Мишени для распыления из MoTa. Отличная коррозионная стойкость.

Благодаря своему хорошему сцеплению со стеклом и высокому уровню электропроводности молибден широко используется в качестве материала для электродных слоев в тонкопленочных транзисторах (для дисплеев TFT-LCD) и тактильных сенсорах (для сенсорных панелей).

Как в процессе производства, так и при использовании в качестве компонента дисплеев эти слои подвергаются воздействию атмосферной влажности и пота от рук пользователя. Наш ответ коррозии - молибден-тантал от PLANSEE.

Распыляемая мишень на основе молибдена и тантала

Мишени для распыления из MoTa. Отличная коррозионная стойкость.

Обзор самых важных характеристик
Плотность [%] ≥ 99,5
Чистота [%] > 99,97
Коэффициент теплового расширения [ppm/K] 5,34
Теплопроводность [Вт/(м • K)]97
Электропроводность [МСм/м]13
Микроструктура мелкозернистая, однородная
Высококачественные мишени для распыления

Высокая плотность.

Используя методы горячей формовки, мы спрессовываем наши мишени для распыления из MoTa до плотности более 99,5 %. Преимущества для вас: чрезвычайно высокая электропроводность слоя и быстрое распыление благодаря высокой скорости оседания.

Высокая чистота.

Металлические и газовые примеси в мишени для распыления практически 1:1 воспроизводятся в напыленном функциональном слое и приводят к образованию частиц в процессе нанесения покрытия методом PVD. Мы гарантируем вам, что чистота наших мишеней из MoTa составляет не менее 99,97%.

Непревзойденная коррозионная стойкость.

Мы добавляем в чистый молибден небольшое количество элемента, обладающего необычайной коррозионной стойкостью, – тантала. Так мы комбинируем полезные свойства обоих металлов. Коррозионная стойкость MoTa подтверждена многочисленными испытаниями.

Вытравленные тонкие пленки (толщина: 300 нм) из молибдена и MoTa после испытаний при температуре 60 °C и относительной влажности 90 % после различного времени воздействия:

Молибден-тантал
Молибден
Продолжительность воздействия: 0 ч
Молибден-тантал
Молибден
Продолжительность воздействия: 50 ч
Молибден-тантал
Молибден
Продолжительность воздействия: 100 ч
Молибден-тантал
MoTa
Продолжительность воздействия: 0 ч
Молибден-тантал
MoTa
Продолжительность воздействия: 50 ч
Молибден-тантал
MoTa
Продолжительность воздействия: 100 ч

Надежные результаты травления.

MoTa особенно быстро и просто структурируется. Угол скоса у MoTa составляет 45°. В продуктах конкурентов при таком же уровне коррозионной стойкости угол скоса слишком большой и составляет 90°. Наносимые на них функциональные слои не способны оптимальным образом покрывать эти крутые углы. Это может приводить к трещинам и коротким замыканиям.

Безупречное качество от одного поставщика.

Мы являемся единственным производителем мишеней для распыления, который выполняет все работы на всех этапах производства на собственном предприятии. От сырья до готовой продукции, включая разработку новых материалов и оптимизацию наших методов нанесения покрытий и самих покрытий.

Оксид
Восстановление
Смешивание
Изготовление сплавов
Мы спрессовываем наши металлические порошки и смеси порошков под давлением до 2 т/см² (тонн на квадратный сантиметр) и получаем в ре
Прессование
Спекание
Формовка
Термическая
обработка
Механическая
обработка/
экранирование
Качество
гарантия
Переработка отходов

Спекание - это ключевой этап нашего технологического процесса порошковой металлургии. Это метод, который мы используем для производства плотных металлических изделий из пористых порошковых заготовок. На самом большом в мире стане горячей прокатки для тугоплавких металлов мы производим плоские мишени максимальной плотности. Для производства наших вращающихся мишеней мы используем специальные формовочные процессы.

Вам нужно идеальное покрытие? Мы создадим его.

В процессе нанесения покрытия методом физического осаждения из паровой фазы (PVD) все должно быть идеально согласовано. Только оптимальное сочетание всех параметров процесса позволяет создавать покрытия, точно соответствующие вашим требованиям. В нашей лаборатории прикладных исследований по PVD мы выполняем распыление в условиях, приближенных к реальным. Здесь наша команда исследователей создает новые покрытия и анализирует их исходя из ваших спецификаций. Сотрудничество с вами и целым рядом исследовательских институтов позволяет нам максимально сокращать сроки от начала разработки материала покрытия до его внедрения на рынок.

Лучшее доказательство нашей компетенции — мы сами! Мы самостоятельно покрываем многие наши продукты, например полупроводниковые подложки и рентгеновские мишени используя покрытия PVD, CVD, APS и VPS.

Лаборатория PVD
В нашей лаборатории прикладных исследований по PVD мы выполняем распыление в условиях, приближенных к реальным. Здесь наша команда разработчиков создает покрытия и проводит глубокий анализ, основанный на ваших предпочтениях.
Ваше контактное лицо
Ваш контакт:
Paul Rudnik
Звоните нам:
+ 1 508 446-1405
или отправьте email:
paul.rudnik@plansee.com
Paul Rudnik