11372325
11372325
W boat TF16100-30-5038
容量: 2.04 cc
Evaporation boat 11372299
11372299
W boat TF16102-20-5037
容量: 2.04 cc
Evaporation boat 11372303
11372303
W boat TF20112-20-4830
容量: 1.8 cc
Evaporation boat 11372328
11372328
W boat TF20112-30-4830
容量: 1.73 cc
Evaporation boat 11372307
11372307
W boat TF25112-20-8090
容量: 11.5 cc
Evaporation boat 11521953
11521953
W boat TF25112-30-8090
容量: 11.3 cc
Evaporation boat 11549481
11549481
W boat TF25112-40-8090
容量: 11.2 cc
Evaporation boat 11372295
11372295
W boat TO16100-20-3428
容量: 0.61 cc
Evaporation boat 11386682
11386682
W boat TO16100-30-3429
容量: 0.61 cc
Evaporation boat 11518049
11518049
W boat TS14090-10-1020
容量: 0.07 cc
Evaporation boat 11382613
11382613
W boat TS14090-20-1020
容量: 0.07 cc
Evaporation boat 11695261
11695261
W boat TS17080-20-1525
容量: 0.2 cc
Evaporation boat 11739522
11739522
W boat TS25075-30-2430
容量: 0.62 cc
Evaporation boat 11372305
11372305
W boat TS25076-20-2429
容量: 0.62 cc
Evaporation boat 11372406
11372406
W boat TS25100-20-2429
容量: 0.62 cc
Evaporation boat 11491742
11491742
W boat TV10100-30-4427
容量: 0.4 cc
Evaporation boat 11473891
11473891
W boat set NO09100-10-4015
容量: 0.24 cc
Evaporation boat 11645509
11645509
W boat set NO10080-10-4016
容量: 0.24 cc
Evaporation boat 11371790
11371790
W boat set NO10100-10-4016
容量: 0.24 cc

t = mm単位

モリブデン: ストレートタイプーフラットタブ

蒸着ボート

モリブデンは高温で使用するときでも安定性が特に良い金属です。 酸化ランタンをモリブデン(ML)に添加すると、モリブデンはさらに延性が高まり、耐腐食性も良くなります。イットリウム酸化物(MY)の添加ですと、機械加工性が良くなります。

製品番号製品名
[mm]
長さ [mm]板厚
[mm]
タブ長 [mm]タブ深
[mm]
タブ容量
[cc]
11371074 Mo boat SF15100-30-4030151000.30403.00.96
11620327 Mo boat SF10100-10-5020101000.10502.00.58
11620303 Mo boat SF10100-15-5021101000.15502.10.60
11371002 Mo boat SF10100-20-5020101000.20502.00.56
11371010 Mo boat SF10100-30-5021101000.30502.10.54
11564596 Mo boat SF10100-50-5020101000.50502.00.48
11371004 Mo boat SF10150-20-5020101500.20502.00.87
11517080 Mo boat SF15100-20-5025151000.20502.51.11
11526899 Mo boat SF15100-30-5027151000.30502.71.16
11371054 Mo boat SF20100-20-4025201000.20402.51.20
11380544 Mo boat SF20100-30-4026201000.30402.61.20
11451537 Mo boat SF06100-10-401261000.10401.20.15
11579723 Mo boat SF06100-15-401261000.15401.20.14
11620385 Mo boat SF06100-20-401361000.20401.30.15
11620082 Mo boat SF06100-50-401561000.50401.50.14
11371030 Mo boat SF06050-10-20166500.10201.60.09
11620403 Mo boat SF06080-10-40126800.10401.20.15
11370987 Mo boat SF07100-10-401571000.10401.50.22
11370993 Mo boat SF07100-15-401671000.15401.60.22
11370998 Mo boat SF07100-20-401771000.20401.70.23
11620113 Mo boat SF07100-30-401571000.30401.50.18
11642325 Mo boat SF07090-10-20157900.10201.50.09
11517065 Mo boat SF08100-15-401581000.15401.50.24
11508090 Mo boat SF08100-20-401681000.20401.60.25
11495881 Mo boat SF08100-30-401781000.30401.70.25
11416390 Mo boat SF08100-50-402081000.50402.00.27

