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Implantación de iones

Componentes y repuestos para la implantación de iones

La implantación de iones es un proceso importante en la fabricación de semiconductores. Los sistemas de implantación dotan a las obleas de átomos extraños para cambiar las propiedades del material, como la conductividad o la estructura de cristal. La trayectoria del haz es el centro del sistema de implantación. Aquí, los iones se generan, se concentran, se aceleran enormemente y se dirigen a la oblea a velocidades muy altas.

Para que este proceso se desarrolle con la mayor eficacia, precisión y ausencia de contaminación posible, nuestros componentes y recambios de metales refractarios entran en juego.

Sus ventajas en términos generales:

  • Más de 30 años de experiencia en la industria de los semiconductores

  • Producción exacta según la norma del fabricante

  • Máxima calidad del producto

Propiedades ideales del producto

Las temperaturas de hasta 1400 °C, los fuertes campos electromagnéticos, los gases de proceso agresivos y las fuertes fuerzas mecánicas causan problemas en los materiales convencionales. Sin embargo, esto no ocurre en nuestros productos. Nuestros componentes resistentes al calor de molibdeno, tungsteno, grafito o cerámica sorprenden por la combinación ideal de resistencia a la corrosión, resistencia del material, buena conductividad térmica y pureza absoluta. Utilizamos 100 o más componentes de Plansee por trayectoria del haz. Esto garantiza que los iones se generen de forma eficiente y se dirijan a la oblea en la trayectoria del haz de forma precisa y libre de impurezas.

Haz de luz

Con una precisión de milésimas de milímetro y con más de 30 años de experiencia en la industria de los semiconductores, producimos los componentes exactamente según la norma del fabricante o los desarrollamos en nuestros centros de producción de Japón y Estados Unidos. Para nuestros clientes, los repuestos de Plansee son mucho más que un simple componente. Basándonos en los repuestos originales de los fabricantes de equipos, optimizamos las geometrías y las composiciones de los materiales. El resultado:

  • Montaje y desmontaje más sencillo de los componentes
  • Vida útil más larga
  • Ahorro en los gastos de limpieza
  • Menor necesidad de mantenimiento
  • Menor tiempo de inactividad

Sabemos lo importante que es la calidad reproducible para su proceso. Por eso, nuestra calidad es excelente. Nuestro objetivo es ofrecerle lo mejor de lo mejor. ¿Cómo? Llevamos produciendo materiales de alto rendimiento desde 1921 y llevamos a cabo todo el proceso de producción, desde el polvo metálico hasta el producto acabado. Las piezas de implantación solo salen de nuestras instalaciones una vez que han superado nuestros estrictos controles de calidad.

Nuestros productos

  • Cámaras (grafito, tungsteno, molibdeno y aleaciones)
  • Filamentos (tungsteno y aleaciones de tungsteno)
  • Diafragmas (grafito, tungsteno, molibdeno y aleaciones)
  • Soportes (tungsteno, molibdeno y aleaciones)
  • Cátodos (tungsteno, molibdeno y aleaciones)
  • Terminal (grafito)
  • Componentes del analizador (grafito)
  • Aislantes (cerámica)
  • Repuestos (grafito, tungsteno, molibdeno y aleaciones, cerámica, acero)
Implantación de iones
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Especialista en recambios para más de 100 sistemas

Ya sea un modelo antiguo o de última generación, de corriente media o alta: conocemos todos y, por supuesto, tenemos las piezas de repuesto adecuadas para usted en nuestra gama. ¿Quiere sacarle más partido a su implantación de iones? Consúltenos. Aunque su sistema no aparezca en la lista, también puede ponerse en contacto con nosotros.

AIBT: istar

Applied Materials: 9000, 9200, 9200xR, 9500, 9500xR, Quantum, Quantum I, Quantum II, Quantum III, Quantum X, Quantum X+, Quantum xR, xR, xR/Leap, xR120, xR200, xR80

Varian Semiconductor Equipment (now Applied Materials): VIISta Trident, PLAD, VIISta HCS, VIISta HCP +/I, VIISta 80, E1000, VIISion 200, VIISion 200+, VIISion 80+, VIISta HC, 120-10, 120XP, 160XP, 180XP, 80XP, VIISta 3000, Genus, Kestrel, VIISta 810 XE/XER, VIISta 900 XPT, VIISion, E220, E500, VIISta 810, VIISta 810 XE, VIISta 900, VIISta 900XP, 300D, 300XP, 350D

