Комплектующие и запасные детали для ионной имплантации.

Ионная имплантация - важный технологический процесс, применяемый при производстве полупроводников. Установки ионной имплантации используются для введения в состав образцов атомов примесей для изменения таких свойств материала, как проводимость или кристаллическая структура. Сердце имплантационной установки – ионная колонна. Здесь ионы создаются, концентрируются, ускоряются до больших скоростей и направляются на пластину.

Запчасти для установок ионной имплантации
Одна из 2000 наших запчастей для установок ионной имплантации

Температуры до 1 400 °C, сильные электромагнитные поля, агрессивные технологические газы и большие механические силы создают проблемы для обычных материалов. Но не для наших продуктов. Наши термостойкие компоненты из молибдена, вольфрама, графита или керамики отличаются идеальным сочетанием коррозионной стойкости, прочности материала, высокой теплопроводности и абсолютной чистоты. В каждой ионной колонне используется 100 и более компонентов производства компании PLANSEE. Они обеспечивают эффективную генерацию ионов и направляют чистый ионный пучок по колонне точно к пластине.

Пучок ионов, установка ионной имплантации

С точностью до тысячной доли миллиметра и более чем 30-летним опытом работы в сфере производства полупроводников мы изготавливаем компоненты точно в соответствии со стандартом производителя или же модернизируем его компоненты на наших производственных площадках в Японии и США. Для все большего количества наших клиентов запчасти PLANSEE являются чем-то большим, чем просто запчастями. Взяв за основу оригинальные запасные части производителя оборудования, мы оптимизируем их геометрию и составы материалов. Преимущества для вас:

  • простота установки и демонтажа компонентов
  • более долгий срок службы
  • более низкие затраты на очистку
  • меньший объем работ по техническому обслуживанию
  • меньше простоев

Мы знаем, насколько важна для ваших процессов воспроизводимость качества. Вот почему мы тщательно проверяем качество наших материалов. Каждый раз. Как мы это делаем? Мы производим высококачественные материалы с 1921 года и выполняем все работы на всех этапах производства самостоятельно – от порошкового материала до готового продукта. Наш завод покидают только компоненты установок ионной имплантации, прошедшие строжайший контроль качества.

Наши продукты.

  • камеры (графит, вольфрам, молибден и сплавы)
  • нити (вольфрам и сплавы вольфрама)
  • диафрагмы (графит, вольфрам, молибден и сплавы)
  • держатели (вольфрам, молибден и сплавы)
  • катоды (вольфрам, молибден и сплавы)
  • конечные станции (графит)
  • компоненты анализатора (графит)
  • изоляторы (керамика)
  • апасные части (графит, вольфрам, молибден и сплавы, керамика, сталь)
Комплектующие из ионной имплантации на основе графита
Комплектующие из ионной имплантации на основе графита
Комплектующие из ионной имплантации на основе графита

Более 100 установок ионной имплантации. Специалист по запасным частям.

Неважно, используете ли вы более старую модель или совершенно новую систему, работает ли она на среднем или высоком токе: у нас найдутся подходящие запасные части и комплекты модернизации. Получите максимум от вашего оборудования для ионной имплантации. Проконсультируйтесь с нами. Даже если ваша установка ионной имплантации еще не включена в список.

AIBT: istar

Applied Materials: 9000, 9200, 9200xR, 9500, 9500xR, Quantum, Quantum I, Quantum II, Quantum III, Quantum X, Quantum X+, Quantum xR, xR, xR/Leap, xR120, xR200, xR80

Varian Semiconductor Equipment (now Applied Materials): VIISta Trident, PLAD, VIISta HCS, VIISta HCP +/I, VIISta 80, E1000, VIISion 200, VIISion 200+, VIISion 80+, VIISta HC, 120-10, 120XP, 160XP, 180XP, 80XP, VIISta 3000, Genus, Kestrel, VIISta 810 XE/XER, VIISta 900 XPT, VIISion, E220, E500, VIISta 810, VIISta 810 XE, VIISta 900, VIISta 900XP, 300D, 300XP, 350D

Axcelis: GSD HC (200/200E/200E2), HC3, Ultra, Eterna, GSD 100, GSD 160A, GSD 200E, GSD 200E^2, GSD HC, GSD HC3, GSD III, GSD III LE, GSD LED, NV GSD, NV 10-160, NV 10-180, NV 10-80, Optima HD, ULE, Ultra, GSD HE, GSD VHE, GSD HE, GSD HE3, GSD VHE, Optima XE, Paradigm XE, NV 3206/3204, NV 6200, NV 8200, NV 8250, Optima MD

