Точность в полупроводниковой промышленности

Чем наши материалы могут быть полезны полупроводниковой промышленности? Об этом вы сможете узнать в Вальядолиде (Испания) и в Сан-Франциско, где мы представим наши запасные части, а также компоненты усовершенствованного стандарта для установок ионной имплантации.

Ассортимент нашей продукции включает в себя более 9 000 компонентов из молибдена, вольфрама, графита и керамики. Мы поставляем подходящие запасные части для установок ионной имплантации всех основных производителей - от источника ионов вдоль колонны вплоть до конечной станции.

Для все большего количества наших клиентов запчасти Plansee являются чем-то большим, чем просто запчастями. Где бы не существовала возможность сэкономить время и деньги наших клиентов, мы предлагаем наши компоненты усовершенствованного стандарта. Пример:

фильтрующие пластины MRS усовершенствованного стандарта

 

В отличие от оригинальных стандартных деталей мы располагаем поверхность, на которую ионный пучок падает с наибольшей силой, практически под прямым углом. Боковые поверхности, которые больше всего подвергаются химическим и термическим реакциям, выполняются под небольшим углом. Результат: меньший износ в процессе ионной имплантации.

Чистота материала особенно важна при изготовлении электрических компонентов с чрезвычайно мелкой структурой. По этой причине мы используем наши материалы по максимуму и изготовляем запасные части из чрезвычайно твердого и прочного графита. Результат: меньший износ и сниженное образование частиц в процессе имплантации.

Преимущества для наших клиентов: срок службы фильтрующих пластин MRS усовершенствованного стандарта в три раза превышает срок службы обычных моделей оригинальных производителей.

Фильтрующая пластина MRS по стандарту оригинального производителяФильтрующая пластина MRS усовершенствованного стандарта с большим сроком службы

 

Фильтрующая пластина MRS усовершенствованного стандарта с большим сроком службы

IIT 2012 (Международная конференция по технологиям ионной имплантации)
25- 29 июня
Выставочный центр Congress Center, Вальядолид (Испания)

Semicon West
10-12 июля
Выставочный центр Moscone Center, Сан-Франциско (Калифорния)

Вам необходима дополнительная информация? Свяжитесь с нашими специалистами по технологиям ионной имплантации:
<a href="javascript:linkTo_UnCryptMailto('hvdgoj5djidjhkviovodjiVkgvinzz9xjh');" title="