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21/02/2022

离子束技术:新服务确保成本效益和可持续性

Plansee 将扩大服务范围并向客户提供的离子束网格翻新选项。

在 Plansee 的无尘室中组装离子束网格

离子束技术对于 Plansee 来说已不是新领域。30 年来,Plansee 一直为光学层、MEMS、射频滤波器、EUV 掩模和硬盘驱动器领域的制造商提供离子束网格和组件。因此,对于客户指定网格的开发、制造和优化,Plansee 的专家拥有全面的专业知识和技术。他们还可以根据最高的质量标准组装可立即安装的离子束网格。为此,Plansee 在多年前就按照 ISO6 标准投资建立了自己的内部无尘室。

除新产品的制造和组装之外,旧网格的翻新也是 Plansee 作为高级服务向客户提供的一项重要技能。“在包括离子束市场在内的众多行业中,翻新扮演着越来越重要的角色。原因不仅仅在于其具有较高成本效益。其具有可持续性,并且能节约宝贵资源的使用等方面的优势也越来越重要。我们很高兴能在此领域作出如此关键的贡献。”Plansee HPM 应用组前端半导体部门经理 Carmen Müller 说道。  

离子束网格目前的使用寿命约为 240 小时,具体取决于生产方法。由于辐照工艺中的污染和磨损,网格会变得无法使用。因此,为确保制造品质一致,制造商不得不更换网格。通常,网格会经过废弃处理并以新产品替换,因为制造商一般不具有清洁网格所需的能力和/或技术。使用 Plansee 的专业翻新服务,业内公司现在可以显著延长离子束网格的使用时间约 30%-50%,具体取决于工艺。在 Plansee,我们根据明确定义的指南和参数,使用约十二个工艺步骤进行处理:在对网格进行初步分析后,其各部件将在若干步骤中经过清洁,然后重新校准以确保质量,最后在无尘室中组装并包装。我们以此确保网格可在快速处理后以最佳状态返回给客户。

罗伊特基地的 ISO6 标准无尘室

此服务适用于尺寸介于 80 到 470 mm 之间的各种类型的网格,包括线型网格、平面网格和弯曲网格。由于其材料特性,钼制网格非常坚固,特别适合翻新。Plansee 不仅在其奥地利总部提供此服务,还会在日本和美国的生产基地提供,从而确保为全球客户提供最快的加工速度。

我们很乐意为您提供有关翻新流程的任何建议和/或回答与之相关的任何问题:
  • 联系 Carmen Müller

    Carmen Müller

    Managerin Application Group Front End Semiconductor

    +43 5672 600-2944