我们生产钨、钼、钼镧 (Ml)、氧化钼钇 (MY) 或钽制蒸发舟,用于电阻蒸镀工艺。通电之后,我们的蒸发舟会加热材料至蒸发。我们的金属蒸气压低,可确保不会有钨、钽或钼颗粒进入蒸气并渗透至最终涂层。
优异的
耐腐蚀性
蒸气压低
良好的电导率
超高熔点
尺寸稳定性高
真空热蒸发(电阻蒸镀)工艺是一种涂层方法,也是物理气相沉积 (PVD) 工艺的一种。最终涂层的材料在真空室内加热直至蒸发。
在真空蒸发过程中形成耐磨层,例如铝、银、铬、氮化钛或二氧化硅等耐磨层。闪亮的手表、无瑕的镜子和优质的电子部件便由此产生。我们的蒸发舟具有长期使用寿命及高水准的尺寸精度,值得信赖。
我们为您的应用生产由钼、钨和钽制成的蒸发舟:
钨蒸发舟
与许多熔融金属相比,钨具有很高的耐腐蚀性,并且在所有金属中,钨的熔点最高,耐热性极强。我们还通过特殊掺杂剂(如硅酸钾),进一步加强该材料的耐腐蚀性和尺寸稳定性。
钼蒸发舟
钼是一种特别稳定的金属,适用于高温环境。掺杂氧化镧(钼镧)以后,钼的延展性和耐腐蚀性进一步增强。我们还添加氧化钇(钼钇),使钼更容易加工
钽蒸发舟
钽的蒸气压非常低,蒸发速度较慢。但这种材料最大的优势是其耐腐蚀性高。
平直型 – 平直舟
阶梯型 – 蒸发舟在夹紧部分和上部之间呈阶梯状
防溅型 – 蒸发舟配有翼挡或盖子以尽可能减少飞溅
Eine Übersicht der passenden Schiffchen für Ihr Material finden Sie hier. Schiffchen mit einem Plus eignen sich für das Material. Schiffchen mit zwei Plus empfehlen wir Ihnen ganz besonders. Gerne helfen wir Ihnen auch persönlich bei der Materialauswahl.
Beschichtungsmaterial | Dichte [g/cm³] |
Schmelzpunkt [°C] |
Siedepunkt [°C] |
Schiffchen | ||
W | Mo | Ta | ||||
Al | 2.7 | 660 | 2467 | + | ||
AIF3 | 2.9 | 1291 | N/A | ++ | ++ | |
AI/1 – 4% Cu | 2.7 | 650 | N/A | + | ||
AI/0.1 – 2% Si | 2.7 | 640 | N/A | + | ||
AI/4% Cu/1% Si | 2.7 | 640 | N/A | + | ||
Ag | 10.5 | 961 | 2212 | ++ | ++ | |
As2S3 | 3.4 | 300 | 707 | ++ | ||
Au | 19.3 | 1063 | 2966 | ++ | + | |
B2O3 | 2.5 | 460 | 2247 | ++ | ||
BaF2 | 4.9 | 1280 | 2260 | ++ | ++ | ++ |
BaTiO3 | 6.0 | 1600 | N/A | + | + | |
BeO | 3.0 | 2530 | 4120 | + | ||
Bi | 9.8 | 271 | 1560 | ++ | ++ | ++ |
BiF3 | 5.3 | 727 | 900 | ++ | ++ | |
Bi2O3 | 8.9 | 820 | 1890 | + | + | |
CaF2 | 3.2 | 1360 | 2500 | ++ | ++ | ++ |
CaO | 3.3 | 2580 | 2850 | + | ||
Cd | 8.6 | 321 | 765 | ++ | ++ | ++ |
CdSe | 5.8 | 1350 | N/A | ++ | ++ | |
CdS | 4.8 | 1750 | 1405 | ++ | ++ | ++ |
CdTe | 6.2 | 1042 | N/A | ++ | ++ | |
CeO2 | 7.1 | 2150 | N/A | ++ | ||
CeF3 | 6.2 | 1460 | 1987 | ++ | ++ | |
Co | 8.9 | 1495 | 2900 | + | ++ | |
Cr | 7.2 | 1875 | 2482 | ++ | ||
Cr2C3 | 6.7 | 1850 | 3800 | + | ||
Cr2C3 | 5.2 | 2345 | 4000 | + | ||
Cu | 8.9 | 1083 | 2595 | ++ | ||
Cu2O | 6.0 | 1235 | 1800 | + | ||
DyF3 | 7.5 | 1155 | 1900 | ++ | ||
ErF3 | 7.8 | 1144 | 1920 | ++ | ||
Er2O3 | 8.6 | 2400 | N/A | + | ||
EuF3 | 6.7 | 1280 | 2270 | + | ||
Eu2O3 | 7.4 | 2100 | N/A | + | ||
Fe | 7.9 | 1536 | 3070 | + | ||
Fe2O3 | 5.3 | 1594 | N/A | + | ||
Ga | 5.9 | 30 | 2403 | + | ||
GaAs | 5.3 | 1238 | N/A | ++ | ||
GaP | 4.1 | 1350 | N/A | ++ | ++ | ++ |
Ge | 5.4 | 937 | 2830 | + | ||
GeO2 | 4.2 | 1115 | N/A | ++ | ++ | ++ |
HfF2 | 7.1 | 1000 | N/A | ++ | ||
HoF3 | 7.6 | 1143 | 1895 | ++ | ||