Nissin: NH80, PR80, Exceed 3000, CLARIS, EXCEED2000A/2000AH, EXCEED2300AV, EXCEED3000AH, EXCEED9600A, NH20, NH45

SEN: NV-GSD-160A, NV-GSD-80A, NV-GSDIII, NV-GSDIII-180, SD, NV-GSDIII-90E, NV-GSDIII-LE, NV-GSDIII-LE, V-GSD-HC, LEX, LEX3, SHX, NV-GSD-HE, NV-GSD-HE3, MC3 MC3-II, NV-MC3

Ulvac: IH-860, IDZ-7000, IDZ-8001, IDZ-9001, IM-200, IW-630

В новом каталоге содержатся стандартные детали качества OEM наряду с деталями и узлами собственной разработки Plansee с продолжительным сроком службы и простым обслуживанием: ionimplant.plansee.com.

Для клиентов каталог предлагает дополнительные возможности. Открытые и завершенные заказы можно просмотреть, и клиент может получить подробности о доставке и загрузить счет-фактуры. Свяжитесь с нами для получения своих данных для входа в систему: ionimplantation(at)plansee.com

Хотите пример? Сокращение расходов с помощью фильтрующих пластин MRS от компании Plansee.

Где бы ни существовала возможность улучшить стандарты и сэкономить время и деньги наших клиентов, мы предлагаем наши компоненты усовершенствованного стандарта. Взяв за основу оригинальные запасные части производителя оборудования, мы оптимизируем их геометрию и составы материалов. Хотите испытать нас? Мы будем только рады помочь вам. Вы получите улучшенные запасные части для пробы по очень экономичной цене. Чтобы вы могли быть абсолютно уверены.

Пластины MRS в соответствиисо стандартом OEM
Пластины MRS в соответствии<br/>со стандартом OEM
Улучшенная конструкция для более долгого срока службы
Улучшенная конструкция
для более долгого срока службы

В процессе ионной имплантации фильтрующие пластины MRS отсеивают ионы, не соответствующие заданным характеристикам заряда или массы. Только ионы, прошедшие через масс-сепаратор (MRS), продолжают свой путь к пластине. Фильтрующая пластина MRS подвергается абразивному воздействию при столкновении с ионным пучком. Угол на боковой грани сводит это абразивное воздействие к минимуму. Однако процесс ионной имплантации также связан с химическими реакциями и износом, который проявляется тем сильнее, чем острее углы соответствующих поверхностей. В качестве компромисса в стандартных деталях оригинального производителя применяется угол 92 °C.

Но мы не довольствуемся компромиссами и внесли дальнейшие улучшения в оригинальную деталь: для этого мы располагаем поверхность, на которую ионный пучок падает с наибольшей силой, практически под прямым углом. Боковые поверхности, которые больше всего подвергаются химическим и термическим реакциям, выполняются под небольшим углом.

Для того чтобы гарантировать высочайшее качество продукции, поставляемой нашим клиентам, мы также очень критично относимся к используемым материалам. Обычный графит имеет крупнозернистую структуру и может приводить к интенсивному образованию частиц в ходе технологического процесса. Такие примеси могут вызывать серьезные проблемы, особенно при производстве электрических компонентов с крайне мелкой структурой. Мы предлагаем своим клиентам особенно твердый прочный графит. Он заметно менее подвержен абразивному воздействию и поэтому снижает образование частиц во время технологического процесса.

Все улучшения, которые мы предпринимаем в Plansee, приносят огромную пользу нашим клиентам. Пластины MRS усовершенствованного стандарта служат до трех раз дольше обычных моделей оригинальных производителей.

Три класса графита

Почему мы используем три различных класса графита в наших компонентах для установок ионной имплантации, изготовленных из графита? Д-р Томас Вернингхаус расскажет вам об этом меньше чем за 2 минуты.

Если вы заинтересованы: мы к вашим услугам.

Каждая идея хороша настолько, насколько она может быть воплощена на практике. Расскажите нам о своих задачах. Наши специалисты по ионной имплантации работают по всему миру. Мы нужны вам прямо на месте? Это не проблема. Мы прибудем в течение не более 48 часов. Гарантированно!

Ваше контактное лицо
Ваш контакт:
Gerhard Dürrhammer
Звоните нам:
+1 760 438 9090 6232
или отправьте email:
gerhard.duerrhammer@plansee.com
Gerhard Dürrhammer