Лодочки испарителей
Для резистивного термического напыления мы выпускаем лодочки испарителей из вольфрама, молибдена, молибден-лантана (ML), молибдена с оксидом иттрия (MY) и тантала . При прохождении электрического тока лодочки нагревают испаряемый материал. Низкое давление пара наших металлов гарантирует, что частицы вольфрама, тантала или молибдена не попадут в пар и последующий слой.
Преимущества:
Отличная
коррозионная стойкостьНизкое давление пара
Хорошая электропроводность
Очень высокая температура плавления
Стабильность формы
Термовакуумное напыление(или резистивное термическое напыление) — это разновидность вакуумного напыления PVD (Physical Vapour Deposition). Материал самого верхнего слоя нагревается в вакуумной камере до испарения.
В процессе термовакуумного напыления создаются стойкие покрытия из алюминия, серебра, хрома, нитрида титана, диоксида кремния. Так наши клиенты получают блестящие часы, идеальную зеркальную поверхность, высококачественные электронные компоненты и т. д. Все наши продукты отличаются точным размером и длительным сроком службы. Убедитесь сами!
Наша стандартная программа поставки
В зависимости от потребностей клиента мы производим лодочки испарителей из молибдена, вольфрама и тантала:
Лодочки испарителей из вольфрама
Вольфрам очень устойчив к агрессивному воздействию многих расплавленных металлов и отличается максимальной жаропрочностью, так как имеет самую высокую температуру плавления среди всех металлов. С помощью специальных легирующих добавок, таких как силикат калия, мы делаем материал еще более стабильным по форме и устойчивым к коррозии.
Лодочки испарителей из молибдена
Молибден отличается особой стабильностью и устойчивостью к высоким температурам. При добавлении оксида лантана (ML) повышается пластичность материала и его стойкость к коррозии. Молибден с оксидом иттрия (MY) легче поддается механической обработке.
Лодочки испарителей из тантала
Тантал имеет очень низкое давление пара и низкую скорость испарения. Однако главным достоинством этого материала является высокая коррозионная стойкость.
Straight type — лодочки прямой формы
Step type — лодочки с уступом между зажимной частью и верхом
Non splash type — лодочки с крылышками или крышкой для минимизации разбрызгивания
- Здесь вы можете выбрать подходящую лодочку для вашего материала покрытия
Das passende Schiffchen für Ihr Beschichtungsmaterial
Eine Übersicht der passenden Schiffchen für Ihr Material finden Sie hier. Schiffchen mit einem Plus eignen sich für das Material. Schiffchen mit zwei Plus empfehlen wir Ihnen ganz besonders. Gerne helfen wir Ihnen auch persönlich bei der Materialauswahl.
Beschichtungsmaterial Dichte
[g/cm³]Schmelzpunkt
[°C]Siedepunkt
