MOCVD 시스템이 가열 요소는 2000°C로 가열됩니다. 온도가 이렇게 높기 때문에 당사의 고성능 몰리브덴과 텅스텐 소재는 다양한 차폐막, 가스 콜렉터, 가열 요소에 꼭 필요합니다. Plansee는 MOCVD용으로 50여 가지의 서로 다른 요소를 공급합니다. 당사는 MOCVD 시스템용 OEM 업체로 잘 알려져 있으며 예비 부품 시장에서도 활동합니다. 또한 개선된 기술 설계와 특허받은 코팅으로 고객들께 대체할 수 없는 업체가 되기도 합니다.
균일한 온도 분포를 위한 고객별 설계
LED의 반도체 레이어는 적절히 동일한 파장으로 빛을 전달할 수 있어야 합니다. 그러려면 MOCVD 시스템에서 온도 분포가 균일해야 한다는 것이 중요한 전제조건입니다. 온도 프로파일의 편차가 있으면 나중에 방출되는 빛의 색상이 달라지기 때문입니다. 당사의 엔지니어들은 유한요소법(FEM)과 함께 정교한 계산을 이용하여 개별 시스템의 MOCVD 공정을 시뮬레이션하여 가열 요소의 설계를 개선합니다. 새로운 구성요소는 리액터 챔버의 온도를 더욱 균등하게 해줍니다. 고객은 코팅 사이클당 더 높은 이윤을 얻어 더 높은 생산성을 확보할 수 있습니다.
당사는 고객과 협업하여 가열 요소에 대한 맞춤 설계와 MOCVD 리액터를 위한 다른 요소들을 개발합니다.