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WC Sputtertargets

Sputtertargets aus Wolframkarbid

Wolframkarbid (WC) wird zur Herstellung von DLC-Beschichtungen (Diamond Like Carbon) verwendet. Diese sind besonders hart und lange haltbar und schützen Motorenteile sowie andere hoch beanspruchte Komponenten im Automobilbereich vor Verschleiß. DLC-Beschichtungen verringern den Reibungskoeffizienten von Zahnrädern, Pressstempeln und vielen weiteren Komponenten und sorgen somit für eine lange Lebensdauer.

Die Vorteile unserer Targets auf einen Blick:

  • Hohe Dichte

  • Exzellente Thermo-
    beständigkeit

  • Optimale, homogene Mikrostruktur

  • Höchste Materialreinheit

  • Binderfrei und binderhaltige Qualitäten

Fertigung nach Ihrer spezifischen Anforderung

Für die Beschichtung aus Wolframkarbid liefern wir runde und rechteckige sowie gebondete Targets auf Rückplatten aus Molybdän oder Kupfer. Unsere gebondeten Targets sind stabiler, bruchsicherer und somit leichter handhabbar. Als Lot setzen wir meist Indium ein.

Wir liefern auch für Ihre Anwendung das maßgeschneiderte Target.

Das Wichtigste auf einen Blick:

Reinheit [%] 99,9
garantierte Dichte [g/cm3] 15,50
Korngröße [µm] 2
Wärmeleitfähigkeit [W/(m·K)] 120
Thermischer Ausdehnungskoeffizient [1/K] 4,3 · 10-6

Qualität, auf die Sie sich verlassen können

Hohe Dichte garantiert glatte Schichten

Als keramischer Werkstoff benötigt Wolframkarbid zur Verdichtung hohe Temperaturen von 1.900 bis 2.200 °C. Deshalb stellen wir unsere Targets mittels Heißpressen her und erreichen somit mindestens 99 % der theoretischen Dichte. Dadurch lösen sich beim Sputtern keine Pulverpartikel aus dem Target und die Beschichtung haftet optimal.

Optimale Mikrostruktur sorgt für die perfekte Schicht

Da wir als Rohstoff Wolframkarbidpulver mit kleinster Korngröße einsetzen, ist die Mikrostruktur unserer Targets sehr fein und homogen. Der Vorteil: Das Targetmaterial wird im Beschichtungsprozess gleichmäßig abgetragen und Ihre Beschichtung ist glatter. Durch weiteres Optimieren der Mikrostruktur können wir auch Arc-Kathoden aus Wolframkarbid herstellen.

Exzellente Thermobeständigkeit sichert lange Lebensdauer

Während dem Beschichtungsprozess ist das Target hohen Temperaturen ausgesetzt. Nach dem Sputtern kühlt das Material schnell wieder ab. Es kann zu Rissen im Target oder Brüchen kommen. Durch die spezielle Herstellung sind unsere Targets besonders thermoschockbeständig und halten auch unzähligen Temperaturzyklen problemlos stand.

Höchste Materialreinheit für beste Qualität

Je reiner das Beschichtungsmaterial, desto besser ist die Qualität der Hartstoffschicht. Wir verwenden von Anfang an nur reinstes Pulver, mischen es in eigenen Anlagen und sorgen so für höchste Materialreinheit. Wir überwachen jeden Schritt - vom Pulver bis zum fertigen Produkt - und garantieren Ihnen, dass nur Targets mit der spezifisch garantierten Dichte, Reinheit und einer homogenen Mikrostruktur unser Haus verlassen.

Alles aus einer Hand - vom Pulver bis zum fertigen Target
Bondingshop Plansee

Als führender Target-Hersteller haben wir alles selbst in der Hand. Vom Mischen und Pressen des Metallpulvers bis zum Umformen, Bearbeiten und Bonden unserer Targets: die Entwicklung neuer Werkstoffe zur Optimierung von Beschichtungsverfahren und Schichten eingeschlossen. Selbstverständlich prüfen wir die Qualität unserer Targets mit neuesten Messmethoden.

