Мишени из оксида молибдена для функциональных слоев с высокой абсорбцией.
Благодаря низкому оптическому отражению, покрытия из оксида молибдена широко применяются в экранах: разделение пикселей, покрытие проводников, предотвращение нежелательного отражения света. Мы поставляем разные химические составы МоОх в виде плоских мишеней для нанесения таких слоев.
Мы добавляем в оксид молибдена легирующие металлы для влияния на процесс травления слоев.
| Обзор самых важных характеристик | |
|---|---|
| Плотность [%] | ≥ 95 |
| Чистота [%] | > 99,9 |
| Коэффициент теплового расширения [ppm/K] | 5 |
| Теплопроводность [Вт/(м·K)] | 4–6 |
| Электропроводность [См/см] | 120–1100 |
Зоны применения оксида молибдена в экранах:
Дисплеи с узкой рамкой: покрытие проводников
Современные дисплеи и телевизоры имеют пластиковую рамку по периметру. Это улучшает их внешний вид и позволяет объединять несколько экранов. Без этой рамки становятся видны проводники из меди, алюминия или молибдена на стекле. Эту проблему можно решить дополнительным антиотражающим слоем МоОх. Он отражает менее 6 % света (при длине волны 550 нм) и делает проводники невидимыми.
OLED: 2 в 1 — антиотражающий слой и электрод!
Если свет падает на OLED-дисплей, молибденовые слои TFT (электроды затвор, сток, исток) отражают его, и это уменьшает контрастность дисплея. Поляризационные фильтры уменьшают этот эффект, но в то же время снижают яркость дисплея. МоОх хорошо поглощает свет и обладает электропроводностью, поэтому он является идеальным материалом для металлизации дисплеев.
Металлический молибден отражает 60 % света, что гораздо больше, чем 6 % у слоя из МоОх такой же толщины. Применяя МоОх, производители OLED-дисплеев могут отказаться от поляризованных слоев.
Антиотражающее покрытие в сенсорных экранах
Тонкопленочный слой оксида молибдена убирает нежелательные отражения металлических сенсоров в тачскринах.
Прозрачные пленки из оксида молибдена для технологий, использующихся в производстве OLED-дисплеев и солнечных фотоэлементов.
Существуют и другие сферы применения прозрачных пленок оксида молибдена. Добавление кислорода в ходе нанесения пленок позволяет регулировать содержание кислорода в пленках до стехиометрического количества для MoO3. Эти пленки демонстрируют особые электронные свойства (прежде всего, высокую функцию работы выхода электрона). Это означает, что прозрачные пленки MoOx могут использоваться как «инжекционные дырочные слои» (HIL) в технологии OLED. Для органических солнечных элементов дополнительные MoO3 слои также являются преимуществом.
Более подробную информацию см. в статье Thin-film metal oxides in organic semiconductor devices: their electronic structures, work functions and interfaces (Тонкопленочные оксиды металлов в органических полупроводниковых устройствах: электронная структура, рабочие функции и интерфейсы) в журнале Nature Research.
Принципиальная схема структуры RBG-пикселей OLED дисплея.
Некоторое время назад прозрачные MoOx пленки также были описаны в высокоэффективных гетеропереходных кремниевых солнечных элементах. Ученые из EPFL Institute в Лозанне уже опубликовали первые результаты своих исследований. См. публикацию: Silicon-based heterojunction solar cells (Гетеропереходные кремниевые солнечные элементы).
Наши эксперты по покрытиям будут рады дать вам совет.
Мы тестируем покрытия из оксида молибдена в нашей лаборатории и будем рады подобрать для вас различные составы, толщину покрытия и параметры процесса.
