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蒸发舟产品范围

蒸发舟

我们生产钨、钼、钼镧 (ML)、氧化钼钇 (MY) 或钽制蒸发舟,用于电阻蒸镀工艺。通电之后,我们的蒸发舟会加热材料至蒸发。我们的金属蒸气压低,可确保不会有钨、钽或钼颗粒进入蒸气并渗透至最终涂层。

优势一览:

  • 优异的
    耐腐蚀性

  • 蒸气压低

  • 良好的电导率

  • 超高熔点

  • 尺寸稳定

真空蒸发工艺

蒸发舟

真空热蒸发(电阻蒸镀)工艺是一种涂层方法,也是物理气相沉积 (PVD) 工艺的一种。最终涂层的材料在真空室内加热直至蒸发。

在真空蒸发过程中形成耐磨层,例如铝、银、铬、氮化钛或二氧化硅等耐磨层。闪亮的手表、无瑕的镜子和优质的电子部件便由此产生。我们的产品能够确保长期使用寿命及高水准的尺寸精度。

我们的标准产品范围

我们为您的应用生产由钼、钨和钽制成的蒸发舟:

钨蒸发舟
与许多熔融金属相比,钨具有很高的耐腐蚀性,并且在所有金属中,钨的熔点最高,耐热性极强。我们还通过特殊掺杂剂(如硅酸钾),进一步加强该材料的耐腐蚀性和尺寸稳定性。

钼蒸发舟
钼是一种特别稳定的金属,适用于高温环境。掺杂氧化镧(钼镧)以后,钼的延展性和耐腐蚀性进一步增强。我们还添加氧化钇(钼钇),使钼更容易加工

钽蒸发舟
钽的蒸气压非常低,蒸发速度较慢。但这种材料最大的优势是其耐腐蚀性高。

平直型蒸发舟

 

 

 

平直型 – 平直舟

阶梯型蒸发舟

 

 

 

阶梯型 – 蒸发舟在夹紧部分和上部之间呈阶梯状

防溅型蒸发舟

 

 

 

