Коррозионностойкие пленки из Mo-Ti-Al с возможностью травления

В сотрудничестве с университетом города Леобен были разработаны новые пленки из Mo-Ti-Al, отличающиеся коррозионной стойкостью и возможностью травления.

Jörg Winkler von der Business Unit Coating war am Forschungsprojekt beteiligt.

Молибден является основным компонентом пленки в тонкопленочных транзисторах для ЖК-дисплеев и дисплеев OLED. В этих технологиях молибден выполняет функцию проводящего слоя или диффузионного барьера, а также определяет цвет свечения пикселей. В зависимости от технологий производства молибденовые пленки подвергаются воздействию высоких температур в ходе производственного процесса. При этом чистый молибден начинает окисляться при температурах выше 300 °C, в результате чего свойства пленки ухудшаются. Титан используется для повышения стойкости к окислению. Однако это сопряжено с ухудшением других свойств: затрудняется структуризация пленки при жидкостном химическом травлении.

В сотрудничестве с университетом города Леобен компания Plansee поставила цель разработать молибденовую пленку, отличающуюся коррозионной стойкостью и возможностью травления. В ходе реализации этого исследовательского проекта эксперты решили заменить некоторое количество титана алюминием. Были изготовлены и проанализированы пленки из Mo-Al-Ti с различным содержанием алюминия. Самые лучшие результаты были получены при изготовлении молибденовых пленок с содержанием титана 8 % и содержанием алюминия не менее 16 %. Такое сочетание обеспечило коррозионную стойкость молибденовой пленки при сохранении возможности травления. Прочтите полную версию статьи, перейдя по этой ссылке.