モリブデンボート: ストレートタイプーブイ字タブ

蒸着ボート
製品番号製品名
[mm]
長さ [mm]板厚
[mm]
タブ長 [mm]タブ深
[mm]
タブ容量
[cc]
11371018 Mo boat SV10100-10-5020101000.10502.00.38
11371028 Mo boat SV10100-30-5023101000.30502.30.40
11526923 Mo boat SV06100-15-401561000.15401.50.15
11574464 Mo boat SV06100-20-401661000.20401.60.15
11378337 Mo boat SV06100-50-402061000.50402.00.16
11517089 Mo boat SV06080-10-40146800.10401.40.14
11371056 Mo boat SV07100-20-101571000.20101.50.27
11371016 Mo boat SV07100-10-401571000.10401.50.16
11608809 Mo boat SV07100-30-402071000.30402.00.18

モリブデンボート スペシャルシリーズ

Evaporation boat 11516038
11516038
Mo boat SS13100-10-1020
容量: 0.07 cc
Evaporation boat 11371078
11371078
Mo boat SS13100-20-1020
容量: 0.07 cc
Evaporation boat 11371047
11371047
Mo boat SS17100-20-1528
容量: 0.23 cc
Evaporation boat 11622425
11622425
Mo boat SS17100-30-1529
容量: 0.23 cc
Evaporation boat 11594150
11594150
Mo boat TF16102-20-5037
容量: 2.04 cc
Evaporation boat 11371050
11371050
Mo boat TF15100-20-4023
容量: 0.74cc
Evaporation boat 11371052
11371052
Mo boat TF15102-20-4025
容量: 0.83 cc
Evaporation boat 11491759
11491759
Mo boat TF15102-30-4028
容量: 0.9 cc
Evaporation boat 11371067
11371067
Mo boat TF20112-20-4830
容量: 1.8 cc
Evaporation boat 11371069
11371069
Mo boat TF20112-20-4865
容量: 4.11 cc
Evaporation boat 11371080
11371080
Mo boat TF20112-30-4830
容量: 1.73 cc
Evaporation boat 11491750
11491750
Mo boat TF20090-20-4024
容量: 1.16 cc
Evaporation boat 11371076
11371076
Mo boat TF25112-20-8090
容量: 11.5 cc
Evaporation boat 11380541
11380541
Mo boat TO10080-20-4128
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11382548
11382548
Mo boat TO16100-20-3428
容量: 0.42 cc
Evaporation boat 11417780
11417780
Mo boat TO16100-30-3429
容量: 0.61 cc
Evaporation boat 11384139
11384139
Mo boat TS14090-20-1020
容量: 0.07 cc
Evaporation boat 11739548
11739548
Mo boat TS17080-20-1538
容量: 0.34 cc
Evaporation boat 11371175
11371175
Mo boat cover NB14100-20-0000
Evaporation boat 11752102
11752102
Mo boat bottom NB17100-15-4010
容量: 5.79 cc
Evaporation boat 11371173
11371173
Mo boat bottom NB17100-15-4075
容量: 4.32 cc
Evaporation boat 11371238
11371238
Mo boat セット NB25100-15-4015
容量: 13.6 cc
Evaporation boat 11371141
11371141
Mo boat セット NF18100-10-4235
容量: 1.48 cc
Evaporation boat 11371227
11371227
Mo boat セット NO16100-20-3430
容量: 0.63 cc
Evaporation boat 11371108
11371108
Mo boat セット NO10100-10-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11371093
11371093
Mo boat セット NO10080-10-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11371133
11371133
Mo boat セット NO12100-10-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11371124
11371124
Mo boat セット No12080-10-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11371149
11371149
Mo boat セット NO16100-10-3430
容量: 0.64 cc
Evaporation boat 11371101
11371101
Mo boat セット NO09100-10-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11371085
11371085
Mo boat セット NO09080-10-4025
容量: 0.49 cc
 
 
 