防溅型 – 蒸发舟配有翼挡或盖子以尽可能减少飞溅

  • 在此为您的涂层材料选择合适的蒸发舟

    适合您的涂层材料的蒸发舟

    以下为适合您材料的蒸发舟概览。带一个加号的蒸发舟表示适合该材料。带两个加号的蒸发舟表示高度推荐。我们很乐意帮助您选择材料。

    涂层材料 密度
    [g/cm³]
    熔点
    [°C]
    沸点
    [°C]
    蒸发舟
    W Mo Ta
    Al 2.7 660 2467 +    
    AIF3 2.9 1291 N/A   ++ ++
    AI/1 - 4% Cu 2.7 650 N/A +    
    AI/0.1 - 2% Si 2.7 640 N/A +    
    AI/4% Cu/1% Si 2.7 640 N/A +    
    Ag 10.5 961 2212   ++ ++
    As2S3 3.4 300 707   ++  
    Au 19.3 1063 2966 ++ +  
    B2O3 2.5 460 2247   ++  
    BaF2 4.9 1280 2260 ++ ++ ++
    BaTiO3 6.0 1600 N/A +   +
    BeO 3.0 2530 4120 +    
    Bi 9.8 271 1560 ++ ++ ++
    BiF3 5.3 727 900   ++ ++
    Bi2O3 8.9 820 1890 + +  
    CaF2 3.2 1360 2500 ++ ++ ++
    CaO 3.3 2580 2850     +
    Cd 8.6 321 765 ++ ++ ++
    CdSe 5.8 1350 N/A   ++ ++
    CdS 4.8 1750 1405 ++ ++ ++
    CdTe 6.2 1042 N/A   ++ ++
    CeO2 7.1 2150 N/A ++    
    CeF3 6.2 1460 1987   ++ ++
    Co 8.9 1495 2900 + ++  
    Cr 7.2 1875 2482 ++    
    Cr2C3 6.7 1850 3800 +    
    Cr2C3 5.2 2345 4000 +    
    Cu 8.9 1083 2595 ++    
    Cu2O 6.0 1235 1800     +
    DyF3 7.5 1155 1900     ++
    ErF3 7.8 1144 1920     ++
    Er2O3 8.6 2400 N/A +    
    EuF3 6.7 1280 2270     +
    Eu2O3 7.4 2100 N/A +    
    Fe 7.9 1536 3070 +    
    Fe2O3 5.3 1594 N/A +    
    Ga 5.9 30 2403 +    
    GaAs 5.3 1238 N/A ++    
    GaP 4.1 1350 N/A ++ ++ ++
    Ge 5.4 937 2830 +    
    GeO2 4.2 1115 N/A ++ ++ ++
    HfF2 7.1 1000 N/A     ++
    HoF3 7.6 1143 1895     ++
    In 7.3 156 2000 ++ ++  
    In/10Sn 7.3 146 1000 +    
    In2O3 7.2 2200 N/A +   +
    LaF3 6.0 1495 2400   ++ ++
    La2O3 6.5 2260 4200 +   +
    LiF 2.6 842 1676   ++ ++
    LuF3 8.3 1182 2200 ++   ++
    Lu2O3 9.4 2400 N/A + ++  
    Mg 1.7 650 1107 ++ ++ ++
    MgF2 3.1 1266 2239     ++
    MgO 3.6 2640 3600 +    
    Mn 7.4 1245 2097 + ++ ++
    MnS 4.0 1615 N/A + +  
    MoO3 4.7 795 1155   ++  
    MoS2 4.8 1185 N/A   ++  
    Na3AIF6 2.9 1000 N/A   ++ ++
    Na5AI3F14 3.0 1027 N/A   ++ ++
    NaF 2.6 988 1695 ++ ++ ++
    NdF3 6.5 1377 2400   ++ ++
    Nd2O3 7.2 2240 N/A +    
    Ni 8.9 1453 2732 +    
    Ni/Cr 7.5 - 8.5 1500 N/A +    
    Nb 8.6 2468 4927 +    
    Nb2O5 4.5 1512 N/A +    
    Pd 12.0 1552 2927 +    
    Pt 21.5 1769 3827 +    
    PrF3 6.3 1399 2255   ++ ++
    Pr2O3 7.1 2270 N/A +    
    Rb 1.5 39 688   +  
    SmF2 6.6 1306 2323     ++
    Sm2O3 7.1 2325 N/A +    
    ScF3 2.6 1530 1800     ++
    Sc2O3 3.9 2400 N/A +    
    Se 4.8 217 685 + + +
    Si 2.3 1410 2355 +    
    SiO 2.1 1705 1880   ++ ++
    Sn 7.3 232 2260 ++   ++
    SnO2 6.9 1127 1850   + +
    SrF2 4.2 1450 2489   ++ ++
    Ta2O5 8.3 1880 N/A +    
    Te 6.2 450 1390 ++ ++ ++
    TbF3 7.2 1172 2280     +
    Tb2O3 7.9 2300 N/A +   +
    ThF4 6.3 1100 1680   ++ ++
    Ti 4.5 1668 3260 +    
    TiO2 4.2 1775 2700 +    
    TiO 4.9 1750 3000 ++    
    Ti2O3 4.6 1760 N/A ++    
    V 6.1 1900 3410 + +  
    WO3 7.2 1473 N/A ++    
    Y 4.5 1509 2927 ++    
    YF3 5.1 1155 2210     ++
    YbF3 8.2 1157 2136   ++ ++
    Yb2O3 9.2 2346 N/A +    
    Zn 7.1 420 907 ++ ++ ++
    ZnSe 5.4 1526 N/A ++ ++ ++
    ZnS 4.1 1850 1665   ++ ++
    ZnTe 5.5 1238 N/A   ++ ++
    Zr 6.5 1852 3578 +    
    ZrF4 4.4 600 908     ++
    ZrO2 5.6 2700 4300 +    
    ZrO 6.4 2200 N/A ++    

我们的商店中提供了确切的尺寸:

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蒸发速度和蒸气压

我们的蒸发舟材料在蒸发温度下蒸发速度极慢,此外,与涂层材料本身相比,还具有蒸气压超低的特性。因此,即使在长时间的蒸发过程中,蒸发舟的自身材料也不会进入沉积层。

特定电阻

在蒸发舟的设计中,特定电阻是一个重要的变量。

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蒸发舟物料号

物料号中包含了有关我们的钨、钼和钽蒸发舟的更多详细信息。物料号的构成如下:

蒸发舟物料号

  

适用于您涂层工艺的其他部件

用于电子束蒸发的坩埚镶件

我们可提供用于电子束蒸发的钼、钨、钽制坩埚镶件。与铜和石墨坩埚不同,它们不会污染蒸发材料。我们很乐意根据您的涂层工艺需求,优化我们坩埚的形状与材料成分。

我们的钨和钼旋灯丝用于电阻蒸镀。