Главная
Online ShopMy Plansee
Plansee Group
Главная
Online ShopMy PlanseePlansee Group
Мишень для напыления WTi

Мишени для напыления из вольфрама-титана

Высокая плотность вольфрама, высокая коррозионная стойкость титана и его сцепление с различными видами поверхностей, а также хорошая смешиваемость обоих металлов: эти свойства делают вольфрам-титан идеальным материалом для тонких слоев. За счет этого предотвращается диффузия инородных атомов.

Преимущества:

  • Высокая степень чистоты:
    > 99,95 %

  • Высокая плотность:
    > 98 %

  • Однородная микроструктура

  • Высокая скорость
    напыления благодаря максимальной плотности материала

  • Равномерная скорость съема благодаря оптимизированной микроструктуре

Здесь вы можете скачать спецификацию на продукцию:

Спецификация на мишени для напыления из WTi
Область применения сплава вольфрам-титан

Вольфрам-титан (WTi) с десятью массовыми процентами титана используется, например, в качестве диффузионного барьера и усилителя сцепления при металлизации микросхем. В этой области применения WTi разделяет слои полупроводника и металлизации, например алюминий от кремния или медь от кремния. Без диффузионного барьера медь и кремний образовали бы интерметаллическую фазу в микросхемах и тем самым нарушили бы функцию полупроводника. В гибких тонкопленочных солнечных элементах (CIGS) барьерный слой WTi предотвращает диффузию атомов железа из стальной подложки через молибденовый обратный контакт в полупроводник CIGS. Даже несколько мкг/г железа могут значительно снизить эффективность солнечных элементов CIGS.

Слой WTi на солнечном элементе CIGS

На двух изображениях показаны схематическая структура солнечного элемента CIGS (слева) и металлизация полупроводникового перевернутого чипа (внизу) с использованием слоев WTi.

Слой WTi на металлизации полупроводника

Примеры применения для слоев WTi

Мишени для напыления WTi

При изготовлении мишеней для напыления WTi мы применяем инновационные производственные процессы, относящиеся к порошковой металлургии. Мы предлагаем мишени для напыления WTi разных размеров (до 400 мм в диаметре) и одними из первых стали выпускать WTi не только в виде плоской, но и в виде вращающейся мишени. Содержание титана в наших мишенях WTi обычно составляет 10 массовых процентов.

WTi от Plansee: Основные свойства
Плотность ≥ 98 %
Степень чистоты > 99,95 %
Содержание титана 10 масс. %
Однородность распределения титана ± 0.5 %
Микроструктура мелкозернистая, размер зерна < 50 мкм 

Непревзойденная чистота материала — залог высочайшего качества

Центр компетенций по мишеням для напыления

Чем чище материал покрытия, тем выше качество слоя. С самого начала мы используем только чистейший порошок, готовя его в собственных цехах, чтобы обеспечить высочайшую чистоту материала. Мы контролируем каждый этап — от порошка до готового продукта, — поэтому гарантируем, что с наших конвейеров сходят мишени исключительной чистоты и плотности с абсолютно однородной микроструктурой.

Все под личным контролем — от порошка до готовой мишени

Покрытия WTi наносятся методом вакуумного напыления (PVD). Мы поставляем исходный материал в виде мишеней для напыления. Наш материал имеет высокую плотность, высокую чистоту материала и однородный фазовый состав, что обеспечивает стабильный процесс нанесения покрытия. При этом мы собственными силами выполняем все этапы производственного процесса — от смешивания и прессования металлического порошка до формования, обработки и припайки мишеней. За счет этого обеспечивается неизменно высокое качество. Сюда также входит разработка новых материалов для оптимизации метода нанесения покрытий и качества слоев. Качество мишеней проверяется с использованием новейших методов измерения.

    Оксид
    Восстановление
    Смешивание, плавление
    Прессование
    Спекание
    Формовка
    Термообработка
    Механическая обработка
    Пайка к основанию
    Контроль качества
    Повторное использование
ОксидMolymet (Чили) — крупнейшая в мире компания по переработке молибденовых рудных концентратов и наш основной поставщик триоксида молибдена. Plansee Group является акционером Molymet с долей участия 21,15 %. Global Tungsten & Powders (США) — подразделение Plansee Group и наш основной поставщик вольфрамового порошка.

Здесь наглядно показано функционирование процесса PVD:

Высокая плотность и чистота наших мишеней WTi помогают уменьшить образование частиц в процессе нанесения, что значительно улучшает характеристики полученного покрытия. Связь между образованием частиц и свойствами мишени была исследована, например, в следующих научных работах:

Journal of Vacuum Science & Technology A: «Particle contamination during sputter deposition of W-Ti films»

Смотреть публикацию

Powder Metallurgy Review, J. Winkler, C. Linke: «Sputtering targets: The advantages of Powder Metallurgy in the production» 

Смотреть публикацию

Другие продукты для отрасли нанесения покрытий: