Ионная имплантация: идеальная система экстракции для VIISta HCP, HCS, Trident и NexGen.

Компания Plansee разрабатывает усовершенствованные запасные части из тугоплавких металлов, графита и керамики для установок ионной имплантации всех основных производителей. Последняя разработка - система экстракции для установок конфигураций VIISta HCP, HCS, Trident и NexGen.

Высокая доля остаточных газов в оригинальной системе экстракции Varian снижает напряжение пробоя на электродах, что приводит к высокой частоте разрядов в системах конфигурации VIISta HCP, HCS, Trident и NexGen. Высокая частота разрядов, в свою очередь, может стать причиной дестабилизации ионного пучка, что потенциально может привести к снижению эффективности и производительности установки. Такая нестабильность также приводит к более быстрому износу и, соответственно, более частому техническому обслуживанию и замене запчастей.

Расходы, связанные с необходимостью замены системы экстракции и ее компонентов, включая время простоя, довольно высоки, и это побудило компанию Plansee создать полностью переработанную систему экстракции.

Новая система экстракции компании Plansee под названием Ideal Extraction позволяет на порядок снизить частоту разрядов, и при регулярной очистке ее срок службы в среднем в 3-4 раза больше, чем у оригинальной системы.

В сердце новой конструкции находится газонепроницаемая вольфрамовая фольга. Фольга способствует созданию вакуума между электродами и позади электродов, в результате чего давление остаточного газа в системе экстракции снижается. Снижение давления приводит к повышению напряжения пробоя и обеспечивает в итоге значительно более низкую частоту разрядов.

Но разряды - это не единственная проблема: трудоемкая процедура замены оригинальной системы экстракции является одновременно дорогостоящей (с точки зрения простоев) и сложной. Оригинальная система экстракции весит приблизительно 8,2 кг, и для ее безопасного демонтажа зачастую требуется два человека. По этой причине инженеры Plansee заменили стальные, молибденовые, вольфрамовые и алюминиевые крепежные детали деталями из высококачественного графита, благодаря чему вес системы снизился до невероятных 3 кг, а ее термическая стабильность повысилась. Дополнительное преимущество системы: потенциально опасное загрязнение железом осталось в прошлом.

Для сокращения времени монтажа и расходов на запчасти электроды в установке Ideal Extraction выполнены самоцентрирующимися, так что они могут устанавливаться в любые крепления и могут вращаться для предотвращения неравномерного износа.

Разработав эту систему, команда Plansee смогла существенно усовершенствовать конструкцию и повысить срок службы электродов. Никакие центрирующие инструменты не требуются!

Майк Райлли, ответственный за разработку компонентов для полупроводниковой промышленности в Plansee, формулирует преимущества системы Ideal Extraction следующим образом: «В нашей усовершенствованной системе Ideal Extraction используется оптимизированный способ создания вакуума в межэлектродном зазоре, что позволяет ограничить разряды, снизить уровень осаждения и повысить срок службы электродов. Наши инженеры по-новому взглянули на всю систему и смогли упростить ее конструкцию, улучшив одновременно процедуру сборки и центровки - признаки хорошей конструкции. В конечном исполнении используются компоненты и концепции, общие для всей линейки сильноточных установок ионной имплантации VIISta.

Компания Plansee предлагает систему Ideal Extraction в комплекте со всеми необходимыми креплениями для установок конфигураций VIISta HCP, VIISta HCS, Trident и NexGen.

Узнайте больше о наших компонентах для установок ионной имплантации и познакомьтесь с Вашим контактным лицом в Plansee.