Для резистивного термического напыления мы выпускаем лодочки испарителей из вольфрама, молибдена, молибден-лантана (ML), молибдена с оксидом иттрия (MY) и тантала . При прохождении электрического тока лодочки нагревают испаряемый материал. Низкое давление пара наших металлов гарантирует, что частицы вольфрама, тантала или молибдена не попадут в пар и последующий слой.
Отличная
коррозионная стойкость
Низкое давление пара
Хорошая электропроводность
Очень высокая температура плавления
Стабильность формы
Термовакуумное напыление(или резистивное термическое напыление) — это разновидность вакуумного напыления PVD (Physical Vapour Deposition). Материал самого верхнего слоя нагревается в вакуумной камере до испарения.
В процессе термовакуумного напыления создаются стойкие покрытия из алюминия, серебра, хрома, нитрида титана, диоксида кремния. Так наши клиенты получают блестящие часы, идеальную зеркальную поверхность, высококачественные электронные компоненты и т. д. Все наши продукты отличаются точным размером и длительным сроком службы. Убедитесь сами!
В зависимости от потребностей клиента мы производим лодочки испарителей из молибдена, вольфрама и тантала:
Лодочки испарителей из вольфрама
Вольфрам очень устойчив к агрессивному воздействию многих расплавленных металлов и отличается максимальной жаропрочностью, так как имеет самую высокую температуру плавления среди всех металлов. С помощью специальных легирующих добавок, таких как силикат калия, мы делаем материал еще более стабильным по форме и устойчивым к коррозии.
Лодочки испарителей из молибдена
Молибден отличается особой стабильностью и устойчивостью к высоким температурам. При добавлении оксида лантана (ML) повышается пластичность материала и его стойкость к коррозии. Молибден с оксидом иттрия (MY) легче поддается механической обработке.
Лодочки испарителей из тантала
Тантал имеет очень низкое давление пара и низкую скорость испарения. Однако главным достоинством этого материала является высокая коррозионная стойкость.
Straight type — лодочки прямой формы
Step type — лодочки с уступом между зажимной частью и верхом
Non splash type — лодочки с крылышками или крышкой для минимизации разбрызгивания
Eine Übersicht der passenden Schiffchen für Ihr Material finden Sie hier. Schiffchen mit einem Plus eignen sich für das Material. Schiffchen mit zwei Plus empfehlen wir Ihnen ganz besonders. Gerne helfen wir Ihnen auch persönlich bei der Materialauswahl.
Beschichtungsmaterial | Dichte [g/cm³] |
Schmelzpunkt [°C] |
Siedepunkt [°C] |
Schiffchen | ||
W | Mo | Ta | ||||
Al | 2.7 | 660 | 2467 | + | ||
AIF3 | 2.9 | 1291 | N/A | ++ | ++ | |
AI/1 – 4% Cu | 2.7 | 650 | N/A | + | ||
AI/0.1 – 2% Si | 2.7 | 640 | N/A | + | ||
AI/4% Cu/1% Si | 2.7 | 640 | N/A | + | ||
Ag | 10.5 | 961 | 2212 | ++ | ++ | |
As2S3 | 3.4 | 300 | 707 | ++ | ||
Au | 19.3 | 1063 | 2966 | ++ | + | |
B2O3 | 2.5 | 460 | 2247 | ++ | ||
BaF2 | 4.9 | 1280 | 2260 | ++ | ++ | ++ |
BaTiO3 | 6.0 | 1600 | N/A | + | + | |
BeO | 3.0 | 2530 | 4120 | + | ||
Bi | 9.8 | 271 | 1560 | ++ | ++ | ++ |
BiF3 | 5.3 | 727 | 900 | ++ | ++ | |
Bi2O3 | 8.9 | 820 | 1890 | + | + | |
CaF2 | 3.2 | 1360 | 2500 | ++ | ++ | ++ |
CaO | 3.3 | 2580 | 2850 | + | ||
Cd | 8.6 | 321 | 765 | ++ | ++ | ++ |
CdSe | 5.8 | 1350 | N/A | ++ | ++ | |
CdS | 4.8 | 1750 | 1405 | ++ | ++ | ++ |
CdTe | 6.2 | 1042 | N/A | ++ | ++ | |
CeO2 | 7.1 | 2150 | N/A | ++ | ||
CeF3 | 6.2 | 1460 | 1987 | ++ | ++ | |
Co | 8.9 | 1495 | 2900 | + | ++ | |
Cr | 7.2 | 1875 | 2482 | ++ | ||
Cr2C3 | 6.7 | 1850 | 3800 | + | ||
Cr2C3 | 5.2 | 2345 | 4000 | + | ||
Cu | 8.9 | 1083 | 2595 | ++ | ||
Cu2O | 6.0 | 1235 | 1800 | + | ||
