Магнетронное распыление

Тонкие слои молибдена наносятся (распыляются) методом магнетронного распыления. В качестве исходного материала в этом вакуумном процессе нанесения покрытия используются мишени для распыления.

Путем подачи напряжения в несколько сотен вольт и впуска газообразного аргона в вакуумной камере зажигается плазма. Плазма состоит из чистого аргона, положительно заряженных частиц аргона (ионов аргона) и свободных электронов. Электрическое поле ускоряет положительно заряженные ионы аргона в направлении отрицательно заряженного катода (мишени). Здесь они сталкиваются с поверхностью мишени с высокой кинетической энергией от нескольких десятков до сотни электрон-вольт (эВ). По принципу, напоминающему столкновение шаров в бильярде, частицы аргона выбивают атомы с поверхности мишени для распыления. Это ведет к постепенной эрозии материала покрытия. Высвобождающиеся атомы мишени движутся сквозь вакуумную камеру в направлении расположенной напротив мишени подложки, где они оседают в виде тонкого слоя (подобным же образом зеркало в ванной покрывается слоем водяного пара при включенном душе).

Как работает PVD покрытие: