Online ShopMy Plansee
Plansee Group
主页
Online ShopMy PlanseePlansee Group
钛与锆溅射靶

钛锆溅射靶和阴极

无论是钻头、刀具还是可转位刀片,我们可以通过钛 (Ti) 和锆 (Zr) 的氮化物和碳化物层,为您的工具提供经济高效且十分可靠的耐磨损保护。锆还适用于形成类似黄铜色的装饰涂层,例如用于控制元件和配件。

靶材优势一览:

  • 高延展性

  • 最优同质化微观结构

  • 最高材料纯度

根据您的特定要求生产

我们常备如板材、管材和棒材等半成品现货库存,以保证快速交货。我们以溅射靶和电弧阴极的形式提供两种材料,涵盖所有常见尺寸和形状。

重要信息一览:

材料
纯度 [%] 99.6 99.2
保证密度 [g/cm3] 4.5 6.5
晶粒度 [µm] 100 100
热导率 [W/(m·K)] 22.0 22.7
热膨胀系数 [1/K] 8.6 · 10-6 4.8 · 10-6
关于钛

市售钛有四种不同的质量等级(1、2、3 和 4 级)。使用的质量等级取决于相关应用的耐腐蚀性、延展性和强度要求。1 级具有最高可变形性,而 4 级具有最高强度和中等可变形性。

2 级钛微观结构
典型 2 级钛微观结构

PVD 涂层应用中最常用的是 2 级钛。我们常备各种大量 2 级钛轧制产品库存,例如板材、薄板和棒材,以确保为我们的客户缩短交货时间。我们使用复杂的加工工艺为您加工和生产这些半成品。

关于锆
锆合金 702 微观结构
典型锆合金 702 微观结构

市售纯锆天然含有 1 – 5% 的铪,这两种元素很难分离。非合金锆称为合金 702。锆靶通常用作装饰应用的氮化锆层。它们具有类似黄铜的颜色,且耐腐蚀性高于氮化钛层。我们为客户提供所有标准尺寸的锆靶。

可用于以下涂层工艺

钛锆涂层通过反应磁控溅射法或电弧蒸发法进行喷涂。

  • 反应磁控溅射

    基于铝、钛、锆、铬和陶瓷的硬质材料层和装饰层通过反应磁控溅射应用于工具、部件和其他产品。

    在真空室中,涂层材料放置在要作为溅射靶进行涂层的产品对面。在真空室中充满氩气,施加几百伏的电压。这会点燃由带正电荷的氩粒子(氩离子)和自由电子组成的等离子体。带正电荷的氩离子朝向带负电荷的阴极(靶)加速。它们以高达数百电子伏特 (eV) 的高动能撞击靶材表面,最终,氩粒子会将溅射靶表面的原子撞出表面。现在,真空室和衬底之间产生了电势。这会使硬质材料的粒子向要涂覆的工件加速。在工件上,它们与引入的反应性气体(氮、碳或氧)发生反应,并在工件上沉积为一层较薄的氮化物、碳化物或氧化物硬质材料层。

  • 电弧蒸发

    对工具添加锆和铬涂层。在这种基于真空的涂层工艺中,源材料以电弧阴极的形式存在。

    在真空室中,在阳极和带正电荷的电弧阴极之间施加几百伏的电压。这会制造出电弧。它在电弧阴极上上下移动,熔化或蒸发最少量的材料。约 90% 的蒸发阴极粒子形成带正电荷的金属离子。现在,对真空室和衬底之间施加偏置电压。这会使金属离子向要涂层的工件加速。在工件上,它们与引入的反应性气体(氮、碳氢化合物或氧)发生反应,并在工件上沉积为一层较薄的氮化物、碳化物或氧化物硬质材料层。

适用于涂层技术的其他产品

我们还提供相应的紧固材料,如石墨箔、螺钉、垫圈和螺栓。
访问我们的产品页面,了解更多材料:

从网上商店的库存中订购标准靶