튜브형, 원형, 각진 모양 등 여러분의 응용분야에 맞추어 맞춤 제공해드릴 수 있습니다. 가장 중요한 정보 요약:
알루미늄-크로뮴 스퍼터링 타겟과 캐소드
Plansee의 알루미늄-크로뮴(AlCr) 타겟과 캐소드는 드릴, 절삭기, 인덱서블 커팅 인서트와 기타 공구들에 더 단단하고 산화에 강한 질소화 코팅을 제공합니다. 고온 경도가 높고 산화에 저항성이 뛰어난 알루미늄-크로뮴 코팅 덕분에 더욱 빠른 피드 속도, 더욱 개선된 절삭 성능, 더욱 높은 칩 볼륨을 얻을 수 있습니다. 이 소재는 단 1/1000로도 공구를 마모로부터 보호하고 고온에도 강하여 결과적으로 서비스 수명을 연장시켜줍니다.
한눈에 보는 당사 타겟의 장점:
높은 연성
훌륭한 열전도성
최적의 균질 미세구조
최고의 소재 순도
여러분만의 요건에 맞춘 생산
| 알루미늄 / 크로뮴 함유량 [At.-%] | 70 / 30 | 50 / 50 |
| 순도 [%] | 99.7 | 99.7 |
| 보장 밀도 [g/cm3] | 3.68 | 4.50 |
| 표준 입자 크기 / 미세 입자 [µm] | 100 / 50 | 100 / 50 |
의지할 수 있는 품질
높은 연성으로 긴 서비스 수명 보장
Plansee의 스퍼터링 타겟과 아크 캐소드는 코팅 공정 중 발생하는 엄청난 압박을 견딜 수 있어야 합니다. 타겟의 가장자리 소재에는 1메트릭톤에 달하는 힘이 가해집니다. 취약한 소재는 부서지겠지만, Plansee의 소재는 알루미늄 덕분에 특히 연성이 좋습니다. AlCr 타겟의 연성이 높도록 하기 위해, 특히 주의깊게 크로뮴-알루미늄 분말을 혼합한 후 성형 방식으로 압축합니다. 이렇게 하면 금속 용해 공정으로 제작되는 소재들보다 훨씬 균질하고 고운 미세구조를 지닌 소재를 만들 수 있습니다. 분말 야금을 이용하여 제작되는 타겟은 특히 파손에 강하고 내구성이 좋다는 장점이 있습니다.
뛰어난 열전도성으로 매끄러운 레이어 보장
당사의 타겟과 캐소드는 코팅 공정 중에 고온에 노출됩니다. 하지만 당사의 소재는 이러한 극한의 조건을 수월하게 견딥니다. 알루미늄 함량과 높은 소재 밀도 덕분에 Plansee의 캐소드와 타겟은 열을 특히 잘 견디며, 뒤의 구리 플레이트로 열을 쉽게 전달합니다. 이렇게하면 열이 쌓이는 것을 방지하여 타겟 소재와 표면에 기포가 고르지 않게 노출되고, 따라서 더욱 매끄럽게 코팅할 수 있게 됩니다.
완벽한 레이어를 위한 최적의 미세구조
거친 금속 분말, 아니면 미세 금속 분말. 단조, HIP, 아니면 다른 유형의 축 성형. 당사는 제조 공정을 다각화하고 결합하여 특히 매끄럽고 고운 레이어를 얻으실 수 있도록 합니다. 타겟과 캐소드에 최적의 미세구조를. 이것이 당사의 변치않는 목표입니다. 즉, 코팅 중에 제품에 확연히 더 적은 기포가 생긴다는 뜻입니다. 그 결과 특히 매끄러운 레이어가 탄생합니다.
Oerlikon Balzers는 Plansee의 타겟과 캐소드에 의존하는 기업입니다. 공구와 부품 코팅 분야의 선두 제조업체인 이 기업은 알루미늄-크로뮴 질화 코팅에서 평균을 뛰어넘는 성능과 광범위한 적용 분야로 특히 깊은 인상을 주고 있습니다.
TiN 또는 TiAIN으로 제작된 표준 코팅(다이어그램에서 ‘기본 코팅’을 가리킴)은 훌륭한 평균 성능과 함께 매우 광범위한 응용 분야에서 이용됩니다. AlCrN 코팅을 채택하면, 이렇게 넓은 응용 분야에서 더욱 탁월한 성능을 얻을 수 있습니다. 특수 응용 분야에서 더욱 뛰어난 최적화를 위해, TiAl 또는 AlCr 타겟에 용도에 맞는 원소를 추가하여 코팅의 성능을 다시 한 번 확연히 개선할 수도 있습니다.
