Online ShopMy Plansee
Plansee Group
Главная
Online ShopMy PlanseePlansee Group
Ионная имплантация

Детали и компоненты для ионной имплантации

Ионная имплантация играет важную роль в производстве полупроводников. При ионной имплантации в полупроводниковую пластину вводятся атомы примесей (имплантатов), за счет чего можно регулировать свойства материала, такие как электропроводность и кристаллическая структура. Одним из главных компонентов ионно-лучевой установки является источник ионов. Здесь генерируются ионы, которые затем концентрируются, разгоняются и направляются на полупроводниковую пластину с очень высокой скоростью.

Чтобы этот процесс был максимально эффективным, точным и чистым, мы выпускаем специальные детали и компоненты из тугоплавких металлов.

Преимущества:

  • Более 30 лет опыта работы в полупроводниковой промышленности

  • Точное соблюдение производственных стандартов

  • Высочайшее качество продукции

Идеальные свойства изделий

Температура до 1400 °C, сильные электромагнитные поля, агрессивные технологические газы и сильные механические воздействия создают проблемы для применения обычных материалов. Но не для наших изделий. Наши жаропрочные компоненты из молибдена, вольфрама, графита или керамики характеризуются идеальным сочетанием коррозионной стойкости, прочности материала, хорошей теплопроводности и абсолютной чистоты. На пути ионного пучка может располагаться 100 и более деталей от Plansee. Они обеспечивают эффективную генерацию ионов и их точное попадание на облучаемый образец без каких-либо примесей.

Путь прохождения пучка ионов

Точность до тысячных долей миллиметра, более чем 30-летний опыт работы в полупроводниковой промышленности: мы производим продукцию на наших производственных площадках в Японии и США в точном соответствии с производственными стандартами или разрабатываем новые компоненты. Потому что детали Plansee все чаще становятся для наших клиентов чем-то большим, чем просто запчасти. Основываясь на оригинальных деталях производителей оборудования, мы оптимизируем геометрию и состав материалов. Тем самым мы добиваемся:

  • упрощения монтажа и демонтажа деталей
  • увеличения срока службы
  • сокращения расходов на очистку
  • упрощения обслуживания
  • сокращения времени простоев

Мы знаем, какое значение имеет стабильное качество для вашего технологического процесса. Поэтому мы выпускаем продукцию только безупречного качества. Без исключений. Как нам это удается? Мы производим материалы с особыми характеристиками с 1921 года и собственными силами выполняем весь производственный процесс — от порошка до конечного продукта. Все детали для установок ионной имплантации покидают стены предприятия только после успешного прохождения всех этапов строгого контроля качества.

Наша продукция

  • Камеры (графит, вольфрам, молибден и сплавы)
  • Спирали (из вольфрама и вольфрамовых сплавов)
  • Диафрагмы (графит, вольфрам, молибден и сплавы)
  • Держатели (графит, молибден и сплавы)
  • Катоды (вольфрам, молибден и сплавы)
  • Подложки (графит)
  • Детали анализатора (графит)
  • Изоляторы (керамика)
  • Запасные части (графит, вольфрам, молибден и сплавы, керамика, сталь)
Установки ионной имплантации
  • slideplansee-aem/components/imageSlide27850938
  • slideplansee-aem/components/imageSlide27850940
  • slideplansee-aem/components/imageSlide27850942
  • slideplansee-aem/components/imageSlide27850944

Специализированные запасные части для более чем 100 моделей оборудования

Будь то снятая с производства модель или последнее поколение, средний или высокий ток: в нашем ассортименте найдутся запасные части для любого оборудования в данной области. Вы также хотите усовершенствовать свою ионно-лучевую установку? Обращайтесь. В том числе если вашей модели нет в списке.

