Высочайшая чистота
Наши мишени соответствуют самым высоким требованиям к чистоте. Основные преимущества: отличная электропроводность слоя и минимальное образование частиц в процессе PVD. Металлические и неметаллические загрязняющие примеси в мишени для напыления переходят в напыляемый функциональный слой и ухудшают его свойства или приводят к образованию частиц в процессе PVD (так называемый эффект дуги). Гарантированная минимальная чистота наших мишеней из вольфрама составляет 99,97 %. Как правило, это значение выше и составляет около 99,99 %. Таким образом, мы гарантируем соответствие покрытий самым высоким требованиям, в том числе для применения в микроэлектронике.
Максимальная плотность и однородная микроструктура
Вольфрамовые мишени для напыления от Plansee приобретают высокую плотность в ходе специальных процессов формовки. Метод вакуумного напыления (PVD) обеспечивает равномерную скорость нанесения и улучшает свойства покрытия. Результат — повышение производительности и более рациональное использование материала при создании тонких слоев. Благодаря порошковой металлургии мы можем целенаправленно регулировать микроструктуру материала покрытия с учетом условий эксплуатации.