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蒸着ボートのラインナップ

蒸着ボート

弊社では、  タングステン、モリブデン、モリブデン-ランタン (ML)、 モリブデン-酸化イットリウム (MY)、 タンタル などを使用した抵抗加熱用の蒸着ボートを製造しています。電流を流すと、ボートが材料を加熱して蒸発させます。金属の蒸気圧が低いため、タングステンやタンタル、モリブデンの粒子が蒸気や最終層に入り込むことはありません。

一目でわかるメリット:

  • 素晴らしい
    腐食耐性

  • 低い蒸気圧

  • 良好な電気伝導性

  • 非常に高い融点

  • 寸法的に安定している

真空蒸着プロセス

蒸着ボート

 熱真空蒸着法 (蒸発抵抗)は、 PVD (物理的気相法)プロセスのひとつで、コーティング法のひとつです。最終層の材料は、真空チャンバー内で蒸発するまで 加熱されます。

真空蒸着プロセスでは、アルミニウム、銀、クロム、窒化チタン、シリカなどから耐久性のある層を生成します。その結果、輝く時計、完璧な鏡、高品質の電子部品などが生まれます。また、長い耐用年数と高い寸法精度も魅力です。

弊社の標準製品群

モリブデン、タングステン、タンタル製の蒸着ボートを用途に合わせて製作します。

タングステン蒸着ボート
タングステンは、多くの溶融金属に比べて耐食性が高く、また、金属の中で最も融点が高いため、熱にも非常に強いです。珪酸カリウムなどの特殊なドーパントを使用することで、さらに耐腐食性と寸法安定性を高めています。

モリブデン蒸着ボート
モリブデンは特に安定した金属で、高温にも適しています。酸化ランタン(ML)を添加したモリブデンは、さらに延性と耐腐食性に優れています。モリブデンの機械的加工性を向上させるために、酸化イットリウム(MY)を添加しています。

タンタルの蒸着ボート
タンタルは蒸気圧が非常に低く、蒸発速度も小さいです。しかし、この素材の最大の特徴は、その高い耐腐食性にあります。

ストレートタイプ - 蒸着ボート

 

 

 

ストレートタイプ - ストレートボート

ステップタイプの蒸着ボート

 

 

 

ステップタイプ - クランプ部とアッパー部の間に段差のあるボート

ノンスプラッシュタイプの蒸着ボート

 

 

 

ノンスプラッシュタイプ - 羽根やカバーでスプラッシュを最小限に抑えたボート

  • お客様のコーティング材料に適したボートをお選びください。

    お客様のコーティング材に適したボート

    お客様の材料に適したボートの概要は以下の通りです。プラスが1つのボートは、その材料に適しています。プラスが2つあるボートは、その材料に非常に適しています。お客様の材料選びのお手伝いをさせていただきます。

