Компоненты для эпитаксиальных методов.
Эпитаксиальные методы MOCVD (химическое осаждение металлоорганических соединений из паровой фазы) и MBE (молекулярно-пучковая эпитаксия) имеют большое значение, например, при производстве кристаллов светодиодов и транзисторов. Эти технологические процессы применяются для выращивания полупроводниковых слоев.
Материалы в эпитаксиальном реакторе должны выдерживать температуры до 2 200 °C. Для PLANSEE это не проблема. Мы изготавливаем термостойкие компоненты из молибдена, вольфрама, тантала и специальных сплавов для ваших установок.
- более высокая температура плавления: молибден (температура плавления 2 620 °C), тантал (температура плавления 3 017 °C) и вольфрам (температура плавления: 3 420 °C) – это тугоплавкие металлы, которые благодаря высоким температурам плавления идеально подходят для использования в таких высокотемпературных процессах, как MOCVD и MBE.
- коррозионная стойкость: молибден, тантал и вольфрам обладают коррозионной стойкостью во многих средах даже при очень высоких температурах.
из реакторов MOCVD (химическое осаждение металлоорганических соединений из паровой фазы)
Молибден | вольфрам | |
|---|---|---|
Аммиачный газ | до 1 000 °C (1 273 K) не вступает в реакцию свыше 1 000 °C (1 273 K) возможно поверхностное азотирование | до 1 000 °C (1 273 K) не вступает в реакцию свыше 1 000 °C (1 273 K) возможно поверхностное азотирование |
Инертные газы | до очень высоких температур не вступает в реакцию | до очень высоких температур не вступает в реакцию |
Углекислый газ | окисление при температуре выше 1 200 °C (1 473 K) | окисление при температуре выше 1 200 °C (1 473 K) |
| Угарный газ | окисление при температуре выше 1 400 °C (1 673 K) | окисление при температуре выше 1400 °C (1673 K) |
| Углеводороды | карбонизация при температуре выше 1 100 °C (1 373 K) | карбонизация при температуре выше 1 100 °C (1 373 K) |
| Воздух и кислород | окисление при температуре выше 400 °C (673 K) сублимация при температуре выше 600 °C (873 K) | окисление при температуре выше 500 °C (773 K) сублимация при температуре выше 850 °C (1 123 K) |
| Азот | до очень высоких температур не вступает в реакцию (относится и к чистому молибдену) | до очень высоких температур не вступает в реакцию (относится и к чистому молибдену) |
| Водяной пар | окисление при температуре выше 700 °C (973 K) | окисление при температуре выше 700 °C (973 K) |
| Водород | о очень высоких температур не вступает в реакцию (учитывайте точку росы) | о очень высоких температур не вступает в реакцию (учитывайте точку росы) |
- высокая чистота: примеси в компонентах реакторов могут приводить и к загрязнению полупроводников. Для обеспечения качества полупроводников и эффективности светодиодов или транзисторов наши материалы должны не должны содержать примесей. Мы гарантируем чистоту свыше 99,97 %.
- низкое давление пара: наши материалы идеально подходят для использования в условиях высокого и сверхвысокого вакуума.
Требуется повышенная устойчивость?
Молибден и вольфрам сохраняют форму даже при высоких температурах и частых циклах охлаждения и нагревания. С помощью таких специальных сплавов как TZM, WVM, ML и WL мы еще больше увеличили срок службы наших материалов. Они отличаются чрезвычайно высоким сопротивлением ползучести и прочностью.
Зачем ждать? Вы можете заказать наши ленты, листы, прутки и проволоку из тугоплавких металлов прямо сейчас в режиме онлайн. Загляните на наш сайт: www.shop.plansee.com
