Die Ionenstrahltechnologie ist kein Neuland für Plansee. Bereits seit 30 Jahren liefert Plansee Ionenstrahlgitter und Komponenten an Hersteller im Bereich optischer Schichten, MEMS, RF Filter, EUV Masken und Hard Disc Drives. So verfügen die Experten von Plansee über umfassende Kompetenzen und Technologien zur Entwicklung, Herstellung und Optimierung kundenspezifischer Gitter. Ebenso wie über die Möglichkeit der Assemblierung einbaufertiger Ionenstrahlgitter nach höchsten Qualitätsstandards. Hierfür investierte Plansee bereits vor einigen Jahren in einen hauseigenen Reinraum gemäß ISO6-Standard.
Doch neben der Herstellung und Montage von Neuprodukten ist auch das Refurbishment gebrauchter Gitter eine Kompetenz, die Plansee seinen Kunden nun verstärkt als Service anbietet. „In zahlreichen Industriebereichen, so auch in der Ionenstrahltechnologie, spielt das Refurbishment eine zunehmende Rolle. Und dies nicht nur aus Gründen der Kosteneffizienz. Auch Aspekte der Nachhaltigkeit, und der damit verbundene sparsame Einsatz wertvoller Ressourcen, gewinnen an Bedeutung. Es freut uns, dass wir hierfür einen entscheidenden Beitrag leisten können“, so Carmen Müller, Managerin Application Group Front End Semiconductor bei Plansee HPM.
Derzeit halten Ionenstrahlgitter je nach Produktionsverfahren einer Betriebsdauer von rund 240 Stunden stand. Durch Verschmutzung und Verschleiß während des Bestrahlungsprozesses werden die Gitter unbrauchbar. Ein Austausch ist daher unumgänglich, um eine konstante Fertigungsqualität zu gewährleisten. Da Produzenten in der Regel nicht über die notwendigen Kapazitäten sowie Technologien zur Reinigung verfügen, werden die Gitter meist entsorgt und durch Neuprodukte ersetzt. Mit dem professionellen Refurbishment-Service von Plansee, lassen sich die Betriebszeiten von Ionenstrahlgittern nun deutlich erhöhen - je nach Prozess um etwa 30-50 %. In rund zwölf Prozessschritten erfolgt die Aufbereitung bei Plansee nach klar definierten Richtlinien und Parametern: nach einer ersten Analyse der Gitter werden ihre Einzelbestandteile in mehreren Schritten gereinigt, zur Qualitätssicherung nachvermessen und anschließend im Reinraum assembliert und verpackt. So kann gewährleistet werden, dass Kunden ihre Gitter nach einer kurzen Bearbeitungszeit in bestmöglichem Zustand einbaufertig zurückerhalten.
