티타늄 디보라이드 (TiB2) 스퍼터링 타겟
이붕소화티타늄(TiB2)은 경도가 아주 강한 것으로 유명합니다. 다른 코팅들과는 달리, TiB2 은 알루미늄과 반응하지 않습니다. 즉, 알루미늄 가공 시 소재 입자가 공구 팁에 들러붙지 않는다는 뜻입니다. 그러면 머시닝 시 더 큰 힘이 가해져 공구가 빠르게 마모되는 것과 공구 팁이 조기에 파손되는 것을 방지할 수 있습니다. 따라서 이붕소화티타늄으로 코팅된 공구들은 알루미늄과 비철 금속 가공 및 머시닝에 특히 적합합니다.
한눈에 보는 당사 타겟의 장점:
높은 밀도
뛰어난 열 충격
저항성최적의 균질 미세구조
최고의 소재 순도
뛰어난 제품 품질
가장 중요한 속성 요약:
| 순도 [%] | 99.7 |
| 보장 밀도 [g/cm3] | 4.40 |
| 입자 크기 [µm] | 2 |
| 열전도성 [W/(m·K)] | 64 |
| 열팽창계수 [1/K] | 7.4 · 10-6 |
의지할 수 있는 품질
당사는 TiB2 분말을 전처리합니다. 즉, 당사 타겟의 미세구조는 극도로 미세하고 균질하다는 뜻입니다. 이 타겟 소재의 장점은 코팅 공정 중에 고르게 벗겨지며 코팅이 더욱 매끄럽다는 것입니다.
매끄러운 레이어를 보장하는 높은 밀도
세라믹 소재인 티타늄 디보라이드 (TiB2)은 압축에 1,700에서 2,000°C의 고온이 필요합니다. 따라서 당사는 열압착을 이용하여 타겟을 생산하여 타겟의 밀도가 이론상 최소 98%가 될 수 있도록 합니다. 그 결과 스퍼터링 도중 분말 입자가 타겟에서 방출되지 않습니다. 이렇게 하면 완벽한 레이어 구조와 함께 코팅이 최적으로 들러붙을 수 있게 됩니다.
뛰어난 열 충격 저항성으로 긴 서비스 수명 보장
코팅 공정 중, 타겟은 고온에 노출됩니다. 스퍼터링이 완료되고 나면 소재들은 빠르게 식습니다. 그러면 타겟에 균열이나 파손이 생길 수 있습니다. 특수한 분말 야금 제조 공정 덕분에 당사의 타겟들은 특히 높은 열 충격 저항성을 지녀 수없이 많은 온도 사이클을 쉽게 견딜 수 있습니다.
최고 품질을 위한 최고의 소재 순도
더욱 순수한 코팅 소재, 더욱 훌륭한 경질 레이어 품질. 당사는 착수 단계부터 가장 순수한 분말만을 이용하며 이것을 자체 설비에서 혼합하여 최고의 소재 순도를 보장합니다. 당사는 분말부터 완제품까지 모든 단계를 모니터링하여 밀도, 순도와 균질한 미세구조가 구체적으로 확보된 상태의 타겟만이 출고되도록 합니다.
분말부터 완성된 타겟까지 모두 한 소스에서
업계를 선도하는 타겟 제조업체로서, 당사는 모든 것을 자체적으로 합니다. 금속 분말 혼합 및 단조부터 머시닝과 타겟 결합까지, 당사는 코팅 공정과 레이어 최적화를 위한 신소재 개발도 하고 있습니다. 물론 최첨단 측정법을 이용하여 타겟의 품질을 테스트하기도 합니다.
다음의 코팅 공정에 이용할 수 있습니다
티타늄-이붕소화 경질 소재 레이어는 마그네트론 스퍼터링 공정을 통해 공구에 입혀집니다. 당사는 이 용도로 순수 세라믹 TiB2과 몰리브덴 또는 구리 백플레이트에 접합된 타겟을 제공합니다. Plansee의 접합 타겟은 백플레이트 덕분에 안정적이고 파손되지 않으며 다루기 쉽습니다. 땜납으로는 보통 인듐을 사용합니다.
- 활성 마그네트론 스퍼터링“PVD 코팅의 원리” 영상으로
몰리브덴 박막은 마그네트론 스퍼터링(캐소드 스퍼터링) 공정을 통해 입혀집니다. 이런 진공 기반 코팅 공정에서 소스 소재는 스퍼터링 타겟의 형태를 합니다.
수백 볼트의 전압과 아르곤 가스를 적용하여 진공 챔버에서 플라스마가 점화됩니다. 이 플라스마는 양전하가 충전된 아르곤 입자(아르곤 이온)과 자유전자로 이루어져 있습니다. 양전하 아르곤 이온은 전기장 통해 음전하 캐소드(타겟)을 향해 가속됩니다. 이 이온들은 수십에서 최고 수백 일렉트론볼트(eV)의 높은 운동에너지로 타겟의 표면을 때립니다. 그 결과, 당구공과 비슷하게 아르곤 입자들이 스퍼터링 타겟 원자가 표면 밖으로 나오도록 힘을 가하게 됩니다. 이런 원리로 코팅 소재가 천천히 부식됩니다. 타겟에서 방출된 원자는 진공 챔버를 통해 박막층으로 적층되는 반대 기판으로 이동합니다(샤워기를 틀어두면 화장실 거울 위로 수증기 막이 생기는 것과 비슷).
코팅 재료 개선을 위한 붕소화물 타겟
Christian-Doppler 실험실에서 Plansee는 Oerlikon Surface Solutions AG과 오스트리아 빈에 위치한 TU Wien 소재과학 및 기술 연구소(Institute of Materials Science and Technology)와 협업하여 코팅 소재 개선 연구를 진행하였습니다.
결과: W1-xTaxB2 레이어 탄탈륨 최대 26중량백분율을 WB2의2의 α 결정 구조에 첨가하면 열 안정성이 800°C에서 최고 1,400°C까지 상승합니다. 이 연구팀은 갭을 통한 결정 구조 안정화를 기반으로 이론적 및 실험적으로 이 효과를 입증하였습니다. 이 출판물은 탄탈륨의 추가가 α- WB2의 높은 파괴 인성에 부정적인 영향을 미치지 않는다는 점을 입증합니다. 이 발견은 그 동안 대부분의 이붕소화물을 그 불안정성 때문에 사용할 수 없었다는 점에서 중요합니다.
코팅 기술용 기타 제품
당사는 흑연 포일, 나사, 와셔, 볼트, 아크 캐소드와 같이 해당되는 잠금 소재 또한 기쁘게 제공합니다. 그 외 소재에 대해서는 당사의 제품 페이지를 방문하십시오.