    コーティング材 密度
    [g/cm³]
    融点
    [°C]
    沸点
    [°C]
    ボート
    W Mo Ta
    Al 2.7 660 2467 +    
    AIF3 2.9 1291 N/A   ++ ++
    1 - 4% Cu 2.7 650 N/A +    
    AI/0.1 - 2% Si 2.7 640 N/A +    
    AI/4% Cu/1% Si 2.7 640 N/A +    
    Ag 10.5 961 2212   ++ ++
    As2S3 3.4 300 707   ++  
    Au 19.3 1063 2966 ++ +  
    B2O3 2.5 460 2247   ++  
    BaF2 4.9 1280 2260 ++ ++ ++
    BaTiO3 6.0 1600 N/A +   +
    BeO 3.0 2530 4120 +    
    Bi 9.8 271 1560 ++ ++ ++
    BiF3 5.3 727 900   ++ ++
    Bi2O3 8.9 820 1890 + +  
    CaF2 3.2 1360 2500 ++ ++ ++
    CaO 3.3 2580 2850     +
    Cd 8.6 321 765 ++ ++ ++
    CdSe 5.8 1350 N/A   ++ ++
    CdS 4.8 1750 1405 ++ ++ ++
    CdTe 6.2 1042 N/A   ++ ++
    CeO2 7.1 2150 N/A ++    
    CeF3 6.2 1460 1987   ++ ++
    Co 8.9 1495 2900 + ++  
    Cr 7.2 1875 2482 ++    
    Cr2C3 6.7 1850 3800 +    
    Cr2C3 5.2 2345 4000 +    
    Cu 8.9 1083 2595 ++    
    Cu2O 6.0 1235 1800     +
    DyF3 7.5 1155 1900     ++
    ErF3 7.8 1144 1920     ++
    Er2O3 8.6 2400 N/A +    
    EuF3 6.7 1280 2270     +
    Eu2O3 7.4 2100 N/A +    
    Fe 7.9 1536 3070 +    
    Fe2O3 5.3 1594 N/A +    
    Ga 5.9 30 2403 +    
    GaAs 5.3 1238 N/A ++    
    GaP 4.1 1350 N/A ++ ++ ++
    Ge 5.4 937 2830 +    
    GeO2 4.2 1115 N/A ++ ++ ++
    HfF2 7.1 1000 N/A     ++
    HoF3 7.6 1143 1895     ++
    In 7.3 156 2000 ++ ++  
    In/10Sn 7.3 146 1000 +    
    In2O3 7.2 2200 N/A +   +
    LaF3 6.0 1495 2400   ++ ++
    La2O3 6.5 2260 4200 +   +
    LiF 2.6 842 1676   ++ ++
    LuF3 8.3 1182 2200 ++   ++
    Lu2O3 9.4 2400 N/A + ++  
    Mg 1.7 650 1107 ++ ++ ++
    MgF2 3.1 1266 2239     ++
    MgO 3.6 2640 3600 +    
    Mn 7.4 1245 2097 + ++ ++
    MnS 4.0 1615 N/A + +  
    MoO3 4.7 795 1155   ++  
    MoS2 4.8 1185 N/A   ++  
    Na3AIF6 2.9 1000 N/A   ++ ++
    Na5AI3F14 3.0 1027 N/A   ++ ++
    NaF 2.6 988 1695 ++ ++ ++
    NdF3 6.5 1377 2400   ++ ++
    Nd2O3 7.2 2240 N/A +    
    Ni 8.9 1453 2732 +    
    Ni/Cr 7.5 / 8.5 1500 N/A +    
    Nb 8.6 2468 4927 +    
    Nb2O5 4.5 1512 N/A +    
    Pd 12.0 1552 2927 +    
    Pt 21.5 1769 3827 +    
    PrF3 6.3 1399 2255   ++ ++
    Pr2O3 7.1 2270 N/A +    
    Rb 1.5 39 688   +  
    SmF2 6.6 1306 2323     ++
    Sm2O3 7.1 2325 N/A +    
    ScF3 2.6 1530 1800     ++
    Sc2O3 3.9 2400 N/A +    
    Se 4.8 217 685 + + +
    Si 2.3 1410 2355 +    
    SiO 2.1 1705 1880   ++ ++
    Sn 7.3 232 2260 ++   ++
    SnO2 6.9 1127 1850   + +
    SrF2 4.2 1450 2489   ++ ++
    Ta2O5 8.3 1880 N/A +    
    Te 6.2 450 1390 ++ ++ ++
    TbF3 7.2 1172 2280     +
    Tb2O3 7.9 2300 N/A +   +
    ThF4 6.3 1100 1680   ++ ++
    Ti 4.5 1668 3260 +    
    TiO2 4.2 1775 2700 +    
    TiO 4.9 1750 3000 ++    
    Ti2O3 4.6 1760 N/A ++    
    V 6.1 1900 3410 + +  
    WO3 7.2 1473 N/A ++    
    Y 4.5 1509 2927 ++    
    YF3 5.1 1155 2210     ++
    YbF3 8.2 1157 2136   ++ ++
    Yb2O3 9.2 2346 N/A +    
    Zn 7.1 420 907 ++ ++ ++
    ZnSe 5.4 1526 N/A ++ ++ ++
    ZnS 4.1 1850 1665   ++ ++
    ZnTe 5.5 1238 N/A   ++ ++
    Zr 6.5 1852 3578 +    
    ZrF4 4.4 600 908     ++
    ZrO2 5.6 2700 4300 +    
    ZrO 6.4 2200 N/A ++    

正確な寸法はプランゼーオンラインショップでご確認いただけます。

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蒸発速度と蒸気圧

プランゼーの蒸着ボート用素材は、コーティング素材と比べて、蒸発温度での蒸発速度が非常に遅く、蒸気圧も非常に低いです。これは、長い蒸発サイクルの場合でも、ボート材料が層に入らないことを意味します。

比電気抵抗

比電気抵抗は、蒸着ボートの設計において重要な変数です。

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蒸着ボートの品番

タングステン、モリブデン、タンタルの蒸着ボートの詳細は、商品番号から知ることができます。これは以下のように構成されています。

蒸着ボートの品番

  

お客様のコーティングプロセスのためのその他のコンポーネント

電子ビーム蒸着用るつぼインサート

電子ビーム蒸着用にモリブデン、タングステン、タンタル製のルツボインサートを用意しています。銅や黒鉛のるつぼとは異なり、蒸発材料を汚染しません。お客様のコーティングプロセスに合わせて、弊社のるつぼの形状と材料組成を最適化させていただきます。

弊社のタングステンおよびモリブデンのフィラメントは、電子抵抗の蒸発に使用されます。