Online ShopMy Plansee
Plansee Group
Page d’accueil
Online ShopMy PlanseePlansee Group
Cibles de pulvérisation en WTi

Cibles de pulvérisation en tungstène-titane

La densité élevée du tungstène, la bonne résistance à la corrosion et l’adhérence du titane à de nombreuses surfaces, ainsi que la bonne miscibilité des deux métaux : Ces propriétés font du tungstène-titane le matériau idéal pour les couches minces. Cela empêche la diffusion d’atomes parasites.

Vos bénéfices en bref :

  • Pureté élevée
    > 99,95 %

  • Densité élevée
    > 98 %

  • Microstructure homogène

  • Vitesses de
    pulvérisation élevées grâce à la densité maximale du matériau

  • Taux d’enlèvement uniforme grâce à une microstructure optimisée

Les caractéristiques de nos produits à télécharger :

Caractéristiques cibles de pulvérisation en WTi
Champs d’application du tungstène-titane

Le tungstène-titane (WTi) avec dix pour cent de titane en poids est utilisé, par exemple, comme barrière de diffusion et agent d’adhérence dans la métallisation des micro-puces. Dans ce domaine d’application, le WTi sépare les couches de semi-conducteurs et de métallisation, par exemple l’aluminium du silicium ou le cuivre du silicium. Sans barrière de diffusion, le cuivre et le silicium formeraient une phase intermétallique dans les micropuces et perturberaient alors la fonction du semi-conducteur. Dans les cellules solaires flexibles à couche mince (CIGS), une couche barrière de WTi empêche les atomes de fer de se diffuser depuis le substrat en acier à travers le contact arrière en molybdène vers le semi-conducteur CIGS. Même quelques µg/g de fer peuvent réduire considérablement l’efficacité des cellules solaires CIGS.

Couche de WTi cellule solaire CIGS

Les deux figures montrent la structure schématique d’une cellule solaire CIGS (à gauche) et la métallisation d’un semi-conducteur en flip-chip (en bas) à l’aide de couches de WTi.

Couche de Wti métallisation de semi-conducteur

Exemples d’application de couches de WTi

Cibles de pulvérisation WTi

Nous produisons nos cibles de pulvérisation WTi au moyen de procédés innovants de métallurgie des poudres. Nous proposons nos cibles de pulvérisation WTi en différentes tailles jusqu’à un diamètre de 400 mm. Nous sommes un des premiers fabricants à produire le WTi non seulement sous forme de cible plane mais aussi de cible tubulaire. Nos cibles en WTi ont généralement une teneur en titane de 10 % en poids.

WTi de Plansee : Les propriétés en bref
densité ≥ 98 %
pureté > 99,95 %
teneur en titane 10 % en poids
homogénéité de la distribution du titane ± 0,5 %
microstructure grain fin, taille de grain < 50 µm

Pureté inégalée des matériaux pour une qualité optimale

Centre de compétence pour les cibles de pulvérisation

Plus le matériau de revêtement est pur, meilleure est la qualité du revêtement. Dès le départ, nous utilisons uniquement la poudre la plus pure, que nous mélangeons dans nos propres installations afin de garantir la plus grande pureté des matériaux. Nous contrôlons chaque étape, de la poudre au produit fini, et vous garantissons que seules les cibles présentant la densité, la pureté et une microstructure homogène spécifiquement garanties sortent de notre entreprise.

Un seul fournisseur - de la poudre à la cible finie

Les revêtements en WTi sont obtenus au moyen du procédé de pulvérisation PVD. Nous fournissons le matériau de départ sous forme de cibles de pulvérisation. Notre matériau présente une densité élevée, une grande pureté et une composition de phase homogène pour garantir un processus de revêtement stable. Nous maîtrisons l’ensemble du processus de production : Du mélange et du pressage de la poudre métallique au collage de nos cibles en passant par la mise en forme et l’usinage, nous contrôlons toutes les étapes du processus. Cela nous permet de garantir une qualité élevée et constante, même sur de très longues périodes. Également inclus : le développement de nouveaux matériaux pour optimiser les processus et les couches de revêtement. Bien entendu, nous vérifions la qualité de nos cibles à l’aide des méthodes de mesure les plus récentes.

    Oxyde
    Réduction
    Mélange d’alliages
    Pressage
    Frittage
    Mise en forme
    Traitement thermique
    Traitement mécan.
    Collage
    Assurance qualité
    Recyclage
OxydeMolymet (Chili) est le plus grand transformateur au monde de concentrés de minerai de molybdène et notre principal fournisseur de trioxyde de molybdène. Le Groupe Plansee détient 21,15 % des actions de Molymet. Global Tungsten & Powders (USA) est une division du groupe Plansee et notre principal fournisseur de poudres métalliques de tungstène.

Découvrez ici comment le processus PVD fonctionne exactement :

La densité et la pureté élevées de nos cibles en WTi contribuent à réduire la formation de particules pendant le processus de revêtement, une contribution importante à des résultats de revêtement optimaux. La relation entre la formation des particules et les propriétés de la cible a été étudiée, notamment, dans les articles scientifiques suivants :

Journal of Vacuum Science & Technology A : « Particle contamination during sputter deposition of W-Ti films » 

Voir la publication

Powder Metallurgy Review, J. Winkler, C. Linke : « Sputtering targets : The advantages of Powder Metallurgy in the production » 

Voir la publication

Autres produits pour l’industrie du revêtement :