Axcelis: GSD HC (200/200E/200E2), HC3, Ultra, Eterna, GSD 100, GSD 160A, GSD 200E, GSD 200E^2, GSD HC, GSD HC3, GSD III, GSD III LE, GSD LED, NV GSD, NV 10-160, NV 10-180, NV 10-80, Optima HD, ULE, Ultra, GSD HE, GSD VHE, GSD HE, GSD HE3, GSD VHE, Optima XE, Paradigm XE, NV 3206/3204, NV 6200, NV 8200, NV 8250, Optima MD

Nissin: NH80, PR80, Exceed 3000, CLARIS, EXCEED2000A/2000AH, EXCEED2300AV, EXCEED3000AH, EXCEED9600A, NH20, NH45

SEN: NV-GSD-160A, NV-GSD-80A, NV-GSDIII, NV-GSDIII-180, SD, NV-GSDIII-90E, NV-GSDIII-LE, NV-GSDIII-LE, V-GSD-HC, LEX, LEX3, SHX, NV-GSD-HE, NV-GSD-HE3, MC3MC3-II, NV-MC3

Ulvac: IH-860, IDZ-7000, IDZ-8001, IDZ-9001, IM-200, IW-630

Consulte nuestro catálogo de productos en línea. Allí encontrará muchas de nuestras piezas de repuesto para implantaciones de calidad OEM, pero también componentes diseñados por Plansee para mejorar la vida útil y facilitar su manipulación. Para los clientes actuales, nuestro catálogo de productos también ofrece funcionalidades adicionales: pueden consultar sus pedidos, el estado de las entregas y las facturas.

Póngase en contacto con nosotros en ionimplantation@plansee.com para obtener sus credenciales de acceso personal.

Ir al catálogo de productos para la implantación de iones

Ahorre costes con Plansee

Siempre que vemos la posibilidad de mejorar los estándares y ahorrar tanto tiempo como dinero a nuestros clientes, ofrecemos soluciones Advanced Standard. Basándonos en los repuestos originales de los fabricantes de equipos, optimizamos las geometrías y las composiciones de los materiales. ¿Le gustaría ponernos a prueba? ¡Aceptamos con mucho gusto! Podrá probar piezas de repuesto mejoradas al mejor precio. De esta forma, estará seguro de que le ofrecemos lo mejor del mercado.

Aleta MRS según la norma OEM

En el proceso IIP, la aleta MRS filtra los iones que no tienen la carga o la masa adecuadas. Los iones que atraviesan la rendija de disolución de masa son los únicos que continúan en dirección hacia la oblea. La aleta MRS está expuesta a abrasión causada por el impacto del haz de iones. Un ángulo en la faceta lateral minimiza esta abrasión. Sin embargo, el proceso IIP conlleva también reacciones químicas y un desgaste que aumenta cuanto más agudos sean los ángulos en la superficie en cuestión. Como solución de compromiso se utiliza un ángulo de 92° en la pieza según la norma OEM.

Diseño mejorado para una mayor vida útil

Pero no queremos conformarnos con compromisos y hemos mejorado aún más la pieza original: hacemos que la zona en la que el haz de iones incide con especial fuerza sea un ángulo casi recto. A su vez, las zonas de los bordes, que se ven afectadas principalmente por las reacciones químicas y térmicas, se fabrican con ángulos planos.

No todos los materiales son iguales

Para garantizar que nuestros clientes obtengan el producto perfecto, somos muy exigentes con los materiales que utilizamos. El grafito convencional es de grano muy grueso y puede provocar la formación de partículas pesadas en el proceso. Estas impurezas pueden provocar grandes problemas, especialmente para los fabricantes de componentes eléctricos con estructuras especialmente pequeñas. Por eso, ofrecemos a nuestros clientes un grafito especialmente duro y resistente. Este material es mucho menos vulnerable a la abrasión y, por lo tanto, reduce la formación de partículas en el proceso. Las mejoras introducidas por Plansee aportan grandes ventajas a nuestros clientes. Las aletas MRS Advanced Standard duran hasta tres veces más que los modelos OEM convencionales.

¿Está interesado? ¡Estamos a su disposición!

Una idea solo es buena si puede hacerse realidad. Díganos cuál es su reto. Nuestros especialistas en PII están a su servicio en todo el mundo. ¿Prefiere que le ayudemos in situ? ¡No se preocupe! Estaremos allí en menos de 48 horas. ¡Garantizado!