[°C]Schiffchen W Mo Ta Al 2.7 660 2467 + AIF3 2.9 1291 N/A ++ ++ AI/1 – 4% Cu 2.7 650 N/A + AI/0.1 – 2% Si 2.7 640 N/A + AI/4% Cu/1% Si 2.7 640 N/A + Ag 10.5 961 2212 ++ ++ As2S3 3.4 300 707 ++ Au 19.3 1063 2966 ++ + B2O3 2.5 460 2247 ++ BaF2 4.9 1280 2260 ++ ++ ++ BaTiO3 6.0 1600 N/A + + BeO 3.0 2530 4120 + Bi 9.8 271 1560 ++ ++ ++ BiF3 5.3 727 900 ++ ++ Bi2O3 8.9 820 1890 + + CaF2 3.2 1360 2500 ++ ++ ++ CaO 3.3 2580 2850 + Cd 8.6 321 765 ++ ++ ++ CdSe 5.8 1350 N/A ++ ++ CdS 4.8 1750 1405 ++ ++ ++ CdTe 6.2 1042 N/A ++ ++ CeO2 7.1 2150 N/A ++ CeF3 6.2 1460 1987 ++ ++ Co 8.9 1495 2900 + ++ Cr 7.2 1875 2482 ++ Cr2C3 6.7 1850 3800 + Cr2C3 5.2 2345 4000 + Cu 8.9 1083 2595 ++ Cu2O 6.0 1235 1800 + DyF3 7.5 1155 1900 ++ ErF3 7.8 1144 1920 ++ Er2O3 8.6 2400 N/A + EuF3 6.7 1280 2270 + Eu2O3 7.4 2100 N/A + Fe 7.9 1536 3070 + Fe2O3 5.3 1594 N/A + Ga 5.9 30 2403 + GaAs 5.3 1238 N/A ++ GaP 4.1 1350 N/A ++ ++ ++ Ge 5.4 937 2830 + GeO2 4.2 1115 N/A ++ ++ ++ HfF2 7.1 1000 N/A ++ HoF3 7.6 1143 1895 ++ In 7.3 156 2000 ++ ++ In/10Sn 7.3 146 1000 + In2O3 7.2 2200 N/A + + LaF3 6.0 1495 2400 ++ ++ La2O3 6.5 2260 4200 + + LiF 2.6 842 1676 ++ ++ LuF3 8.3 1182 2200 ++ ++ Lu2O3 9.4 2400 N/A + ++ Mg 1.7 650 1107 ++ ++ ++ MgF2 3.1 1266 2239 ++ MgO 3.6 2640 3600 + Mn 7.4 1245 2097 + ++ ++ MnS 4.0 1615 N/A + + MoO3 4.7 795 1155 ++ MoS2 4.8 1185 N/A ++ Na3AIF6 2.9 1000 N/A ++ ++ Na5AI3F14 3.0 1027 N/A ++ ++ NaF 2.6 988 1695 ++ ++ ++ NdF3 6.5 1377 2400 ++ ++ Nd2O3 7.2 2240 N/A + Ni 8.9 1453 2732 + Ni/Cr 7.5-8.5 1500 N/A + Nb 8.6 2468 4927 + Nb2O5 4.5 1512 N/A + Pd 12.0 1552 2927 + Pt 21.5 1769 3827 + PrF3 6.3 1399 2255 ++ ++ Pr2O3 7.1 2270 N/A + Rb 1.5 39 688 + SmF2 6.6 1306 2323 ++ Sm2O3 7.1 2325 N/A + ScF3 2.6 1530 1800 ++ Sc2O3 3.9 2400 N/A + Se 4.8 217 685 + + + Si 2.3 1410 2355 + SiO 2.1 1705 1880 ++ ++ Sn 7.3 232 2260 ++ ++ SnO2 6.9 1127 1850 + + SrF2 4.2 1450 2489 ++ ++ Ta2O5 8.3 1880 N/A + Te 6.2 450 1390 ++ ++ ++ TbF3 7.2 1172 2280 + Tb2O3 7.9 2300 N/A + + ThF4 6.3 1100 1680 ++ ++ Ti 4.5 1668 3260 + TiO2 4.2 1775 2700 + TiO 4.9 1750 3000 ++ Ti2O3 4.6 1760 N/A ++ V 6.1 1900 3410 + + WO3 7.2 1473 N/A ++ Y 4.5 1509 2927 ++ YF3 5.1 1155 2210 ++ YbF3 8.2 1157 2136 ++ ++ Yb2O3 9.2 2346 N/A + Zn 7.1 420 907 ++ ++ ++ ZnSe 5.4 1526 N/A ++ ++ ++ ZnS 4.1 1850 1665 ++ ++ ZnTe 5.5 1238 N/A ++ ++ Zr 6.5 1852 3578 + ZrF4 4.4 600 908 ++ ZrO2 5.6 2700 4300 + ZrO 6.4 2200 N/A ++
Точные размеры можно найти в нашем магазине:
Скорость испарения и давление пара
Отличительные черты наших материалов для лодочек испарителей — очень низкая скорость испарения при рабочей температуре и чрезвычайно низкое давление пара по сравнению с материалами покрытий. Благодаря этому материал лодочки не попадает в слой даже при длительных циклах испарения.
Удельное электрическое сопротивление
Удельное электрическое сопротивление — это важный параметр для проектирования лодочек испарителей.
Закажите лодочки испарителей прямо со склада в интернет-магазине Plansee
Артикулы лодочек испарителей
Подробную информацию о лодочке испарителя из вольфрама, молибдена и тантала можно узнать из артикула изделия. Он имеет следующую структуру:
Другие компоненты для используемых вами методов нанесения покрытий
Для электронно-лучевого испарения мы предлагаем тигельные вкладыши из молибдена, вольфрама и тантала. В отличие от медных и графитовых тиглей, они не загрязняют испаряемый материал. Мы оптимизируем геометрию и состав материала тиглей с учетом процессов, которые применяет заказчик.
Наши вольфрамовые и молибденовые нити используются при резистивном термическом напылении.