Вольфрам-титановые мишени

Мишень из WTi

Высокий атомный вес вольфрама, высокая коррозионная устойчивость титана, хорошее сцепление с различными поверхностями в сочетании с растворяемостью этих материалов делают WTi идеальным решением для плотных слоев, предотвращающих диффузию атомов.

Поэтому WTi с содержанием 10% Ti применяется в качестве диффузионного барьера и слоя адгезии в процессе металлизации в производстве микросхем. WTi разделяет слои полупроводника и металла, а именно, кремний и алюминий или кремний и медь.

В гибких солнечных элементах (CIGS) барьерный слой WTi предотвращает диффузию атомов железа из подложки через молибденовый контактный слой в полупроводник.

Почему это важно? Без диффузионного барьера медь и кремний образуют интерметаллическую фазу, которая значительно ухудшает свойства полупроводника в микросхеме. Достаточно нескольких частиц железа на миллион полупроводника, чтобы значительно уменьшить эффективность солнечных элементов. Об этом можно прочитать больше в работе "CIGS thin-film solar cells on steel substrates".

Два рисунка ниже показывают структуру солнечного элемента (слева) и металлизацию полупроводника (справа). В обоих случаях слои WTi используются, если слои полупроводника и металлизации должны быть надежно разделены и обеспечена хорошая адгезия для последующих слоев.

Примеры применения WTi слоев

Слои WTi наносятся методом PVD. Мы поставляем материал в виде распыляемых мишеней. Наш материал имеет высокую плотность, чистоту и гомогенное распределение фаз. Каждый этап производства - от чистых металлических порошков до готовой мишени мы выполняем и контролируем сами. Это гарантирует постоянное высокое качество.

WTi Plansee: Cвойства
Плотность ≥ 98 %
Чистота > 99.95 %
Содержание титана10% по весу
Гомогенность распределения титана± 0.5 %
Микроструктура мелкое зерно, < 50 µm

Наши мишени из WTi есть в наличии в разных размерах. Поставляются не только плоские мишени; мы первые начали производить полнотелые цилиндрические мишени. Наши мишени из WTi содержат 10% титана.

Микроструктура
Микроструктура мишени из WTi (электронный микроскоп х200)
Фазовый анализ
Фазовый анализ WTi мишени
Красное: богатая титаном фаза, зеленое: богатая вольфрамом фаза
Микроструктура поверхности
Микроструктура напыленной поверхности
Слой WTi (электр. микроскоп х50000)

Таблица ниже показывает зависимость уровня осаждения WTi от мощности распыления для мишени диаметром 100 мм в атмосфере аргона при давлении 5*10-3 мбар.

Таблица WTi

Высокая плотность и чистота наших мишеней из WTi помогает понизить формирование частиц при распылении, что является критическим фактором для получения высококачественных пленок. Эта зависимость была исследована в частности, в следующих работах:

Ваше контактное лицо
Ваш контакт:
Paul Rudnik
Звоните нам:
+ 1 508 446-1405
или отправьте email:
paul.rudnik@plansee.com
Paul Rudnik