Мишени из молибден-тантала для создания коррозиестойких покрытий в дисплеях

Благодаря очень хорошей адгезии к стеклу и высокой электропроводности молибден является популярным материалом для электрических слоев в тонкопленочных транзисторах (TFT-LCD) и в датчиках касания (сенсорные панели). Эти слои подвергаются воздействию влаги и агрессивных сред в процессе производства и в ходе эксплуатации дисплея. Добавление тантала значительно увеличивает химическую стойкость материала. Кроме того, молибден-танталовый слой очень удобно структурировать методом жидкостного химического травления.

Преимущества:

Высокая степень чистоты:
>99,97 %
Максимальная плотность
> 98 %
Однородная микроструктура и однородный химический состав

Здесь вы можете скачать спецификации на продукцию:

Спецификация на мишени для напыления из MoTa

Производство мишеней из молибдена-тантала

Мы специализируемся на производстве тугоплавких металлов методом порошковой металлургии. Наши мишени из MoTa создаются путем тщательного смешивания чистейшего металлического порошка. Содержание тантала в мишени регулируется в зависимости от применения и может составлять до 11 массовых процентов. Затем порошок прессуется, равномерно уплотняется в наших агломерационных установках, и затем из него формируется мишень. Заключительный этап обработки мишеней из MoTa выполняется в наших собственных цехах припайки. Наши мишени из MoTa соответствуют самым высоким стандартам качества.

Максимальная плотность и однородная микроструктура

Молибден-танталовые мишени для напыления от Plansee приобретают высокую плотность в ходе специальных процессов формовки. Преимущество: метод вакуумного напыления (PVD) обеспечивает равномерную скорость нанесения и улучшает свойства покрытия. Результат — повышение производительности и более рациональное использование материала при создании тонких слоев. Благодаря порошковой металлургии мы можем целенаправленно регулировать микроструктуру материала покрытия с учетом условий эксплуатации.

Высочайшая чистота

Центр компетенций по мишеням для напыления

Наши мишени соответствуют самым высоким требованиям к чистоте. Основные преимущества: отличная электропроводность слоя и минимальное образование частиц в процессе PVD. Металлические и неметаллические загрязняющие примеси в мишени для напыления переходят в напыляемый функциональный слой и ухудшают его свойства или приводят к образованию частиц в процессе PVD (эффект дуги). Гарантированная минимальная чистота наших мишеней из MoTa составляет 99,97 %.

Центр компетенций для разработки новых решений в области покрытий

При PVD-напылении все параметры и процессы должны быть согласованы. Только так можно получить покрытие, в точности соответствующее требованиям заказчика. В нашей прикладной лаборатории по нанесению покрытий методом PVD мы проводим напыление в условиях, близких к реальным. Команда разработчиков формирует слои и анализирует их соответствие заданию. В сотрудничестве с клиентами и многочисленными партнерами по разработке в короткие сроки создаются новые материалы для покрытий. А благодаря давним контактам с производителями оборудования и OEM участвуем в новейших изысканиях и оптимизациях.

Лучшее доказательство нашего мастерства — это мы сами. Создаваемые покрытия мы используем для множества собственных изделий, например полупроводниковых подложек и вращающихся анодов, и наносим эти покрытия собственными силами с помощью таких технологий, как PVD, CVD, APS и VPS.

Сырье: надежные источники и полный контроль

Все этапы создания мишеней для напыления — от подготовки сырья до выпуска конечного продукта — мы выполняем собственными усилиями под строжайшим контролем. Сюда же относятся и разработка новых материалов, и оптимизация методов нанесения покрытий. Спекание — центральный процесс нашей технологии порошковой металлургии. Из пористых порошковых компактов мы изготавливаем плотные металлические заготовки. Вольфрамовые мишени производятся на самом большом в мире стане горячей прокатки тугоплавких металлов. Затем в локальных цехах припайки мишени соединяются с материалом-носителем и выпускаются уже готовыми к установке.

В течение целого столетия наши клиенты доверяют Plansee — независимому частному предприятию. Для них, как и для нас, надежность и стабильность входят в число главных приоритетов, особенно когда речь идет о снабжении сырьем. За счет сотрудничества с компаниями Global Tungsten & Powders (GTP) и Molibdenos y Metales (Molymet) Plansee Group охватывает все этапы переработки вольфрама и молибдена — от изготовления порошка до создания полуфабрикатов и компонентов в соответствии с индивидуальными требованиями заказчика. Что особенно важно: танталовый порошок мы получаем из сертифицированных бесконфликтных источников сырья.