离子束技术对于 Plansee 来说已不是新领域。30 年来,Plansee 一直为光学层、MEMS、射频滤波器、EUV 掩模和硬盘驱动器领域的制造商提供离子束网格和组件。因此,对于客户指定网格的开发、制造和优化,Plansee 的专家拥有全面的专业知识和技术。他们还可以根据最高的质量标准组装可立即安装的离子束网格。为此,Plansee 在多年前就按照 ISO6 标准投资建立了自己的内部无尘室。
除新产品的制造和组装之外,旧网格的翻新也是 Plansee 作为高级服务向客户提供的一项重要技能。“在包括离子束市场在内的众多行业中,翻新扮演着越来越重要的角色。原因不仅仅在于其具有较高成本效益。其具有可持续性,并且能节约宝贵资源的使用等方面的优势也越来越重要。我们很高兴能在此领域作出如此关键的贡献。”Plansee HPM 应用组前端半导体部门经理 Carmen Müller 说道。
离子束网格目前的使用寿命约为 240 小时,具体取决于生产方法。由于辐照工艺中的污染和磨损,网格会变得无法使用。因此,为确保制造品质一致,制造商不得不更换网格。通常,网格会经过废弃处理并以新产品替换,因为制造商一般不具有清洁网格所需的能力和/或技术。使用 Plansee 的专业翻新服务,业内公司现在可以显著延长离子束网格的使用时间约 30%-50%,具体取决于工艺。在 Plansee,我们根据明确定义的指南和参数,使用约十二个工艺步骤进行处理:在对网格进行初步分析后,其各部件将在若干步骤中经过清洁,然后重新校准以确保质量,最后在无尘室中组装并包装。我们以此确保网格可在快速处理后以最佳状态返回给客户。