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蒸着コイルの線材

タングステン、モリブデン、タンタル製の蒸発コイル

熱真空蒸着法 (蒸発抵抗)は、 PVD (物理的気相法)プロセスのひとつで、コーティング法のひとつです。最終層の材料は、真空チャンバー内で蒸発するまで 加熱されます。材料の蒸気は、目的の層のために基板上で 凝縮 します。

蒸着コイルは、抵抗発熱体としては非常に高い融点を持っています。つまり、ほとんどすべての材料を最高温度まで加熱することができるのです。

一目でわかるメリット:


  • 耐蝕性

  • 高純度の材料を使用しているため、基板上に不純物が発生しない

  • 高い寸法安定性

お客様の用途に最適な素材

蒸着コイルには、以下のような素材が使われています。

  • アルミニウム蒸着用のWVM(真空蒸着用粒状安定化タングステン)。
  • タンタル
  • モリブデン
  • 長寿命のモリブデン・ランタン(ML)

標準寸法一覧

弊社では以下の標準寸法を在庫しています。お客様のご要望に応じて、その他の寸法もお作りすることができます。お気軽にお問い合わせください。

商品
番号
コイル指定 直径
[mm]
ストランド
長さL
[mm]
直径
FD
[mm]
コイル
の長さ FL
[mm]
コイル
間隔
P [mm]
11793590 SS05S3-100 0.5 3
100      
11793591 SS08S3-100 0.8 3
100      
11793597 SU05S3-100-1554P01 0.5 3
100 14.5 54 1.0
11793594 SU08S3-100-1554P01 0.8 3
100 14.5 54 1.0
11793599 SV08S3-100-1513P01 0.8 3
100 15.2 13 1.0
11793600 SV10S3-100-1914P01 1.0 3
100 19.5 14 1.0
11793601 SV05S3-100-1513P01 0.5 3
100 15.2 13 1.0
11738657 SH08S3-100-0644P04 0.8 3
100 6.4 44 4.0
11738666 SH08S3-100-0548P05 0.8 3
100 4.8 47.7 5.3
11738671 SH08S3-100-0648P08 0.8 3
100 6.4 48 8.0
11780142 SH05S3-100-0550P06 0.5 3
100 5.0 50 5.5
11740567 SH10S3-100-0750P08 1.0 3 100 6.5 50 8.3
11502785 SH10S3-100-0744P04 1.0 3 100 6.5 44 4.0
11738674 SB06S3-100-1114P02 0.6 3 100 10.5 14 2.1
11738679 SB10S1-080-1110P02 1.0 1 80
11.3 10 1.8
11780144 SB10S1-100-1110P02 1.0 1 100 11.3 10 1.8
11793603 SB05S3-100-1114P02 0.5 3 100 10.6 13.5 1.8
11793605 SB08S3-100-2329P04 0.8 3 100 23.1 29 3.67
11793606 SB08S3-100-1623P03 0.8 3 100 16.2 23.3 3.07
11793608 SB06S3-130-1114P02 0.6 3 130 10.5 14 2.1
11793609 SB08S3-100-1114P02 0.8 3 100 10.6 13.5 1.7
11793611 SB08S1-100-1114P02 0.8 1 100 10.6 13.5 1.8

蒸着コイルの品番

蒸着コイルの品番は、より詳細な情報が得られます。これは以下のように構成されています。

蒸着コイルの品番

    

蒸着コイル寸法