蒸着ボート
弊社では、タングステン、モリブデン、モリブデン-ランタン（ML）、モリブデン-イットリウム酸化物（MY）、タンタルなどを使用した蒸発抵抗プロセス用の蒸着ボートを製造しています。電流を流すと、ボートが材料を加熱して蒸発させます。金属の蒸気圧が低いため、タングステンやタンタル、モリブデンの粒子が蒸気や最終層に入り込むことはありません。
一目でわかるメリット：
素晴らしい
耐食性低い蒸気圧
良好な電気伝導率
非常に高い融点
寸法安定性
熱真空蒸着法（蒸発抵抗）は、PVD（物理的気相法）プロセスのひとつで、コーティング法のひとつです。最終層の材料は、真空チャンバー内で蒸発するまで加熱されます。
真空蒸着プロセスでは、アルミニウム、銀、クロム、窒化チタン、シリカなどから耐久性のある層を生成します。その結果、輝く時計、完璧な鏡、高品質の電子部品などが生まれます。また、弊社の蒸着ボードはその長い耐用年数と高い寸法精度も魅力です。
弊社の標準製品群
モリブデン、タングステン、タンタル製の蒸着ボートを用途に合わせて製作します。
タングステン蒸着ボート
タングステンは、多くの溶融金属に比べて耐食性が高く、また、金属の中で最も融点が高いため、熱にも非常に強いです。珪酸カリウムなどの特殊なドーパントを使用することで、さらに耐腐食性と寸法安定性を高めています。
モリブデン蒸着ボート
モリブデンは特に安定した金属で、高温にも適しています。酸化ランタン（ML）を添加したモリブデンは、さらに延性と耐腐食性に優れています。モリブデンの機械的加工性を向上させるために、酸化イットリウム（MY）を添加しています。
タンタルの蒸着ボート
タンタルは蒸気圧が非常に低く、蒸発速度も小さいです。しかし、この素材の最大の特徴は、その高い耐腐食性にあります。
ストレートタイプ - ストレートボート
ステップタイプ - クランプ部とアッパー部の間に段差のあるボート
ノンスプラッシュタイプ - 羽根やカバーでスプラッシュを最小限に抑えたボート
- お客様のコーティング材に適したボートをお選びください
Das passende Schiffchen für Ihr Beschichtungsmaterial
Eine Übersicht der passenden Schiffchen für Ihr Material finden Sie hier. Schiffchen mit einem Plus eignen sich für das Material. Schiffchen mit zwei Plus empfehlen wir Ihnen ganz besonders. Gerne helfen wir Ihnen auch persönlich bei der Materialauswahl.
Beschichtungsmaterial Dichte
[g/cm³]Schmelzpunkt
[°C]Siedepunkt
[°C]Schiffchen W Mo Ta Al 2.7 660 2467 + AIF3 2.9 1291 N/A ++ ++ AI/1 – 4% Cu 2.7 650 N/A + AI/0.1 – 2% Si 2.7 640 N/A + AI/4% Cu/1% Si 2.7 640 N/A + Ag 10.5 961 2212 ++ ++ As2S3 3.4 300 707 ++ Au 19.3 1063 2966 ++ + B2O3 2.5 460 2247 ++ BaF2 4.9 1280 2260 ++ ++ ++ BaTiO3 6.0 1600 N/A + + BeO 3.0 2530 4120 + Bi 9.8 271 1560 ++ ++ ++ BiF3 5.3 727 900 ++ ++ Bi2O3 8.9 820 1890 + + CaF2 3.2 1360 2500 ++ ++ ++ CaO 3.3 2580 2850 + Cd 8.6 321 765 ++ ++ ++ CdSe 5.8 1350 N/A ++ ++ CdS 4.8 1750 1405 ++ ++ ++ CdTe 6.2 1042 N/A ++ ++ CeO2 7.1 2150 N/A ++ CeF3 6.2 1460 1987 ++ ++ Co 8.9 1495 2900 + ++ Cr 7.2 1875 2482 ++ Cr2C3 6.7 1850 3800 + Cr2C3 5.2 2345 4000 + Cu 8.9 1083 2595 ++ Cu2O 6.0 1235 1800 + DyF3 7.5 1155 1900 ++ ErF3 7.8 1144 1920 ++ Er2O3 8.6 2400 N/A + EuF3 6.7 1280 2270 + Eu2O3 7.4 2100 