Champs d’application du tungstène-titane
Le tungstène-titane (WTi) avec dix pour cent de titane en poids est utilisé, par exemple, comme barrière de diffusion et agent d’adhérence dans la métallisation des micro-puces. Dans ce domaine d’application, le WTi sépare les couches de semi-conducteurs et de métallisation, par exemple l’aluminium du silicium ou le cuivre du silicium. Sans barrière de diffusion, le cuivre et le silicium formeraient une phase intermétallique dans les micropuces et perturberaient alors la fonction du semi-conducteur. Dans les cellules solaires flexibles à couche mince (CIGS), une couche barrière de WTi empêche les atomes de fer de se diffuser depuis le substrat en acier à travers le contact arrière en molybdène vers le semi-conducteur CIGS. Même quelques µg/g de fer peuvent réduire considérablement l’efficacité des cellules solaires CIGS.