DyF3 | 7.5 | 1155 | 1900 | ++ | ||
ErF3 | 7.8 | 1144 | 1920 | ++ | ||
Er2O3 | 8.6 | 2400 | N/A | + | ||
EuF3 | 6.7 | 1280 | 2270 | + | ||
Eu2O3 | 7.4 | 2100 | N/A | + | ||
Fe | 7.9 | 1536 | 3070 | + | ||
Fe2O3 | 5.3 | 1594 | N/A | + | ||
Ga | 5.9 | 30 | 2403 | + | ||
GaAs | 5.3 | 1238 | N/A | ++ | ||
GaP | 4.1 | 1350 | N/A | ++ | ++ | ++ |
Ge | 5.4 | 937 | 2830 | + | ||
GeO2 | 4.2 | 1115 | N/A | ++ | ++ | ++ |
HfF2 | 7.1 | 1000 | N/A | ++ | ||
HoF3 | 7.6 | 1143 | 1895 | ++ | ||
In | 7.3 | 156 | 2000 | ++ | ++ | |
In/10Sn | 7.3 | 146 | 1000 | + | ||
In2O3 | 7.2 | 2200 | N/A | + | + | |
LaF3 | 6.0 | 1495 | 2400 | ++ | ++ | |
La2O3 | 6.5 | 2260 | 4200 | + | + | |
LiF | 2.6 | 842 | 1676 | ++ | ++ | |
LuF3 | 8.3 | 1182 | 2200 | ++ | ++ | |
Lu2O3 | 9.4 | 2400 | N/A | + | ++ | |
Mg | 1.7 | 650 | 1107 | ++ | ++ | ++ |
MgF2 | 3.1 | 1266 | 2239 | ++ | ||
MgO | 3.6 | 2640 | 3600 | + | ||
Mn | 7.4 | 1245 | 2097 | + | ++ | ++ |
MnS | 4.0 | 1615 | N/A | + | + | |
MoO3 | 4.7 | 795 | 1155 | ++ | ||
MoS2 | 4.8 | 1185 | N/A | ++ | ||
Na3AIF6 | 2.9 | 1000 | N/A | ++ | ++ | |
Na5AI3F14 | 3.0 | 1027 | N/A | ++ | ++ | |
NaF | 2.6 | 988 | 1695 | ++ | ++ | ++ |
NdF3 | 6.5 | 1377 | 2400 | ++ | ++ | |
Nd2O3 | 7.2 | 2240 | N/A | + | ||
Ni | 8.9 | 1453 | 2732 | + | ||
Ni/Cr | 7.5-8.5 | 1500 | N/A | + | ||
Nb | 8.6 | 2468 | 4927 | + | ||
Nb2O5 | 4.5 | 1512 | N/A | + | ||
Pd | 12.0 | 1552 | 2927 | + | ||
Pt | 21.5 | 1769 | 3827 | + | ||
PrF3 | 6.3 | 1399 | 2255 | ++ | ++ | |
Pr2O3 | 7.1 | 2270 | N/A | + | ||
Rb | 1.5 | 39 | 688 | + | ||
SmF2 | 6.6 | 1306 | 2323 | ++ | ||
Sm2O3 | 7.1 | 2325 | N/A | + | ||
ScF3 | 2.6 | 1530 | 1800 | ++ | ||
Sc2O3 | 3.9 | 2400 | N/A | + | ||
Se | 4.8 | 217 | 685 | + | + | + |
Si | 2.3 | 1410 | 2355 | + | ||
SiO | 2.1 | 1705 | 1880 | ++ | ++ | |
Sn | 7.3 | 232 | 2260 | ++ | ++ | |
SnO2 | 6.9 | 1127 | 1850 | + | + | |
SrF2 | 4.2 | 1450 | 2489 | ++ | ++ | |
Ta2O5 | 8.3 | 1880 | N/A | + | ||
Te | 6.2 | 450 | 1390 | ++ | ++ | ++ |
TbF3 | 7.2 | 1172 | 2280 | + | ||
Tb2O3 | 7.9 | 2300 | N/A | + | + | |
ThF4 | 6.3 | 1100 | 1680 | ++ | ++ | |
Ti | 4.5 | 1668 | 3260 | + | ||
TiO2 | 4.2 | 1775 | 2700 | + | ||
TiO | 4.9 | 1750 | 3000 | ++ | ||
Ti2O3 | 4.6 | 1760 | N/A | ++ | ||
V | 6.1 | 1900 | 3410 | + | + | |
WO3 | 7.2 | 1473 | N/A | ++ | ||
Y | 4.5 | 1509 | 2927 | ++ | ||
YF3 | 5.1 | 1155 | 2210 | ++ | ||
YbF3 | 8.2 | 1157 | 2136 | ++ | ++ | |
Yb2O3 | 9.2 | 2346 | N/A | + | ||
Zn | 7.1 | 420 | 907 | ++ | ++ | ++ |
ZnSe | 5.4 | 1526 | N/A | ++ | ++ | ++ |
ZnS | 4.1 | 1850 | 1665 | ++ | ++ | |
ZnTe | 5.5 | 1238 | N/A | ++ | ++ | |
Zr | 6.5 | 1852 | 3578 | + | ||
ZrF4 | 4.4 | 600 | 908 | ++ | ||
ZrO2 | 5.6 | 2700 | 4300 | + | ||
ZrO | 6.4 | 2200 | N/A | ++ |
Точные размеры можно найти в нашем магазине:
Отличительные черты наших материалов для лодочек испарителей — очень низкая скорость испарения при рабочей температуре и чрезвычайно низкое давление пара по сравнению с материалами покрытий. Благодаря этому материал лодочки не попадает в слой даже при длительных циклах испарения.
Удельное электрическое сопротивление — это важный параметр для проектирования лодочек испарителей.
Подробную информацию о лодочке испарителя из вольфрама, молибдена и тантала можно узнать из артикула изделия. Он имеет следующую структуру:
Для электронно-лучевого испарения мы предлагаем тигельные вкладыши из молибдена, вольфрама и тантала. В отличие от медных и графитовых тиглей, они не загрязняют испаряемый материал. Мы оптимизируем геометрию и состав материала тиглей с учетом процессов, которые применяет заказчик.
Наши вольфрамовые и молибденовые нити используются при резистивном термическом напылении.