Los elementos de calentamiento de un sistema de MOCVD se calientan a 2000 °C. Las altas temperaturas hacen que nuestros materiales de alto rendimiento, el molibdeno y el tungsteno, sean indispensables para diversos aislamientos, colectores de gas y elementos de calentamiento. Plansee suministra más de 50 componentes diferentes para MOCVD. Somos un reconocido fabricante de equipos originales de sistemas de MOCVD, pero también estamos activos en el mercado de posventa. Y gracias a nuestros diseños técnicos mejorados y a nuestros recubrimientos patentados, somos mucho más que un simple recambio para nuestros clientes.
Diseños personalizados para una distribución homogénea de la temperatura
Las capas semiconductoras de un LED deben emitir luz con la misma longitud de onda en la medida de lo posible. Un requisito importante es una distribución homogénea de la temperatura en el sistema de MOCVD. Cualquier desviación en el perfil de temperatura provoca posteriormente un cambio en el color de la luz emitida. En los cálculos elaborados, nuestros técnicos simulan el proceso de MOCVD del sistema respectivo mediante el análisis de elementos finitos (FEM) y mejoran el diseño de nuestros componentes de calentamiento. Los nuevos componentes aumentan la homogeneidad de la temperatura en la cámara del reactor. El cliente se beneficia de un mayor rendimiento por ciclo de recubrimiento y, por lo tanto, de una mayor productividad.
Junto con nuestros clientes, desarrollamos diseños individuales para los elementos de calefacción y otros componentes del reactor de MOCVD.