В установке MOCVD нагревательные элементы нагреваются до 2000 °C. При такой высокой температуре наши высокоэффективные материалы молибден и вольфрам незаменимы для изготовления экранов, газовых коллекторов и нагревательных элементов. Plansee поставляет для установок MOCVD в общей сложности более 50 различных компонентов. Мы имеем заслуженную репутацию производителя номер один на рынке оригинального оборудования для систем MOCVD, но мы также активно работаем на рынке запасных частей. А благодаря нашим усовершенствованным конструкциям и запатентованным покрытиям мы предлагаем клиентам нечто большее, чем просто запасные части.
Индивидуальное исполнение обеспечивает равномерное распределение температуры
Полупроводниковые слои в светодиоде должны излучать свет по возможности с одинаковой длиной волны. Важным условием для этого является однородное распределение температуры в системе MOCVD. Любое отклонение в температурном профиле впоследствии приводит к изменению цвета излучаемого света. В ходе тщательных расчетов наши технические специалисты моделируют процесс MOCVD соответствующей системы с помощью метода конечных элементов (МКЭ) и улучшают конструкцию нагревательных компонентов. Новые компоненты повышают однородность распределения температуры в камере реактора. Заказчик получает более высокий выход продукции за цикл нанесения покрытия и, следовательно, более высокую производительность.
Совместно с нашими клиентами мы разрабатываем индивидуальные конструкции нагревательных элементов и других компонентов реактора MOCVD.