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Cátodo de pulverización de tungsteno-titanio

Cátodos de pulverización de tungsteno-titanio

La alta densidad del tungsteno, la buena resistencia a la corrosión y la adhesión del titanio a muchas superficies, y la buena miscibilidad de ambos metales: estas propiedades hacen del tungsteno-titanio el material ideal para crear capas finas. Esto impide la difusión de átomos extraños.

Sus ventajas en términos generales:

  • Gran pureza
    > 99,95 %

  • Alta densidad
    > 98 %

  • Microestructura homogénea

  • Altas velocidades
    de pulverización gracias a la máxima densidad del material

  • Velocidad de erosión uniforme gracias a la microestructura optimizada

Puede descargar las especificaciones del producto aquí:

Especificaciones de los cátodos de pulverización de tungsteno-titanio
Áreas de aplicación del tungsteno-titanio

El tungsteno-titanio (WTi), con un porcentaje de peso del diez por ciento de titanio, se utiliza, por ejemplo, como barrera de difusión y promotor de la adhesión en la metalización de microchips. El WTi separa las capas semiconductoras y de metalización en este ámbito de aplicación; por ejemplo, el aluminio del silicio o el cobre del silicio. Sin una barrera de difusión, el cobre y el silicio formarían una fase intermetálica en los microchips y, por tanto, perturbarían la función del semiconductor. En las células solares de película fina flexibles (CIGS), una capa de barrera de WTi impide que los átomos de hierro se difundan desde el sustrato de acero a través del contacto posterior de molibdeno hacia el semiconductor CIGS. Incluso unos pocos µg/g de hierro pueden reducir significativamente la eficiencia de las células solares CIGS.

Célula solar CIGS con capa de WTi

Las dos figuras muestran la estructura esquemática de una célula solar CIGS (izquierda) y una metalización de semiconductores flip chip (abajo) utilizando capas de WTi.

Capa de WTi para la metalización de semiconductores

Ejemplos de aplicación de los recubrimientos de WTi

Cátodos para pulverización de tungsteno-titanio

Producimos nuestros cátodos de pulverización de tungsteno-titanio mediante innovadores procesos de fabricación pulvimetalúrgica. Suministramos nuestros cátodos de pulverización de tungsteno-titanio en varios tamaños hasta un diámetro de 400 mm. Somos uno de los primeros fabricantes en producir tungsteno-titanio no solo como cátodo plano sino también como cátodo rotatorio. Nuestros cátodos de tungsteno-titanio suelen tener un porcentaje de peso de 10 % de titanio.

WTi de Plansee: Propiedades generales
Densidad ≥ 98 %
Pureza > 99,95 %
Contenido de titanio 10 % en peso
Homogeneidad de la distribución del titanio ± 0,5 %
Microestructura grano fino, tamaño de grano: < 50 µm 

Pureza insuperable de los materiales para una mejor calidad

Centro de competencia para cátodos de pulverización

Cuanto más puro sea el material de recubrimiento, mejor será la calidad de la capa. Utilizamos solo el polvo más puro desde el principio, al mezclarlo en nuestras propias instalaciones para garantizar la máxima pureza del material. Supervisamos cada paso (desde el polvo hasta el producto acabado) y le garantizamos que solo salen de nuestra fábrica cátodos con la densidad, la pureza y una microestructura homogénea específicamente garantizadas.

Todo de una sola fuente: desde el polvo hasta el cátodo terminado

Los recubrimientos de WTi se producen mediante el proceso de pulverización de PVD. Suministramos la materia prima en forma de cátodos de pulverización. Nuestro material tiene una alta densidad, una gran pureza del material y una composición de fase homogénea para garantizar un proceso de recubrimiento estable. Nos encargamos de todo el proceso de producción: desde la mezcla y el prensado del polvo de metal hasta la transformación, el mecanizado y la unión de nuestros cátodos, controlamos todos los pasos del proceso. Esto nos permite garantizar una alta calidad constante, incluso durante periodos de tiempo muy largos. También se incluye: el desarrollo de nuevos materiales para optimizar los procesos de recubrimiento y las capas. Por supuesto, comprobamos la calidad de nuestros cátodos con los métodos de medición más modernos.

    Óxido
    Reducción
    Mezclas de aleaciones
    Prensado
    Sinterización
    Conformado
    Tratamiento térmico
    Proceso de mecanización
    Unión
    Control de calidad
    Reciclaje
ÓxidoMolymet (Chile) es el mayor procesador mundial de concentrados de mineral de molibdeno y nuestro principal proveedor de trióxido de molibdeno. El Grupo Plansee posee el 21,15 % de las acciones de Molymet. Global Tungsten & Powders (USA) es una división del Grupo Plansee y nuestro principal proveedor de polvos de metal de tungsteno.

Vea aquí cómo funciona exactamente el proceso de PVD:

La alta densidad y pureza de nuestros cátodos de WTi ayudan a reducir la formación de partículas durante el proceso de recubrimiento, lo que contribuye de forma importante a obtener resultados óptimos de recubrimiento. La relación entre la formación de partículas y las propiedades del cátodo se ha investigado, por ejemplo, en los siguientes artículos científicos:

Journal of Vacuum Science & Technology A: "Particle contamination during sputter deposition of W-Ti films" 

A la publicación

Powder Metallurgy Review, J. Winkler, C. Linke: "Sputtering targets: The advantages of Powder Metallurgy in the production" 

A la publicación

Otros productos para el sector de recubrimiento: