Les couches de tungstène sont les composants des transistors à couches minces des écrans TFT-LCD. Elles sont utilisées lorsque de grands formats d’écran, une netteté d’image particulièrement élevée et des contrastes optimisés sont exigés. Les cibles en tungstène sont également utilisées en microélectronique, par exemple pour créer des couches dans les filtres de fréquence (SAW / filtre à ondes acoustiques de surface, BAW / filtre à ondes acoustiques de masse). Les autres applications des cibles en tungstène sont les barrières antidiffusion, par exemple en nitrure de tungstène, les pistes conductrices dans les composants de la microélectronique et les couches transparentes d'oxyde de tungstène obtenues par bombardement réactif pour les écrans OLED et l'électrochromie.
Grande pureté
> 99,97 %
Densité maximale
> 99,5 %
Centre de compétences pour les nouvelles solutions de revêtement
Microstructure homogène
Les caractéristiques de nos produits à télécharger :
Dans le procédé de pulvérisation magnétron (procédé PVD), de minuscules particules métalliques sont libérées des cibles de pulvérisation, qui sont déposées sous forme de film mince sur le matériau (appelé substrat) à revêtir. Ce procédé de revêtement est économique et rapide et tous les matériaux doivent répondre aux critères de qualité les plus stricts.
Nos cibles répondent à des exigences de pureté les plus élevées. Les principaux avantages : une excellente conductivité électrique de la couche et une formation minimale de particules pendant le processus PVD. Les impuretés métalliques et non métalliques présentes dans la cible de pulvérisation se transfèrent à la couche fonctionnelle pulvérisée et nuisent à sa fonctionnalité ou provoquent la formation de particules dans le processus PVD (appelé effet d’arc). Nous garantissons une pureté d’au moins 99,97 % pour nos cibles tungstène. La pureté typique de nos cibles de tungstène est supérieure à 99,99 %. De cette manière, nous nous assurons que les couches produites répondent à des exigences strictes, en particulier pour les applications de microélectronique.
Les cibles de pulvérisation en tungstène de Plansee sont hautement compressées par des procédés de mise en forme spéciaux. L’avantage du procédé de revêtement PVD est le taux de revêtement homogène et les propriétés de revêtement améliorées. Le résultat est un gain d’efficacité et de rendement dans la production de couches minces. Grâce à notre procédé de fabrication par métallurgie des poudres, nous pouvons adapter la microstructure du matériau de revêtement à l’application.
Dans le processus PVD, tout doit être harmonisé. Ce n’est que lorsque tous les paramètres du processus sont parfaitement coordonnés entre eux qu’un revêtement répondant aux exigences du client est obtenu. Dans notre laboratoire d’application PVD, nous pulvérisons dans des conditions au plus près de la réalité. Notre équipe de développeurs conçoit des couches et les analyse exactement en fonction de spécifications définies. En collaboration avec nos clients et nos nombreux partenaires de développement, de nouveaux matériaux de revêtement sont créés avec des temps de développement courts. Grâce à des contacts de longue date avec les fabricants d’installations et les équipementiers, nous participons aux derniers développements et optimisations.
Nous réunissons sous un même toit l’ensemble de la chaîne de valeur de nos cibles de pulvérisation. De la matière première au produit final. Notre production interne couvre à la fois le développement de nouveaux matériaux et l’optimisation des revêtements et des processus de revêtement. Le frittage est le processus central de notre procédé de fabrication par métallurgie des poudres. Nous produisons des pièces métalliques compactes à partir de poudres poreuses compactes. Nous produisons des cibles de tungstène dans le plus grand laminoir à chaud du monde pour métaux réfractaires. Après le processus d’usinage, nous finalisons les cibles de pulvérisation dans nos ateliers de collage locaux, prêtes à installer.
Depuis un siècle, nos clients comptent sur Plansee, entreprise privée indépendante. Pour eux, comme pour nous, la fiabilité et la continuité sont primordiales. Surtout pour ce qui concerne l’approvisionnement en matières premières. Avec Global Tungsten & Powders et une participation à Molibdenos y Metales (Molymet), le groupe Plansee couvre toutes les étapes du traitement du tungstène et du molybdène. De la production de poudres à la fabrication de produits semi-finis et de composants personnalisés, en passant par les procédés de métallurgie des poudres.
Cibles de pulvérisation en molybdène
Cibles de pulvérisation / tubulaires en molybdène
Cibles de pulvérisation en molybdène-sodium
Cibles de pulvérisation en molybdène-niobium
Cibles de pulvérisation en oxyde de molybdène
Cibles de pulvérisation en molybdène-tantale
Cibles de pulvérisation en molybdène-tungstène
Cibles de pulvérisation en tungstène-nickel
Cibles de pulvérisation en tungstène-titane
