Главная
Online ShopMy Plansee
Plansee Group
Главная
Online ShopMy PlanseePlansee Group
Мишень для напыления из оксида молибдена

Мишени для напыления из оксида молибдена

Надежная сепарация субпикселей, элегантное закрытие токопроводящих дорожек или предотвращение отражения окружающего света: благодаря низкому оптическому отражению слои оксида молибдена широко применяются в современных плоских экранах. Для напыления этих слоев мы поставляем оксид молибдена в виде планарных мишеней с разными химическими добавками. Чтобы повысить химическую стойкость слоев MoOx и сделать их пригодными к травлению, мы легируем оксид молибдена другими металлами.

Преимущества:

  • Высокая степень чистоты:
    > 99,9 %

  • Однородная микроструктура и однородный химический состав

  • Варьируемый состав

  • Электропроводность

Здесь вы можете скачать спецификации на продукцию:

Спецификация на мишени для напыления из MoOxTa8
Спецификация на мишени для напыления из MoOxTa14
Спецификация на мишени для напыления из MoOx

Обзор основных свойств

Плотность [%] ≥ 95
Степень чистоты [%] > 99,9
Коэффициент теплового расширения [ppm/K] 5
Теплопроводность [Вт/(м-K)] 4–6
Электропроводность [См/см] 120–1100

Применение оксида молибдена в экранах

Дисплеи с ультратонкой рамкой и сенсорные экраны: закрытие токопроводящих дорожек

Современные настольные мониторы и большие телевизионные дисплеи часто вообще не имеют пластиковой рамки. Это не только придает устройству элегантный вид, но и обеспечивает возможность объединения нескольких экранов в один большой дисплей. Однако без рамки высокоотражающие токопроводящие дорожки из молибдена, алюминия или меди на TFT-стекле не будут закрыты. Решить эту проблему позволяет дополнительный антибликовый слой из MoOx. Если чистый молибден отражает около 60 % падающего света, то для слоя MoOx той же толщины это значение составляет менее 6 % (при толщине 550 нм). Это обеспечивает хорошее экранирование токопроводящих дорожек.

Покрытие из оксида молибдена

Разрез: как слой оксида молибдена закрывает проводящие дорожки в экранах с ультратонкой рамкой (темный слой оксида).

В сенсорных экранах тонкий слой оксида молибдена, нанесенный методом PVD, предотвращает отражение света от металлических поверхностей в емкостных датчиках касания.

Смартфон с покрытием из оксида молибдена

Благодаря покрытию из оксида молибдена датчики касания в сенсорных экранах становятся невидимыми.

OLED: два в одном — защита от отражения и электрод

Когда окружающий свет падает на OLED-дисплей, молибденовые слои металлизации TFT (затвор, электроды истока/стока) его отражают, что ухудшает контрастность дисплея. Для предотвращения таких нежелательных явлений используются циркулярные поляризационные фильтры. Они уменьшают отражение от электрода, но при этом также снижают световую отдачу дисплея. Поскольку MoOx очень хорошо поглощает свет и одновременно проводит электрический ток, этот материал очень хорошо подходит в качестве антибликового слоя для металлизации TFT. За счет использования MoOx производители OLED экономят на поляризационном слое.

Прозрачные слои оксида молибдена для технологии OLED и солнечных батарей

Прозрачные слои — еще одна область применения MoOx. Добавляя кислород в процессе нанесения покрытия, можно регулировать содержание кислорода в слоях вплоть до стехиометрического соотношения MoO3. Такое покрытие обладает особыми электронными свойствами, прежде всего высокой работой выхода электронов. Поэтому прозрачные слои MoOx могут быть использованы в технологии OLED в качестве так называемых инжектирующих дырочных слоев (HIL). В тонкопленочных солнечных элементах на основе CIGS и CdTe слои MoOx используются в качестве компонента обратного контакта и барьерного слоя (например, против селенизации). Органические солнечные элементы также выигрывают от дополнительных слоев MoO3.

Дополнительную информацию можно найти в статье «Thin-film metal oxides in organic semiconductor devices: their electronic structures, work functions and interfaces von Nature Research».

Смотреть публикацию

Схематическое изображение структуры пикселей RBG в OLED-дисплее:

Слой оксида молибдена в OLED-дисплее

Упрощенное изображение активных слоев в OLED-дисплее

Также описаны случаи применения прозрачных слоев MoOx в высокоэффективных кремниевых солнечных элементах с гетеропереходом. Исследователи из Института EPFL в Лозанне опубликовали работу на эту тему: Toward Annealing‐Stable Molybdenum‐Oxide‐Based Hole‐Selective Contacts For Silicon Photovoltaics – Essig – 2018 – Solar RRL – Wiley Online Library.

Смотреть публикацию
Слой оксида молибдена в солнечном элементе
Схематическое изображение солнечного элемента из MoOx/a-Si:H/c-Si

Сейчас активно изучаются возможности использования покрытий из оксида молибдена при расщеплении воды (фотокаталитическое производство водорода) в датчиках газа, каталитических преобразователях или тонкопленочных батареях. Это интересное и перспективное направление.

Центр компетенций для разработки новых решений в области покрытий

При PVD-напылении все параметры и процессы должны быть согласованы. Только так можно получить покрытие, в точности соответствующее требованиям заказчика. В нашей прикладной лаборатории по нанесению покрытий методом PVD мы проводим напыление в условиях, близких к реальным. Команда разработчиков формирует слои и анализирует их соответствие заданным требованиям. В нашей лаборатории по покрытиям мы проверяем свойства слоев из оксида молибдена. Мы всегда готовы проконсультировать вас по таким вопросам, как состав материала, толщина слоя и параметры процесса.

На технологию изготовления и особые свойства наших мишеней для напыления из оксида молибдена уже заявлено несколько патентов.

Статьи на эту тему:

Thin-film metal oxides in organic semiconductor devices: their electronic structures, work functions and interfaces

Смотреть публикацию

Другие продукты для отрасли нанесения покрытий: