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Implantation ionique

Composants et pièces de rechange pour l'implantation ionique

L'implantation ionique est un processus important dans la fabrication des semi-conducteurs. Les systèmes d'implantation dopent les plaquettes avec des atomes externes pour modifier les propriétés du matériau, comme la conductivité ou la structure cristalline. Le trajet du faisceau est le centre d'un système d'implantation. Les ions y sont générés, concentrés, accélérés massivement et dirigés sur la plaquette à très grande vitesse.

Nos composants et pièces de rechange en métaux réfractaires garantissent que ce processus soit aussi efficace, précis et exempt de toute contamination que possible.

Vos bénéfices en bref :

  • Plus de 30 ans d'expérience dans l'industrie des semi-conducteurs

  • Production adaptée exactement aux normes du fabricant

  • Une qualité de produit optimale

Propriétés idéales du produit

Des températures allant jusqu'à 1 400 °C, des champs électromagnétiques puissants, des gaz de traitement agressifs et des forces mécaniques importantes posent des problèmes aux matériaux conventionnels. Ce n'est pas le cas de nos produits. Nos composants résistants à la chaleur en molybdène, tungstène, graphite ou céramique convainquent par une combinaison idéale de résistance à la corrosion, de solidité du matériau, de bonne conductivité thermique et de pureté absolue. 100 composants Plansee ou plus sont utilisés par trajet de faisceau. Ils garantissent que les ions soient générés efficacement et dirigés vers la plaquette de silicium dans la trajectoire du faisceau avec précision et sans impuretés.

Ligne de faisceaux

Avec une précision d'un millième de millimètre et plus de 30 ans d'expérience dans l'industrie des semi-conducteurs, nous produisons exactement selon la norme du fabricant ou développons davantage les composants sur nos sites de production au Japon et aux États-Unis. Parce que les pièces de rechange Plansee sont de plus en plus souvent plus que de simples remplacements pour nos clients. Sur la base des pièces de rechange originales des fabricants d'équipements, nous optimisons les géométries et les compositions de matériaux. Ce que vous en retirez :

  • une installation et un retrait plus faciles des composants
  • une durée de vie prolongée
  • une réduction des coûts de nettoyage
  • une réduction des opérations de maintenance
  • une réduction des temps d'arrêt

Nous savons combien la reproductibilité de la qualité est importante pour votre processus. Et c'est pourquoi notre qualité est excellente. Encore et encore. Comment faisons-nous ? Nous produisons des matériaux haute performance depuis 1921, et de la poudre métallique au produit fini, nous contrôlons nous-mêmes l'ensemble du processus de production. Seules les pièces implantables qui passent par nos contrôles de qualité stricts quittent nos locaux.

Nos produits

  • Chambres (graphite, tungstène, molybdène et alliages)
  • Bobines (tungstène et alliages de tungstène)
  • Lentilles (graphite, tungstène, molybdène et alliages)
  • Supports (tungstène, molybdène et alliages)
  • Cathodes (tungstène, molybdène et alliages)
  • Terminal (graphite)
  • Pièces de l'analyseur (graphite)
  • Isolants (céramiques)
  • Pièces de rechange (graphite, tungstène, molybdène et alliages, céramiques, acier)
Implanteur ionique
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Spécialiste des pièces de rechange pour plus de 100 installations

Qu'il s'agisse d'un ancien modèle ou de la dernière génération, d'un courant moyen ou élevé : nous les connaissons tous et avons bien sûr les pièces de rechange qu'il vous faut dans notre gamme. Voulez-vous également mieux exploiter votre implanteur ionique ? Contactez-nous. Nous nous ferons également un plaisir de vous aider si vous ne trouvez pas votre système dans la liste.

AIBT : istar

Applied Materials: 9000, 9200, 9200xR, 9500, 9500xR, Quantum, Quantum I, Quantum II, Quantum III, Quantum X, Quantum X+, Quantum xR, xR, xR/Leap, xR120, xR200, xR80

Varian Semiconductor Equipment (now Applied Materials): VIISta Trident, PLAD, VIISta HCS, VIISta HCP +/I, VIISta 80, E1000, VIISion 200, VIISion 200+, VIISion 80+, VIISta HC, 120-10, 120XP, 160XP, 180XP, 80XP, VIISta 3000, Genus, Kestrel, VIISta 810 XE/XER, VIISta 900 XPT, VIISion, E220, E500, VIISta 810, VIISta 810 XE, VIISta 900, VIISta 900XP, 300D, 300XP, 350D