Verwendbar für folgende Beschichtungsverfahren

Eines wissen wir ganz genau: Im PVD-Beschichtungsprozess muss alles zusammenpassen. Nur aus dem perfekten Zusammenspiel aus hochwertigen Sputtertargets und Arc-Kathoden sowie Prozessparametern entsteht die Schicht, die genau Ihren Anforderungen entspricht. So entstehen in Kooperation mit unseren Kunden und zahlreichen Entwicklungsinstituten immer wieder neue Beschichtungswerkstoffe.

Zur Herstellung unserer Sputtertargets verwenden wir nur binderfreies Wolframkarbid. Es sind keine Stoffe wie Nickel oder Kobalt im Material enthalten. Im Beschichtungsprozess wird das Targetmaterial zerstäubt und kann durch Einatmen gesundheitliche Schäden verursachen. Doch mit unseren Targets aus binderfreiem Wolframkarbid sind Sie auf der sicheren Seite.

Unser Wolframkarbid bildet in Kombination mit Kohlenstoff eine WC/a-C:H-Schicht. Diese wird im reaktiven Magnetronsputterverfahren aufgebracht. Als Untergrund wird meist eine Beschichtung aus Chrom aufgetragen, um die Haftung der DLC-Schicht zu verbessern.

  • Reaktives Magnetronsputtern

    Hartstoffschichten und dekorative Schichten auf Basis von Aluminium, Titan, Zirkonium, Chrom und Keramiken werden durch reaktives Magnetronsputtern auf Werkzeuge, Komponenten und andere Produkte aufgebracht (gesputtert).

    In einer Vakuumkammer wird das Beschichtungsmaterial als Sputtertarget gegenüber dem zu beschichtenden Produkt angebracht. Die Kammer wird mit Argongas gefüllt und es wird eine Spannung von einigen Hundert Volt angelegt. Diese zündet ein Plasma aus positiv geladenen Argon-Teilchen (Argon-Ionen) und freien Elektronen. Die positiv geladenen Argon-Ionen werden zur negativ geladenen Kathode (Target) hin beschleunigt. Dort treffen sie mit hoher kinetischer Energie von bis zu einigen Hundert Elektronenvolt (eV) auf die Targetoberfläche auf. Dadurch schlagen die Argonteilchen Sputtertargetatome aus der Oberfläche heraus. Nun wird ein Potential zwischen der Vakuumkammer und dem Substrat angelegt. Dadurch beschleunigen sich die Teilchen der Hartstoffverbindung in Richtung des zu beschichtenden Werkstücks. Dort reagieren sie mit einem eingeleiteten Reaktivgas (Stickstoff, Kohlenstoff oder Sauerstoff) und setzen sich als dünne nitridische, karbidische oder oxidische Hartstoffschicht auf dem Werkstück ab.

Unser Know-How für Ihre individuellen Sputtertargets und Arc-Kathoden

Sie suchen die optimale Schicht? Setzen Sie auf unsere jahrzehntelange Erfahrung und unsere große Datenbank über chemische Zusammensetzungen und Herstellungsverfahren.

Unser Team entwickelt unsere Sputtertargets und Arc-Kathoden ständig weiter und verbessert dabei folgende Material- und Schichteigenschaften

Besonders anspruchsvoll bei keramischen Materialien ist die passende Einstellung der Arc-Beschichtungsanlage. Deshalb testen wir unterschiedliche Prozessparameter an industrienahen Anlagen um unsere Kunden bestmöglich zu unterstützen.

Wolframkarbid sicher sputtern

Paul J. Rudnik, Sales and Marketing Manager für Hartstoffbeschichtung in Nord-Amerika, spricht über eine neue Halterung für Arc-Kathoden aus spröden Materialien:

Weitere Produkte für die Beschichtungstechnik

Gerne liefern wir Ihnen passende Befestigungsmaterialien wie Grafitfolien, Schrauben, Scheiben und Bolzen. Besuchen Sie auch unsere Produktseite weiterer Materialien:

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