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Cibles de pulvérisation tubulaires en molybdène

Cibles de pulvérisation tubulaires monolithiques en molybdène

Dans la production de couches de molybdène pour les contacts arrière CIGS ou les transistors à couche mince des écrans plats (TFT-LCD, OLED), un matériau de revêtement sous forme de cibles de pulvérisation en molybdène est utilisé. Des cibles tubulaires monolithiques ne comportent pas de tube porteur et sont donc constituées à 100 % de matériau de revêtement. Ces cibles permettent d’augmenter considérablement les performances de pulvérisation et donc d’atteindre un débit plus élevé. En comparaison avec les cibles tubulaires collées, le rendement supérieur du matériau permet de réduire également les coûts de fabrication du processus de revêtement.

Vos bénéfices en bref :

  • Grande pureté métallique
    > 99,97 %

  • Densité élevée
    > 99,5 %

  • Microstructure homogène

  • Possibilité d’une production et d’un rendement élevés

Les caractéristiques de nos produits à télécharger :

Spécification Cible de pulvérisation tubulaire en Mo (monolithique)

Revêtement interne pour les cibles tubulaires monolithiques

Cible de pulvérisation tubulaire en Mo

Lors de l’utilisation de cibles monolithiques, le molybdène entre en contact direct avec l’eau de refroidissement du système de revêtement. En général, l’eau de refroidissement est préparée avec des additifs appropriés, appelés inhibiteurs, pour l’utilisation de cibles monolithiques. Ils stabilisent le pH de l’eau de refroidissement et empêchent la corrosion du molybdène. Un revêtement interne à base de polymère, en attente de brevet, spécialement développé par Plansee pour les cibles tubulaires monolithiques, empêche le contact direct entre le matériau de revêtement et l’eau de refroidissement. Cela représente un grand avantage, car cela signifie que beaucoup moins d’inhibiteurs sont nécessaires pour la production de cellules solaires CIGS et d’écrans TFT-LCD, ce qui permet de réduire les coûts. Le revêtement intérieur durable est si fin qu’il n’affecte pas de manière significative la conductivité thermique de la cible tubulaire et permet néanmoins d’obtenir de très bonnes performances de pulvérisation.

En savoir plus sur les avantages des cibles de pulvérisation tubulaires monolithiques :

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