Online ShopMy Plansee
Plansee Group
Главная
Online ShopMy PlanseePlansee Group
Мишени для напыления из молибдена

Мишени для напыления из молибдена

Молибденовые покрытия являются основными компонентами тонкопленочных транзисторов в экранах TFT-LCD и OLED. Они управляют отдельными пикселями с молниеносной скоростью и тем самым обеспечивают особую четкость изображения. Кроме того, молибденовые покрытия используются и для других целей — например, в качестве обратного контакта в тонкопленочных солнечных элементах (CIGS, CdTe) и в микроэлектронных компонентах (частотные фильтры, литография).

Преимущества:

  • Высокая степень чистоты:
    >99,97 %

  • Максимальная плотность:
    > 99,5 %

  • Однородная микроструктура

  • Центр компетенций для разработки новых решений в области покрытий

Здесь вы можете скачать спецификации на продукцию:

Спецификация — плоская мишень Mo (машинная обработка)

Как наносятся молибденовые покрытия?

В процессе магнетронного распыления (PVD-процесс) крошечные частицы металла высвобождаются из мишеней и осаждаются в виде тонкой пленки на материале (подложке), на который необходимо нанести покрытие. Это экономичный и быстрый процесс нанесения покрытий, при котором все материалы должны соответствовать самым высоким критериям качества.

Высочайшая чистота

Наши мишени соответствуют самым высоким требованиям к чистоте. Основные преимущества: отличная электропроводность слоя и минимальное образование частиц в процессе PVD. Металлические и неметаллические загрязняющие примеси в мишени для напыления переходят в напыляемый функциональный слой и ухудшают его свойства или приводят к образованию частиц в процессе PVD (эффект дуги).

Мы гарантируем степень чистоты наших молибденовых мишеней не менее 99,97 %. Как правило, это значение составляет около 99,99 %. Таким образом, мы гарантируем соответствие покрытий самым высоким требованиям.

Максимальная плотность и однородная микроструктура

Специальные процессы формовки придают нашим молибденовым мишеням для напыления высокую плотность. Это способствует увеличению скорости нанесения покрытия и улучшению его свойств в процессе PVD. Результатом являются высокая производительность и экономный расход материала при нанесении тонких слоев.

С помощью особых технологий мы нужным образом изменяем микроструктуру материала покрытия. Однородная микроструктура мишеней обеспечивает равномерную скорость съема и идеально выверенную толщину покрытия.

Центр компетенций для разработки новых решений в области покрытий

При PVD-напылении все параметры и процессы должны быть согласованы. Только так можно получить покрытие, в точности соответствующее требованиям заказчика. В нашей прикладной лаборатории по нанесению покрытий методом PVD мы проводим напыление в условиях, близких к реальным. Команда разработчиков формирует слои и анализирует их соответствие заданию. В сотрудничестве с клиентами и многочисленными партнерами по разработке в короткие сроки создаются новые материалы для покрытий. А благодаря давним контактам с производителями оборудования и OEM мы участвуем в новейших изысканиях и оптимизациях.

Широкий выбор форматов мишеней

Планарная мишень Mo

Мы производим плоские и трубчатые молибденовые мишени в одно- и многокомпонентном исполнении для всех распространенных размеров и систем нанесения покрытия.

В рамках серийного производства возможно изготовление однокомпонентных планарных мишеней размерами до 1,8 х 2,3 м. Многокомпонентные планарные мишени могут выпускаться в оговоренном объеме с длиной деталей до 3,5 м.

Мы производим вращающиеся мишени длиной до 4 м в одно- или многокомпонентном исполнении. Дополнительную информацию можно найти в разделе «Продукция»:

Вращающиеся мишени Mo

Посмотреть примеры применения наших покрытий можно здесь:

Качественная продукция от одного производителя

Все этапы создания мишеней для напыления выполняются на наших предприятиях под жестким контролем: от поставок сырья из бесконфликтных источников до выпуска конечного продукта. Из пористых порошковых компактов мы изготавливаем плотные металлические заготовки. Плоские мишени формируются на стане горячей прокатки тугоплавких металлов. При производстве вращающихся мишеней мы применяем фирменную технологию формовки. Затем в локальных цехах припайки мишени соединяются с материалом-носителем и выпускаются уже готовыми к установке.

Помимо создания новых материалов, мы также занимаемся оптимизацией уже испытанных покрытий и технологий их нанесения. Спекание является центральным процессом в нашей порошковой металлургии. Мы оттачивали мастерство в течение целого столетия.

    Оксид
    Восстановление
    Смешивание, плавление
    Прессование
    Спекание
    Формовка
    Термообработка
    Механическая обработка
    Пайка к основанию
    Контроль качества
    Повторное использование
ОксидMolymet (Чили) — крупнейшая в мире компания по переработке молибденовых рудных концентратов и наш основной поставщик триоксида молибдена. Plansee Group является акционером Molymet с долей участия 21,15 %. Global Tungsten & Powders (США) — подразделение Plansee Group и наш основной поставщик вольфрамового порошка.

Другие продукты для нанесения покрытий