Вольфрамовые покрытия являются компонентами тонкопленочных транзисторов в экранах TFT-LCD. Они используются там, где требуются большой формат экрана, очень высокая четкость изображения и оптимальная контрастность. Вольфрамовые мишени также применяются в микроэлектронике, например для нанесения покрытий в частотных фильтрах (фильтры на поверхностных акустических волнах (SAW), фильтры на объемных акустических волнах (BAW)). Другие области применения вольфрамовых мишеней включают диффузионные барьеры, например из нитрида вольфрама, токопроводящие дорожки в компонентах микроэлектроники и реактивно напыленные прозрачные слои оксида вольфрама для OLED-дисплеев и в электрохромии.
Высокая степень чистоты:
>99,97 %
Максимальная плотность
> 99,5 %
Центр компетенций для разработки новых решений в области покрытий
Однородная микроструктура
Здесь вы можете скачать спецификации на продукцию:
В процессе магнетронного распыления (PVD-процесс) крошечные частицы металла высвобождаются из мишеней и осаждаются в виде тонкой пленки на материале (подложке), на который необходимо нанести покрытие. Это экономичный и быстрый метод, но он требует применения материалов исключительно высокого качества.
Наши мишени соответствуют самым высоким требованиям к чистоте. Основные преимущества: отличная электропроводность слоя и минимальное образование частиц в процессе PVD. Металлические и неметаллические загрязняющие примеси в мишени для напыления переходят в напыляемый функциональный слой и ухудшают его свойства или приводят к образованию частиц в процессе PVD (так называемый эффект дуги). Гарантированная минимальная чистота наших мишеней из вольфрама составляет 99,97 %. Как правило, это значение выше и составляет около 99,99 %. Таким образом, мы гарантируем соответствие покрытий самым высоким требованиям, в том числе для применения в микроэлектронике.
Вольфрамовые мишени для напыления от Plansee приобретают высокую плотность в ходе специальных процессов формовки. Метод вакуумного напыления (PVD) обеспечивает равномерную скорость нанесения и улучшает свойства покрытия. Результат — повышение производительности и более рациональное использование материала при создании тонких слоев. Благодаря порошковой металлургии мы можем целенаправленно регулировать микроструктуру материала покрытия с учетом условий эксплуатации.
При PVD-напылении все параметры и процессы должны быть согласованы. Только так можно получить покрытие, в точности соответствующее требованиям заказчика. В нашей прикладной лаборатории по нанесению покрытий методом PVD мы проводим напыление в условиях, близких к реальным. Команда разработчиков формирует слои и анализирует их соответствие заданным требованиям. В сотрудничестве с клиентами и многочисленными партнерами мы оперативно разрабатываем все новые материалы покрытий. А благодаря давним контактам с производителями оборудования и OEM участвуем в новейших изысканиях и оптимизациях.
Мы объединяем на одном производстве все этапы создания мишеней для напыления. От сырья до конечного продукта. Имеющиеся знания и ресурсы позволяют также собственными силами выполнять разработку новых материалов и оптимизацию покрытий и методов их нанесения. Спекание — центральный процесс нашей технологии порошковой металлургии. Затем из пористых порошковых компактов изготавливаем плотные металлические заготовки. Вольфрамовые мишени производятся на самом большом в мире стане горячей прокатки тугоплавких металлов. Затем в локальных цехах припайки мишени соединяются с материалом-носителем и выпускаются уже готовыми к установке.
Вот уже целое столетие клиенты всецело доверяют опыту независимого частного предприятия Plansee. Для них, как и для нас, надежность и стабильность входят в число главных приоритетов. Это особенно важно, когда речь идет о снабжении сырьем. За счет сотрудничества с компаниями Global Tungsten & Powders и Molibdenos y Metales (Molymet) Plansee Group охватывает все этапы переработки вольфрама и молибдена — от получения порошка до создания заготовок и компонентов в соответствии с индивидуальными требованиями заказчика.
Мишени для напыления из молибдена
Мишени для напыления / вращающиеся мишени из молибдена
Мишени для напыления из молибдена-натрия
Мишени для напыления из молибдена-ниобия
Мишени для напыления из оксида молибдена
Мишени для напыления из молибдена-тантала
Мишени для напыления из молибдена-вольфрама
Мишени для напыления из вольфрама-никеля
Мишени для напыления из вольфрама-титана