 
 

t = mm単位

タンタル: ストレートタイプーフラットタブ

蒸着ボート

タンタルは蒸気圧が非常に低く、極めてゆっくりと蒸発します。また、タンタルは極めて高い耐腐食性を特徴とする金属です。

製品番号製品名
[mm]
長さ [mm]板厚
[mm]
タブ長
[mm]
タブ深
[mm]
タブ容量
[cc]
11372948Ta boat SF06080-10-40126800.10401.20.15
11372951Ta boat SF06100-15-401261000.15401.20.14
11620388Ta boat SF06100-20-401361000.20401.30.15
11443708Ta boat SF07100-15-401671000.15401.60.22
11527119Ta boat SF07100-20-401771000.20401.70.23
11372952Ta boat SF10100-15-5021101000.15502.10.60
11523086Ta boat SF15100-30-4030151000.304030.96

タンタル: ストレートタイプーブイ字タブ

蒸着ボート
製品番号製品名
[mm]
長さ [mm]板厚
[mm]
タブ長
[mm]
タブ深
[mm]
タブ容量
[cc]
11566826Ta boat SV06080-10-40146800.10401.40.14
11639516Ta boat SV06100-15-401561000.15401.50.15
11372957Ta boat SV10100-10-5020101000.10502.00.38
11685060Ta boat SV15065-10-461315650.1046134.25

タンタルボート スペシャルシリーズ

Evaporation boat 11372994
11372994
Ta boat TF15100-20-4023
容量: 0.74cc
Evaporation boat 11548053
11548053
Ta boat TF25112-20-8090
容量: 11.5 cc
Evaporation boat 11492281
11492281
Ta boat cover NB14100-20-0000
Evaporation boat 11560617
11560617
Ta boat bottom NB17100-15-4075
容量: 4.32 cc
Evaporation boat 11382649
11382649
Ta boat cover NB20100-20-0000
Evaporation boat 11382648
11382648
Ta boat bottom NB20100-20-4075
容量: 10 cc
Evaporation boat 11605025
11605025
Ta boat セット NF18100-10-4235
容量: 1.48 cc
Evaporation boat 11737603
11737603
Ta boat セット NO09080-10-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11605022
11605022
Ta boat セット NO090100-10-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11733510
11733510
Ta boat セット NO10080-10-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11605023
11605023
Ta boat セット NO10100-10-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11721801
11721801
Ta boat セット NO10100-15-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11737602
11737602
Ta boat セット NO12100-10-4025
容量: 0.49 cc
Evaporation boat 11605026
11605026
Ta boat セット NO16100-10-3430
容量: 0.63 cc
 
 
 
 

t = mm単位

プランゼーの電子ビーム蒸着用タングステンボート

プランゼーのその他蒸着製品

プランゼーでは電子ビーム蒸着用のモリブデン、タングステン、タンタル製るつぼをご提供いたします。銅やグラファイト製とは異なり、蒸着材料を汚染することはありません。お客様の蒸着プロセスに最適な形状と材料組み合わせのるつぼをご提案いたします。

プランゼーのタングステンフィラメント、モリブデンフィラメント電気抵抗蒸着で使用されます。

プランゼーの蒸着ボート

真空蒸着(抵抗蒸着)はPVDプロセス(物理蒸着)の一環として使用されるコーティング法です。薄膜を形成するため、材料が真空チャンバー内で蒸発するまで加熱されます。

真空蒸着によって薄膜は作られるわけですが、例えばアルミ、銀、クロム、窒化チタン、シリカなどがその材料になります。プランゼーの長寿命で寸法精度の高い製品は、装飾品、最高品質の電子部品などに使われています。長年の経験から、お客様の処理条件に合わせて蒸着ボートの材料と形状を最適化することができます。ぜひご相談ください。

蒸発率と蒸気圧

プランゼーの蒸着ボート用の蒸着源材料は非常に低い蒸発率が特徴です。一般的な蒸着材料に比べ非常に低い蒸気圧を有します。結果、長時間の蒸着サイクルにおいても成膜されたフィルムが蒸発源成分で汚染されることはありません。

Evaporation rate [mg/cm²∙h]
Vapor-Pressure-of-Mo-W-Ta-Nb

比電気抵抗

比電気抵抗値は蒸着源の決定において欠かせない要素です。

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