In | 7.3 | 156 | 2000 | ++ | ++ | |
In/10Sn | 7.3 | 146 | 1000 | + | ||
In2O3 | 7.2 | 2200 | N/A | + | + | |
LaF3 | 6.0 | 1495 | 2400 | ++ | ++ | |
La2O3 | 6.5 | 2260 | 4200 | + | + | |
LiF | 2.6 | 842 | 1676 | ++ | ++ | |
LuF3 | 8.3 | 1182 | 2200 | ++ | ++ | |
Lu2O3 | 9.4 | 2400 | N/A | + | ++ | |
Mg | 1.7 | 650 | 1107 | ++ | ++ | ++ |
MgF2 | 3.1 | 1266 | 2239 | ++ | ||
MgO | 3.6 | 2640 | 3600 | + | ||
Mn | 7.4 | 1245 | 2097 | + | ++ | ++ |
MnS | 4.0 | 1615 | N/A | + | + | |
MoO3 | 4.7 | 795 | 1155 | ++ | ||
MoS2 | 4.8 | 1185 | N/A | ++ | ||
Na3AIF6 | 2.9 | 1000 | N/A | ++ | ++ | |
Na5AI3F14 | 3.0 | 1027 | N/A | ++ | ++ | |
NaF | 2.6 | 988 | 1695 | ++ | ++ | ++ |
NdF3 | 6.5 | 1377 | 2400 | ++ | ++ | |
Nd2O3 | 7.2 | 2240 | N/A | + | ||
Ni | 8.9 | 1453 | 2732 | + | ||
Ni/Cr | 7.5-8.5 | 1500 | N/A | + | ||
Nb | 8.6 | 2468 | 4927 | + | ||
Nb2O5 | 4.5 | 1512 | N/A | + | ||
Pd | 12.0 | 1552 | 2927 | + | ||
Pt | 21.5 | 1769 | 3827 | + | ||
PrF3 | 6.3 | 1399 | 2255 | ++ | ++ | |
Pr2O3 | 7.1 | 2270 | N/A | + | ||
Rb | 1.5 | 39 | 688 | + | ||
SmF2 | 6.6 | 1306 | 2323 | ++ | ||
Sm2O3 | 7.1 | 2325 | N/A | + | ||
ScF3 | 2.6 | 1530 | 1800 | ++ | ||
Sc2O3 | 3.9 | 2400 | N/A | + | ||
Se | 4.8 | 217 | 685 | + | + | + |
Si | 2.3 | 1410 | 2355 | + | ||
SiO | 2.1 | 1705 | 1880 | ++ | ++ | |
Sn | 7.3 | 232 | 2260 | ++ | ++ | |
SnO2 | 6.9 | 1127 | 1850 | + | + | |
SrF2 | 4.2 | 1450 | 2489 | ++ | ++ | |
Ta2O5 | 8.3 | 1880 | N/A | + | ||
Te | 6.2 | 450 | 1390 | ++ | ++ | ++ |
TbF3 | 7.2 | 1172 | 2280 | + | ||
Tb2O3 | 7.9 | 2300 | N/A | + | + | |
ThF4 | 6.3 | 1100 | 1680 | ++ | ++ | |
Ti | 4.5 | 1668 | 3260 | + | ||
TiO2 | 4.2 | 1775 | 2700 | + | ||
TiO | 4.9 | 1750 | 3000 | ++ | ||
Ti2O3 | 4.6 | 1760 | N/A | ++ | ||
V | 6.1 | 1900 | 3410 | + | + | |
WO3 | 7.2 | 1473 | N/A | ++ | ||
Y | 4.5 | 1509 | 2927 | ++ | ||
YF3 | 5.1 | 1155 | 2210 | ++ | ||
YbF3 | 8.2 | 1157 | 2136 | ++ | ++ | |
Yb2O3 | 9.2 | 2346 | N/A | + | ||
Zn | 7.1 | 420 | 907 | ++ | ++ | ++ |
ZnSe | 5.4 | 1526 | N/A | ++ | ++ | ++ |
ZnS | 4.1 | 1850 | 1665 | ++ | ++ | |
ZnTe | 5.5 | 1238 | N/A | ++ | ++ | |
Zr | 6.5 | 1852 | 3578 | + | ||
ZrF4 | 4.4 | 600 | 908 | ++ | ||
ZrO2 | 5.6 | 2700 | 4300 | + | ||
ZrO | 6.4 | 2200 | N/A | ++ |
我们的商店中提供了确切的尺寸:
我们的蒸发舟材料在蒸发温度下蒸发速度极慢,此外,与涂层材料本身相比,还具有蒸气压超低的特性。因此,即使在长时间的蒸发过程中,蒸发舟的自身材料也不会进入沉积层。
在蒸发舟的设计中,特定电阻是一个重要的变量。
物料号中包含了有关我们的钨、钼和钽蒸发舟的更多详细信息。物料号的构成如下:
我们可提供用于电子束蒸发的钼、钨、钽制坩埚镶件。与铜和石墨坩埚不同,它们不会污染蒸发材料。我们很乐意根据您的涂层工艺需求,优化我们坩埚的形状与材料成分。
我们的钨和钼旋灯丝用于电阻蒸镀。