AIBT: istar

Прилагаемые материалы: 9000, 9200, 9200xR, 9500, 9500xR, Quantum, Quantum I, Quantum II, Quantum III, Quantum X, Quantum X+, Quantum xR, xR, xR/Leap, xR120, xR200, xR80

Varian Semiconductor Equipment (см. Прилагаемые материалы): VIISta Trident, PLAD, VIISta HCS, VIISta HCP +/I, VIISta 80, E1000, VIISion 200, VIISion 200+, VIISion 80+, VIISta HC, 120-10, 120XP, 160XP, 180XP, 80XP, VIISta 3000, Genus, Kestrel, VIISta 810 XE/XER, VIISta 900 XPT, VIISion, E220, E500, VIISta 810, VIISta 810 XE, VIISta 900, VIISta 900XP, 300D, 300XP, 350D

Axcelis: GSD HC (200/200E/200E2), HC3, Ultra, Eterna, GSD 100, GSD 160A, GSD 200E, GSD 200E^2, GSD HC, GSD HC3, GSD III, GSD III LE, GSD LED, NV GSD, NV 10-160, NV 10-180, NV 10-80, Optima HD, ULE, Ultra, GSD HE, GSD VHE, GSD HE, GSD HE3, GSD VHE, Optima XE, Paradigm XE, NV 3206/3204, NV 6200, NV 8200, NV 8250, Optima MD

Nissin: NH80, PR80, Exceed 3000, CLARIS, EXCEED2000A/2000AH, EXCEED2300AV, EXCEED3000AH, EXCEED9600A, NH20, NH45

SEN: NV-GSD-160A, NV-GSD-80A, NV-GSDIII, NV-GSDIII-180, SD, NV-GSDIII-90E, NV-GSDIII-LE, NV-GSDIII-LE, V-GSD-HC, LEX, LEX3, SHX, NV-GSD-HE, NV-GSD-HE3, MC3MC3-II, NV-MC3

Ulvac: IH-860, IDZ-7000, IDZ-8001, IDZ-9001, IM-200, IW-630

Ознакомьтесь с каталогом продукции нашего интернет-магазина. Здесь вы найдете большой список запасных частей для ионно-лучевых установок качества OEM, а также специальные версии от Plansee для увеличения срока службы и удобства в работе. Постоянным клиентам предоставляются дополнительные преимущества: они могут получать информацию о своих заказах, статусе доставки и счетах.

Перейдите по ссылке ionimplantation(at)plansee.com для получения персонального логина.

Открыть каталог запасных частей для установок ионной имплантации

Как Plansee помогает экономить

Когда мы видим потенциал для повышения стандартов, экономии времени и денег клиента, мы предлагаем решения по оптимизации. Основываясь на оригинальных деталях производителей оборудования, мы оптимизируем геометрию и состав материалов. Хотите проверить нас? Мы всегда готовы. Вы получите доработанные запасные части для опробования по очень разумной цене. Чтобы у вас не осталось сомнений.

Пластина MRS по стандарту OEM

В процессе ионной имплантации пластина MRS (MRS Vane) отфильтровывает ионы, которые не имеют нужного заряда или массы. К облучаемому образцу направляются только те ионы, которые проходят через соответствующий фильтр. MRS Vane подвергается износу от воздействия ионного пучка. Угол на боковой грани минимизирует этот износ. Однако в процессе ионной имплантации также проходят химические реакции, которые тем больше изнашивают деталь, чем острее углы подвергающихся воздействию поверхностей. В качестве компромисса в стандартной детали OEM используются углы 92°.

Усовершенствованная конструкция с увеличенным сроком службы

Но мы не хотим довольствоваться компромиссами, поэтому мы усовершенствовали оригинальную деталь: область, которая подвергается максимальному воздействию пучка ионов, выполнена под почти прямым углом. В свою очередь, периферийные участки, которые в основном подвергаются химическому и термическому воздействию, обработаны под тупыми углами.

Материал материалу рознь

Чтобы клиент получил идеальный продукт, мы придаем очень большое значение используемым материалам. Обычный графит является очень крупнозернистым и может привести к образованию тяжелых частиц в ходе эксплуатации. Такие примеси приводят к серьезным проблемам, и это особенно касается производителей электрических компонентов с очень плотной структурой. Мы предлагаем нашим клиентам особо твердый и прочный графит. Он значительно меньше подвержен истиранию и тем самым уменьшает образование частиц в ходе процесса. Решения Plansee имеют конкретное материальное выражение для наших клиентов. Усовершенствованные стандартные пластины MRS служат в три раза дольше, чем обычные OEM-модели.

Вас это заинтересовало? Мы к вашим услугам!

Ценность любой идеи определяется ее практической реализацией. Сообщите нам ваши требования. Наши специалисты по ионной имплантации всегда к вашим услугам в любой точке мира. Вам нужна помощь на месте? Не проблема. Наши специалисты прибудут в течение 48 часов. Гарантированно!