다음의 코팅 공정에 이용할 수 있습니다
당사의 소재는 활성 마그네트론 스퍼터링 공정 또는 아크 증착을 통해 적용됩니다.
- 활성 마그네트론 스퍼터링
알루미늄, 티타늄, 지르코늄, 크로뮴, 세라믹을 기반으로 하는 경질 소재 레이어와 장식 레이어는 활성 마그네트론 스퍼터링을 통해 공구, 구성품, 기타 제품에 적용됩니다.
코팅 소재는 진공 챔버 안에서 스퍼터링 타겟으로 코팅될 제품의 반대편에 놓입니다. 그 후 챔버에 아르곤 가스가 차고 수백 볼트의 전압이 인가됩니다. 그러면 양전하가 충전된 아르곤 입자(아르곤 이온)과 자유전자로 이루어진 플라스마가 점화됩니다. 양전하 아르곤 이온은 음전하 캐소드(타겟)을 향해 가속됩니다. 이 이온들은 최고 수백 일렉트론볼트(eV)의 높은 운동에너지로 타겟의 표면을 때립니다. 그 결과, 아르곤 입자들이 스퍼터링 타겟 원자가 표면 밖으로 나오도록 힘을 가하게 됩니다. 그러면 진공 챔버와 기판 사이에 포텐셜이 인가되는 것입니다. 이렇게 되면 경질 소재의 입자들이 코팅될 공작물을 향해 가속됩니다. 그러다 이미 유입되어 있던 활성 가스(질소, 탄소, 산소)와 반응하여 공작물 위에 얇은 질화, 탄화, 산화 경질 레이어로 입혀집니다.
- 아크 증착
아크 증착(아크 공정) 중에 알루미늄, 티타늄, 크로뮴 기반 경질 소재 레이어가 공구에 입혀집니다. 이런 진공 기반 코팅 공정에서 소스 소재는 아크 캐소드의 형태를 합니다.
수백 볼트의 전압이 진공 챔버에서 아노드와 양전하 아크 캐소드 사이에 인가됩니다. 그러면 아크가 형성됩니다. 아크는 소재를 최소한으로 녹이거나 증착하면서 아크 캐소드를 위아래로 움직입니다. 양전하 금속 이온은 증착된 캐소드 입자에서 약 90%가 형성됩니다. 그러면 진공 챔버와 기판 사이에 바이어스 전압이 인가되는 것입니다. 이렇게 되면 금속 이온이 코팅될 공작물을 향해 가속됩니다. 그러다 이미 유입되어 있던 활성 가스(질소, 탄화수소, 산소)와 반응하여 공작물 위에 얇은 질화, 탄화, 산화 경질 레이어로 입혀집니다.
개별 기업에 맞는 스퍼터링 타겟과 아크 캐소드를 위한 당사의 전문성
최적의 레이어를 찾고 계십니까? 수십 년을 이어온 당사의 전문성과 화학 조성 그리고 제조 공정에 대한 대규모 데이터베이스를 믿어보십시오. 당사의 팀은 계속 스퍼터링 타겟과 아크 캐소드를 개발하여 다음과 같은 소재 속성들을 개선하고 있습니다.
- 입자 크기와 미세구조
- 연성
- 재료 경도
- 내산화성
- 마찰계수
- 온도저항성
여러분의 요건에 정확히 맞도록 알루미늄-크로뮴 혼합물에 다른 원소를 첨가하여 완벽하게 맞추어드릴 수 있습니다. 연락주십시오!
AlCr 기반 코팅은 예를 들어 소량의 철을 첨가하는 경우 마모에 더 강해집니다. 이렇게 하면 코팅된 공구의 내구성과 저항성이 더욱 좋아집니다.
알루미늄-크로뮴 산화물로 제작된 내마모성 코팅에 대한 자세한 과학적 인사이트는 ‘아크 증착 알루미늄-크롬 산화 코팅의 상 형성 시 기포와 철의 역할(Role of droplets and iron on the phase formation of arc evaporated Al–Cr-oxide coatings)’이라는 출판물에서 알아볼 수 있습니다. 이 연구 논문은 Plansee 연구팀과 TU Wien의 협업으로 출판되었습니다.
코팅 기술용 기타 제품
히트 싱크가 통합된 당사의 알루미늄 기반 타겟과 캐소드는 테스트해보실 수도 있습니다. 이 제품들은 훨씬 더 높은 열전도성으로 깊은 인상을 주며, 타겟 가장자리는 더욱 안정적입니다. 당사의 알루미늄 히트 싱크는 타겟 소재에 직접 연결되어 있습니다.
제품 페이지를 방문하여 다른 소재로 제작된 타겟에 대해 더 알아보십시오.