Axcelis : GSD HC (200/200E/200E2), HC3, Ultra, Eterna, GSD 100, GSD 160A, GSD 200E, GSD 200E^2, GSD HC, GSD HC3, GSD III, GSD III LE, GSD LED, NV GSD, NV 10-160, NV 10-180, NV 10-80, Optima HD, ULE, Ultra, GSD HE, GSD VHE, GSD HE, GSD HE3, GSD VHE, Optima XE, Paradigm XE, NV 3206/3204, NV 6200, NV 8200, NV 8250, Optima MD

Nissin: NH80, PR80, Exceed 3000, CLARIS, EXCEED2000A/2000AH, EXCEED2300AV, EXCEED3000AH, EXCEED9600A, NH20, NH45

SEN: NV-GSD-160A, NV-GSD-80A, NV-GSDIII, NV-GSDIII-180, SD, NV-GSDIII-90E, NV-GSDIII-LE, NV-GSDIII-LE, V-GSD-HC, LEX, LEX3, SHX, NV-GSD-HE, NV-GSD-HE3, MC3MC3-II, NV-MC3

Ulvac: IH-860, IDZ-7000, IDZ-8001, IDZ-9001, IM-200, IW-630

Consultez notre catalogue de produits en ligne. Vous y trouverez un grand nombre de nos pièces de rechange pour implanteur en qualité OEM, mais aussi des composants de conception Plansee pour une durée de service prolongée et une manipulation plus facile. Pour les clients existants, notre catalogue de produits propose des fonctionnalités supplémentaires : Retrouvez vos commandes, l'état des livraisons et les factures.

Contactez-nous à ionimplantation(at)plansee.com pour recevoir votre identifiant personnel.

Voir le catalogue de produits pour les pièces d'implants ioniques

Économisez des coûts avec Plansee

Partout où nous voyons un potentiel d'amélioration des normes et d'économie de temps et d'argent pour le client, nous proposons des solutions standard avancées. Sur la base des pièces de rechange originales des fabricants d'équipements, nous optimisons les géométries et les compositions de matériaux. Vous voulez nous tester ? Avec plaisir. Vous pouvez essayer des pièces de rechange améliorées à un prix très raisonnable. Pour que vous soyez vraiment sûr.

Plaque MRS selon la norme OEM

Dans le processus IIP, la vanne MRS filtre les ions qui n'ont pas la charge ou la masse correcte. Seuls les ions qui passent par la fente de dissolution de masse sont guidés plus loin vers la plaquette. La vanne MRS est soumise à l'abrasion due à l'impact du faisceau d'ions. Un angle sur la facette latérale minimise cette abrasion. Mais, lors du processus IIP, il se produit également des réactions chimiques et une usure, qui sont d'autant plus importantes que les angles des surfaces concernées sont aigus. En guise de compromis, des angles de 92° sont appliqués à la pièce standard OEM.

Conception améliorée pour une durée de vie prolongée

Mais nous ne satisfaisons pas de compromis et avons encore amélioré la pièce d'origine : nous faisons en sorte que la zone que le faisceau d'ions atteint avec une force particulièrement forte forme un angle presque droit. Les zones de bordure, quant à elles, sont principalement affectées par les réactions chimiques et thermiques et sont produites avec des angles plats.

Tous les matériaux ne sont pas équivalents

Pour garantir un produit parfait à nos clients, nous n'utilisons naturellement pas un simple matériau. Le graphite conventionnel présente un très gros grains et peut entraîner la formation de particules lourdes lors du processus. En particulier pour les fabricants de composants électriques aux structures particulièrement petites, ces impuretés peuvent entraîner des problèmes majeurs. Nous proposons à nos clients un graphite particulièrement dur et résistant. Il est nettement moins sensible à l'abrasion et réduit ainsi la formation de particules lors du processus. Et les améliorations apportées par Plansee sont rentables pour nos clients. Les vannes MRS standard avancées durent jusqu'à trois fois plus longtemps que les modèles OEM courants.

Vous êtes intéressé ? Nous sommes là !

Toute idée n'est bonne que si elle est mise en œuvre. Faites-nous part de votre défi. Nos spécialistes de l'IIP sont à votre service dans le monde entier. Nous devons nous rendre directement sur site ? Pas de problème. Nous serons là en 48 heures. C'est garanti !