Cibles de pulvérisation en molybdène

Les couches de molybdène sont les principaux composants des transistors en couches minces des écrans TFT-LCD et OLED pour le contrôle des pixels.

La condition préalable au contrôle de tous les types d’écrans est une couche extrêmement fine de molybdène, électriquement conductrice. Des cibles de pulvérisation sont nécessaires pour appliquer cette couche. Dans une chambre à vide, les atomes sont expulsés de la cible en bombardant la cible de pulvérisation de molybdène avec des ions argon. Les atomes sont ionisés dans le plasma d’argon et déposés sous forme d’une couche extrêmement fine sur l’écran.

Par ailleurs, les revêtements en molybdène sont également utilisés à d’autres fins. Par exemple, comme contact retour dans les cellules solaires à couche mince (CIGS, CdTe) et dans les composants microélectroniques (composants semi-conducteurs, filtres de fréquence SAW/BAW, lithographie).

Vos bénéfices en bref:

Pureté élevée
> 99,97 %
Densité maximale
> 99,5 %
Microstructure homogène
Centre de compétences pour les nouvelles solutions de revêtement
Texture optimisée pour l’application

Comment se forment les couches de molybdène?

Dans le processus de pulvérisation magnétron (procédé PVD), des atomes métalliques sont libérés des cibles de pulvérisation et déposés sous forme d’une fine couche sur un matériau à revêtir, appelé substrat. Il s’agit d’un procédé de revêtement économique et rapide dans lequel tous les matériaux doivent répondre aux critères de qualité les plus stricts.

Explication du processus PVD

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Large gamme de formats de cibles

Nous fabriquons des cibles de molybdène planes et tubulaires, en une ou plusieurs parties, pour toutes les dimensions et tous les systèmes de revêtement courants.

Pureté maximale

Les impuretés métalliques et non-métalliques présentes dans la cible de pulvérisation se transfèrent à la couche fonctionnelle pulvérisée et altèrent ainsi sa fonction ou entraînent la formation de particules dans le processus PVD (effet d’arc).

Les cibles de pulvérisation répondent donc aux exigences de pureté les plus élevées. Les principaux avantages : une excellente conductivité électrique de la couche, une formation minimale de particules pendant le processus PVD et des taux de revêtement homogènes pendant toute la durée de vie des cibles de pulvérisation.

Nous garantissons une pureté de nos cibles de molybdène d’au moins 99,97 % (3N7). La pureté typique de nos cibles de molybdène est de 99,99 %. De cette manière, nous nous assurons que les couches produites répondent aux exigences les plus strictes. Pour les applications dans le secteur des semi-conducteurs, nous garantissons même des puretés d’au moins 99,995 % (4N5).

Densité la plus haute et microstructure homogène

Nos cibles de pulvérisation en molybdène sont hautement compressées par des procédés de mise en forme spéciaux. Cela permet d’augmenter et d’homogénéiser les taux de revêtement et d’améliorer les propriétés du revêtement lors du processus de revêtement PVD. Il en résulte des avantages en termes d’efficacité de la production de couches minces ainsi qu’un rendement élevé.

Nous pouvons adapter spécifiquement la microstructure du matériau de revêtement grâce à notre processus de fabrication. Avec une microstructure et une texture uniformes des cibles de pulvérisation, des taux d’enlèvement et des épaisseurs du film uniformes peuvent être obtenus.

Partenaire de développement pour les nouvelles solutions de revêtement

Dans le processus PVD, tout doit être harmonisé. Ce n’est que lorsque tous les paramètres du processus sont parfaitement coordonnés entre eux qu’un revêtement répondant parfaitement aux exigences du client est obtenu. Grâce à des contacts de longue date avec les fabricants d’installations et les instituts scientifiques, nous participons aux derniers développements et optimisations. Notre équipe de développeurs conçoit des systèmes de couches et les analyse précisément selon des spécifications définies. De nouveaux matériaux de revêtement sont ainsi créés avec des temps de développement courts, en collaboration avec les clients et les nombreux partenaires de développement.

Une qualité exceptionnelle chez un même fournisseur

Nous maîtrisons l’ensemble de la chaîne de valeur de nos cibles de pulvérisation : de l’approvisionnement en matières premières hors zone de conflit au produit final. Nous produisons des produits métalliques compactés à partir d’ébauches en poudre. Nous produisons des cibles planes dans le laminoir à chaud pour métaux réfractaires. Nous fabriquons des cibles tubulaires à l’aide d’un processus de mise en forme interne. Après le processus d’usinage, nous finalisons les cibles de pulvérisation dans nos ateliers de collage locaux, prêtes à installer. Nous utilisons pour ce faire différents procédés de collage.

Avec une participation dans Molibdenos y Metales (Molymet), le groupe Plansee couvre toutes les étapes de transformation du molybdène. De la production de poudres à la fabrication de produits semi-finis et de composants personnalisés, en passant par les procédés de métallurgie des poudres.

Oxyde

Réduction

Mélange d’alliages

Pressage

Frittage

Mise en forme

Traitement thermique

Traitement mécan.

Collage

Assurance qualité

Recyclage

OxydeMolymet (Chili) est le plus grand transformateur au monde de concentrés de minerai de molybdène et notre principal fournisseur de trioxyde de molybdène. Le Groupe Plansee détient 21,15 % des actions de Molymet. Global Tungsten & Powders (USA) est une division du groupe Plansee et notre principal fournisseur de poudres métalliques de tungstène.