Компоненты для эпитаксиальных методов.

Эпитаксиальные методы MOCVD (химическое осаждение металлоорганических соединений из паровой фазы) и MBE (молекулярно-пучковая эпитаксия) имеют большое значение, например, при производстве кристаллов светодиодов и транзисторов. Эти технологические процессы применяются для выращивания полупроводниковых слоев.

Оправка, сделанная из сплавов на основе молибдена TZM
Оправка, сделанная из сплавов на основе молибдена TZM

Материалы в эпитаксиальном реакторе должны выдерживать температуры до 2 200 °C. Для PLANSEE это не проблема. Мы изготавливаем термостойкие компоненты из молибдена, вольфрама, тантала и специальных сплавов для ваших установок.

  • более высокая температура плавления: молибден (температура плавления 2 620 °C), тантал (температура плавления 3 017 °C) и вольфрам (температура плавления: 3 420 °C) – это тугоплавкие металлы, которые благодаря высоким температурам плавления идеально подходят для использования в таких высокотемпературных процессах, как MOCVD и MBE.
  • коррозионная стойкость: молибден, тантал и вольфрам обладают коррозионной стойкостью во многих средах даже при очень высоких температурах.
Подложка создана
из реакторов MOCVD (химическое осаждение металлоорганических соединений из паровой фазы)

Молибден

вольфрам

Аммиачный газ

до 1 000 °C (1 273 K) не вступает в реакцию свыше 1 000 °C (1 273 K) возможно поверхностное азотированиедо 1 000 °C (1 273 K) не вступает в реакцию свыше 1 000 °C (1 273 K) возможно поверхностное азотирование

Инертные газы

до очень высоких температур не вступает в реакциюдо очень высоких температур не вступает в реакцию

Углекислый газ

окисление при температуре выше 1 200 °C (1 473 K)окисление при температуре выше 1 200 °C (1 473 K)
Угарный газокисление при температуре выше 1 400 °C (1 673 K)окисление при температуре выше 1400 °C (1673 K)
Углеводородыкарбонизация при температуре выше 1 100 °C (1 373 K)карбонизация при температуре выше 1 100 °C (1 373 K)
Воздух и кислородокисление при температуре выше 400 °C (673 K) сублимация при температуре выше 600 °C (873 K)окисление при температуре выше 500 °C (773 K) сублимация при температуре выше 850 °C (1 123 K)
Азотдо очень высоких температур не вступает в реакцию (относится и к чистому молибдену)до очень высоких температур не вступает в реакцию (относится и к чистому молибдену)
Водяной парокисление при температуре выше 700 °C (973 K)окисление при температуре выше 700 °C (973 K)
Водородо очень высоких температур не вступает в реакцию (учитывайте точку росы)о очень высоких температур не вступает в реакцию (учитывайте точку росы)
  • высокая чистота: примеси в компонентах реакторов могут приводить и к загрязнению полупроводников. Для обеспечения качества полупроводников и эффективности светодиодов или транзисторов наши материалы должны не должны содержать примесей. Мы гарантируем чистоту свыше 99,97 %.
  • низкое давление пара: наши материалы идеально подходят для использования в условиях высокого и сверхвысокого вакуума.

Требуется повышенная устойчивость?

Молибден и вольфрам сохраняют форму даже при высоких температурах и частых циклах охлаждения и нагревания. С помощью таких специальных сплавов как TZM, WVM, ML и WL мы еще больше увеличили срок службы наших материалов. Они отличаются чрезвычайно высоким сопротивлением ползучести и прочностью.

Plansee Onlineshop

Зачем ждать? Вы можете заказать наши ленты, листы, прутки и проволоку из тугоплавких металлов прямо сейчас в режиме онлайн. Загляните на наш сайт: www.shop.plansee.com

Ваше контактное лицо
Ваш контакт:
Jim Palombo
Звоните нам:
+1 508 918 1230
или отправьте email:
jim.palombo@plansee.com
Jim Palombo