서브픽셀을 안정적으로 분리하거나 도체 트랙을 깔끔하게 덮거나 주변의 빛이 반사되는 것을 방지하는 까다로운 작업 등, 산화몰리브덴 레이어는 낮은 광학적 반사 특성으로 최신 평면 스크린의 다양한 응용 분야에서 이용됩니다. 당사는 이러한 레이어들을 생산하는 데 산화몰리브덴을 다양한 화학 조성의 평면 타겟으로 제공합니다. MoOx 레이어의 식각 성능과 내화학성을 조정하기 위해 산화몰리브덴에는 금속 원소들이 더 첨가됩니다.
높은 순도
> 99.9%
균질한 미세구조 및 화학 조성
변경 가능한 조성
전기전도성
제품 사양 다운로드:
| 밀도 [%] | ≥ 95 |
| 순도 [%] | > 99.9 |
| 열팽창계수 [ppm/K] | 5 |
| 열전도성 [W/(m-K)] | 4 - 6 |
| 전기전도성 [S/cm] | 120 - 1100 |
최신 데스크톱 모니터와 대형 TV 디스플레이에는 베젤이라고 하는 플라스틱 프레임이 없는 경우가 많습니다. 이것은 깔끔해보일 뿐만 아니라 여러 스크린을 합쳐 큰 디스플레이를 형성할 수 있도록 해줍니다. 하지만 플라스틱 프레임이 없다는 것은 TFT 유리 상의 반사가 매우 심한 몰리브덴, 알루미늄 또는 구리로 제작된 도체 트랙이 덮이지 않는다는 것입니다. 그래서 추가로 MoOx 반사 방지 레이어를 이용하는 것입니다. 금속 몰리브덴이 입사광의 약 60%를 반사하는 반면, 동일한 두께(550 nm에서)의 MoOx 레이어는 6% 미만으로 빛을 반사합니다. 그래서 도체 트랙을 아주 잘 막아줍니다.
단면: 베젤이 좁은 스크린(=어두운 산화 레이어)에서 산화몰리브덴 레이어로 도체 트랙을 덮는 방법
터치 스크린에 얇은 산화몰리브덴 PVD 레이어가 있으면 정전식 촉각 센서와 함께 금속 표면(금속 브릿지)의 원치 않는 반사를 방지할 수 있습니다.
터치 스크린의 촉각 센서는 산화몰리브덴으로 코팅 시 눈에 보이게 됩니다.
주변의 빛이 OLED 디스플레이를 치면 TFT 금속화 몰리브덴 레이어(게이트, 소스/드레인 전극)가 주변 빛을 반사하여 디스플레이의 대비를 낮춥니다. 이런 원치않는 반사를 방지하기 위해 원형 편광 필터가 사용됩니다. 이런 필터는 전극의 반사를 줄여주지만 디스플레이의 광수율 또한 낮춥니다. MoOx가 빛을 극도로 잘 흡수하고 또 전기전도성도 있기 때문에, 이 소재는 TFT 금속화의 반사 방지 레이어에 특히 적합합니다. MoOx를 이용하면 OLED 제조업체에서는 편광 레이어를 사용하지 않아도 됩니다.
투명 MoOx 레이어는 다른 응용 분야에서도 찾아볼 수 있습니다. 코팅 공정에서 산소를 첨가하면, 레이어의 이 산소 함량을 최고 MoO3의 화학량으로 조정할 수 있습니다. 이런 레이어는 특정한 고전자 일함수에서 특수한 전기적 속성을 갖습니다. 그래서 이 투명 MoOx 레이어는 ‘정공주입층(HIL)’이라고도 하는 OLED 기술에 이용할 수 있습니다. CIGS과 CdTe을 바탕으로 하는 박막 태양광 전지에서 MoOx 레이어는 후면 접점과 차단층의 구성요소로 설명 및 이용됩니다. MoO3 레이어가 추가되면 유기 태양광 전지에 이점을 줍니다.
더 자세한 내용은 Nature Research의 ‘유기 반도체 장치의 박막 금속 산화물: 전자 구조, 일함수 및 인터페이스(Thin-film metal oxides in organic semiconductor devices: their electronic structures, work functions and interfaces)’라는 글에서 알아보실 수 있습니다.
OLED 디스플레이의 RBG 픽셀 구조에 대한 간략한 다이어그램:
OLED 디스플레이의 활성 레이어에 대한 간략한 다이어그램:
투명 MoOx 레이어는 고효율 이질 접합 Si 태양광 전지에도 사용됩니다. Lausanne의 EPFL 연구소의 연구원들은 이 주제 대한 출판물을 공개하였습니다. 그 제목은 “어닐링 안정화 몰리브덴 산화물 기반 실리콘 태양광용 홀 선택적 접점에 대하여(Toward Annealing‐Stable Molybdenum‐Oxide‐Based Hole‐Selective Contacts For Silicon Photovoltaics) - Essig - 2018 - Solar RRL - Wiley Online Library”입니다.
산화몰리브덴 레이어는 가스 센서, 촉매, 박막 배터리에서 물분해(광학적 수소 생성)와 같은 현재 과학적으로 연구 중인 더 흥미로운 다른 분야들에서 사용하기 적합합니다.
PVD 코팅 공정에서는 모든 것이 완벽히 맞아야 합니다. 모든 공정 파라미터가 완전히 일치해야만 고객별 요건을 정확히 충족하는 레이어가 생산됩니다. 당사는 PVD 응용 실험실에서 실제 조건 하에 스퍼터링을 실시합니다. 당사의 개발 팀에서는 정의된 사양에 따라 레이어를 생산하고 자세히 분석합니다. 당사는 자체 코팅 실험실에서 산화몰리브덴의 코팅 속성을 테스트합니다. 다양한 소재 조성, 필름 두께, 공정 파라미터에 대해 기쁘게 상담해드리겠습니다.
당사의 산화몰리브덴 스퍼터링 타겟의 제조와 속성에 대해서는 이미 여러 건의 특허가 출원되어 있습니다.
유기 반도체 장치의 박막 금속 산화물: 전자 구조, 일함수 및 인터페이스(Thin-film metal oxides in organic semiconductor devices: their electronic structures, work functions and interfaces)
어닐링 안정화 몰리브덴 산화물 기반 실리콘 태양광용 홀 선택적 접점에 대하여(Toward Annealing‐Stable Molybdenum‐Oxide‐Based Hole‐Selective Contacts For Silicon Photovoltaics) - Essig - 2018 - Solar RRL - Wiley Online Library
