La technologie de faisceau d’ions n’est pas une nouveauté chez Plansee. Depuis 30 ans déjà, Plansee propose des grilles de faisceau d’ions et des composants aux fabricants dans le domaine des couches optiques, des MEMS, des filtres RF, des masques EUV et des disques durs. Ainsi, les experts de Plansee disposent de compétences et de technologies étendues pour développer, fabriquer et optimiser des grilles adaptées aux clients. De même que sur la possibilité d’assembler des grilles de faisceau d’ions prêtes à être montées selon les normes de qualité les plus élevées. Pour ce faire, Plansee a investi il y a quelques années déjà dans une salle blanche interne conforme à la norme ISO6.
Mais outre la fabrication et le montage de produits neufs, la remise à neuf de grilles usagées est également une compétence que Plansee propose désormais davantage à ses clients en tant que service. « Dans de nombreux secteurs industriels, dont la technologie de faisceau d'ions, le reconditionnement joue un rôle croissant. Et pas seulement pour des raisons de rentabilité. Les aspects de la durabilité, et l’utilisation économe de ressources précieuses qui en découle, gagnent également en importance. Nous sommes heureux de pouvoir y contribuer de manière significative », déclare Carmen Müller, Manager Application Group Front End Semiconductor chez Plansee HPM.
Actuellement, les grilles de faisceau d’ions résistent à une durée de fonctionnement d’environ 240 heures, selon le procédé de production. L’encrassement et l'usure pendant le processus de rayonnement rendent les grilles inutilisables. Le remplacement est donc indispensable pour garantir une qualité de fabrication constante. Comme les producteurs ne disposent généralement pas des capacités ni des technologies nécessaires pour le nettoyage, les grilles sont généralement jetées et remplacées par de nouveaux produits. Grâce au service professionnel de remise à neuf de Plansee, il est désormais possible d’augmenter considérablement la durée de fonctionnement des grilles de faisceau d'ions - d’environ 30 à 50 % selon le processus. Chez Plansee, le traitement s’effectue en une douzaine d’étapes selon des directives et des paramètres clairement définis : après une première analyse des grilles, chacun de leurs composants est nettoyé en plusieurs étapes, remesuré pour l’assurance qualité, puis assemblé et emballé en salle blanche. Cela permet de garantir que les clients reçoivent leurs grilles en retour, après un court délai de traitement, dans le meilleur état possible, prêtes à être installées.