N/A + Fe 7.9 1536 3070 + Fe2O3 5.3 1594 N/A + Ga 5.9 30 2403 + GaAs 5.3 1238 N/A ++ GaP 4.1 1350 N/A ++ ++ ++ Ge 5.4 937 2830 + GeO2 4.2 1115 N/A ++ ++ ++ HfF2 7.1 1000 N/A ++ HoF3 7.6 1143 1895 ++ In 7.3 156 2000 ++ ++ In/10Sn 7.3 146 1000 + In2O3 7.2 2200 N/A + + LaF3 6.0 1495 2400 ++ ++ La2O3 6.5 2260 4200 + + LiF 2.6 842 1676 ++ ++ LuF3 8.3 1182 2200 ++ ++ Lu2O3 9.4 2400 N/A + ++ Mg 1.7 650 1107 ++ ++ ++ MgF2 3.1 1266 2239 ++ MgO 3.6 2640 3600 + Mn 7.4 1245 2097 + ++ ++ MnS 4.0 1615 N/A + + MoO3 4.7 795 1155 ++ MoS2 4.8 1185 N/A ++ Na3AIF6 2.9 1000 N/A ++ ++ Na5AI3F14 3.0 1027 N/A ++ ++ NaF 2.6 988 1695 ++ ++ ++ NdF3 6.5 1377 2400 ++ ++ Nd2O3 7.2 2240 N/A + Ni 8.9 1453 2732 + Ni/Cr 7.5-8.5 1500 N/A + Nb 8.6 2468 4927 + Nb2O5 4.5 1512 N/A + Pd 12.0 1552 2927 + Pt 21.5 1769 3827 + PrF3 6.3 1399 2255 ++ ++ Pr2O3 7.1 2270 N/A + Rb 1.5 39 688 + SmF2 6.6 1306 2323 ++ Sm2O3 7.1 2325 N/A + ScF3 2.6 1530 1800 ++ Sc2O3 3.9 2400 N/A + Se 4.8 217 685 + + + Si 2.3 1410 2355 + SiO 2.1 1705 1880 ++ ++ Sn 7.3 232 2260 ++ ++ SnO2 6.9 1127 1850 + + SrF2 4.2 1450 2489 ++ ++ Ta2O5 8.3 1880 N/A + Te 6.2 450 1390 ++ ++ ++ TbF3 7.2 1172 2280 + Tb2O3 7.9 2300 N/A + + ThF4 6.3 1100 1680 ++ ++ Ti 4.5 1668 3260 + TiO2 4.2 1775 2700 + TiO 4.9 1750 3000 ++ Ti2O3 4.6 1760 N/A ++ V 6.1 1900 3410 + + WO3 7.2 1473 N/A ++ Y 4.5 1509 2927 ++ YF3 5.1 1155 2210 ++ YbF3 8.2 1157 2136 ++ ++ Yb2O3 9.2 2346 N/A + Zn 7.1 420 907 ++ ++ ++ ZnSe 5.4 1526 N/A ++ ++ ++ ZnS 4.1 1850 1665 ++ ++ ZnTe 5.5 1238 N/A ++ ++ Zr 6.5 1852 3578 + ZrF4 4.4 600 908 ++ ZrO2 5.6 2700 4300 + ZrO 6.4 2200 N/A ++
正確な寸法はプランゼーオンラインショップでご確認いただけます。
蒸発速度と蒸気圧
プランゼーの蒸着ボート用素材は、コーティング素材と比べて、蒸発温度での蒸発速度が非常に遅く、蒸気圧も非常に低いです。これは、長い蒸発サイクルの場合でも、ボート材料が層に入らないことを意味します。
比電気抵抗
比電気抵抗は、蒸着ボートの設計において重要な変数です。
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蒸着ボートの品番
タングステン、モリブデン、タンタルの蒸着ボートの詳細は、商品番号から知ることができます。これは以下のように構成されています。
お客様のコーティングプロセスのためのその他のコンポーネント
電極ビーム蒸着用にモリブデン、タングステン、タンタル製のるつぼインサートを用意しています。銅や黒鉛のるつぼとは異なり、蒸発材料を汚染しません。お客様のコーティングプロセスに合わせて、弊社のるつぼの形状と材料組成を最適化させていただきます。
弊社のタングステンおよびモリブデンのフィラメントは、電子抵抗の蒸発に使用されます。